Chapter 20

아민

암모니아의 수소를 탄소로 바꾼 화합물이 아민이다. 질소의 비공유 전자쌍 하나가 이 장 전체를 이끈다. 이 전자쌍이 양성자를 받으면 아민은 유기 화학에서 가장 흔한 염기가 되고, 탄소를 공격하면 친핵체가 된다. 전자쌍이 공명으로 퍼지면 염기도가 백만 배 약해지고, 전자쌍이 없는 4차 암모늄 이온은 전혀 다른 성질을 띤다. 단백질의 아미노산, 약의 절반 이상, 염료, 그리고 반도체 공장의 현상액 TMAH가 모두 아민 계열이다. 반도체 공정에서 아민은 반갑지 않은 손님이기도 하다. 공기 중 아민이 ppb 수준만 있어도 화학 증폭형 감광막 표면의 산을 중화한다. 그러면 패턴 윗부분이 녹지 않아 T자 모양이 된다. 아래 그림에서 파란 점(공기 중 아민)이 내려와 노광된 자리의 H⁺(빨강)를 지운다. 오른쪽 손잡이를 끌어 아민 농도를 바꿔 보자.

오른쪽 눈금의 손잡이를 끌어 공기 중 아민 농도(ppb)를 바꾼다

아민의 구조·명명과 질소 반전

아민(amine)은 암모니아 NH₃의 수소 원자를 알킬기나 아릴기로 바꾼 화합물이다. 질소에 붙은 탄소의 수로 분류한다. 탄소가 하나면 1차 아민(primary amine, RNH₂), 둘이면 2차(R₂NH), 셋이면 3차(R₃N)다. 질소가 탄소 넷과 결합해 양전하를 띠면 4차 암모늄 이온(quaternary ammonium ion, R₄N⁺)이다. 알코올의 1차·2차·3차는 OH가 붙은 탄소의 치환 정도로 나누지만, 아민은 질소의 치환 정도로 나눈다는 점에 주의한다. tert-뷰틸아민 (CH₃)₃CNH₂는 3차 탄소에 붙었지만 1차 아민이다.

명명. 간단한 아민은 알킬기 이름 뒤에 ‘아민’을 붙인다(메틸아민, 에틸메틸아민, 사이클로헥실아민). IUPAC 체계명은 모체 알케인의 어미 ‘-에인’을 ‘-아민’으로 바꾸고 위치 번호를 붙인다. CH₃CH₂CH₂NH₂는 프로판-1-아민이다. 질소에 붙은 다른 치환기는 N- 접두사로 쓴다. 가장 긴 사슬을 모체로 하면 CH₃CH₂CH₂N(CH₃)CH₂CH₃는 N-에틸-N-메틸프로판-1-아민이다. 다른 작용기가 더 우선하면 아민은 접두사 ‘아미노-’가 된다(4-아미노벤조산). 방향족 아민은 아닐린(aniline)을 모체로 부른다. 질소가 고리에 들어간 헤테로 고리 아민(heterocyclic amine)은 고유 이름을 쓴다.

물리적 성질. 1차·2차 아민은 N–H로 수소 결합을 한다. 그러나 N이 O보다 전기 음성도가 작아(3.0 대 3.4) 수소 결합이 알코올보다 약하다. 분자량이 거의 같은(59–60) 다섯 화합물의 끓는점을 비교하면 이 순서가 보인다. 프로판올 97 °C > 프로판-1-아민 48 °C > 에틸메틸아민 37 °C > 트라이메틸아민 3 °C > 뷰테인 −0.5 °C. N–H가 없는 3차 아민은 자기들끼리 수소 결합을 못 해 끓는점이 낮다. 그래도 물에는 수소 결합 받개로 작용하므로, 탄소 6개 정도까지의 아민은 물에 잘 녹는다. 작은 아민은 생선 비린내, 카다베린 H₂N(CH₂)₅NH₂처럼 썩는 냄새가 난다. 사람의 코는 트라이메틸아민을 ppb 수준에서 맡는다.

구조와 질소 반전. 아민의 질소는 sp³에 가깝다. 결합 셋과 비공유 전자쌍 하나가 사면체 방향을 향해, 분자는 낮은 피라미드다(트라이메틸아민 C–N–C 108°). 질소에 서로 다른 세 기와 비공유쌍이 붙으면 질소가 입체 중심이 된다. 그런데 이런 아민의 거울상 이성질체는 분리할 수 없다. 피라미드가 우산처럼 뒤집히는 질소 반전(nitrogen inversion)이 상온에서 1초에 수억 번 일어나기 때문이다. 반전의 전이 상태에서 질소는 평면 sp²이고, 비공유쌍은 순수한 p 오비탈에 들어간다. 장벽은 암모니아 24 kJ/mol, 보통의 알킬아민 25–30 kJ/mol 정도다(문헌 대표값).

N R¹R²R³ 피라미드 (sp³) N R¹R²R³ 전이 상태: 평면 sp², 비공유쌍은 p N R¹R²R³ 뒤집힌 피라미드 (거울상) ΔG‡ ≈ 25 kJ/mol
질소 반전. 세 치환기가 우산처럼 평면을 지나 반대쪽으로 넘어간다. 그 결과 질소 입체 중심의 배열이 거울상으로 바뀐다. 전이 상태는 평면 sp²이고 비공유쌍은 p 오비탈에 있다.

N-에틸-N-메틸프로판-1-아민의 질소에는 서로 다른 세 기와 비공유쌍이 붙어 있다. 이 아민의 두 거울상 이성질체를 상온에서 분리해 병에 담을 수 있을까?

장벽 약 25–30 kJ/mol이면 아이링 식으로 상온 반전 속도가 10⁷–10⁸ s⁻¹다. 아래 시뮬레이터에서 아민을 바꾸며 장벽과 반감기를 보자. 고리에 묶인 아지리딘이나 비공유쌍이 없는 4차 암모늄은 사정이 다르다.
SIMULATOR

질소 반전: 질소를 끌어 평면을 넘겨 보기

왼쪽 그림의 N(흰 손잡이)을 위아래로 끌거나 ‘열운동’을 켠다
장벽 ΔG‡—
반전 속도 k—
반감기—
현재 배열—
왼쪽: 질소와 세 치환기, 비공유쌍(색칠한 로브). 오른쪽: 피라미드화 좌표에 따른 에너지(이중 우물, 장벽 높이는 문헌 대표값). 해볼 것: ① N을 끌어 평면(좌표 0)을 지나게 하면 배열 표시가 바뀐다. 평면에서 비공유쌍이 p 오비탈(두 로브)이 된다. ② 아민 → 아지리딘으로 바꾸면 장벽이 80 kJ/mol로 올라 반감기가 초에서 분 단위로 길어진다. 온도를 낮추면 몇 시간이 된다. ③ 4차 암모늄은 비공유쌍이 없어 반전 자체가 없다. 그래서 서로 다른 네 기를 가진 4차 암모늄 염은 거울상 이성질체로 분리된다.

반전 장벽 25, 온도 300에서 아이링 식 \(k = \dfrac{k_\mathrm{B}T}{h}e^{-\Delta G^\ddagger/RT}\)로 구한 반전 속도는 이고 반감기는 다.

다음 세 화합물의 이름을 쓰고 1차·2차·3차로 분류하라. (a) CH₃CH₂CH(NH₂)CH₃ (b) (CH₃CH₂)₂NH (c) C₆H₅N(CH₃)₂

풀이 보기
전략 질소에 붙은 탄소 수를 센다. 모체는 가장 긴 사슬(또는 아닐린)이고, 질소 위 다른 기는 N-으로 쓴다.
풀이 (a) 질소에 탄소 하나 → 1차. 4개 탄소 사슬의 C2에 NH₂: 뷰탄-2-아민(sec-뷰틸아민). C2는 탄소 입체 중심이라 거울상 이성질체가 실제로 분리된다. (b) 질소에 에틸 둘 → 2차, 다이에틸아민(N-에틸에탄아민). (c) 질소에 페닐과 메틸 둘 → 3차, N,N-다이메틸아닐린.
(a) 뷰탄-2-아민, 1차 (b) 다이에틸아민, 2차 (c) N,N-다이메틸아닐린, 3차
검토 (a)의 입체 중심은 질소가 아니라 탄소이므로 반전과 무관하게 광학 활성이 유지된다.

1-메틸아지리딘의 반전 장벽은 약 80 kJ/mol이다. 25 °C와 −40 °C에서 반전의 반감기를 구하라. 어느 쪽에서 두 반전 이성질체를 구별해 관찰할 수 있을까?

풀이 보기
전략 아이링 식 \(k = (k_\mathrm{B}T/h)\,e^{-\Delta G^\ddagger/RT}\), 반감기 \(t_{1/2} = \ln 2/k\). \(k_\mathrm{B}T/h = 6.21\times10^{12}\) s⁻¹(298 K).
풀이 298 K: \(\Delta G^\ddagger/RT = 80000/(8.314\times298.15) = 32.3\), \(k = 6.21\times10^{12}\times e^{-32.3} = 0.060\) s⁻¹, \(t_{1/2} = 12\) s. 233 K: \(k_\mathrm{B}T/h = 4.86\times10^{12}\), \(\Delta G^\ddagger/RT = 41.3\), \(k = 5.8\times10^{-6}\) s⁻¹, \(t_{1/2} \approx 1.2\times10^5\) s(약 33시간).
25 °C: 약 12 s, −40 °C: 약 1.2×10⁵ s (33 h)
검토 장벽이 고리 변형으로 높아져(평면 전이 상태에서 고리 각 60°를 120°로 벌려야 한다) 보통 아민보다 10⁹배 느리다. 저온 NMR로 두 이성질체를 볼 수 있다. 장벽 25 kJ/mol 아민은 −150 °C에서도 반감기가 약 0.01 s다.
HMDS 프라이밍: 웨이퍼 위의 Si–N 결합과 암모니아

감광막을 바르기 전에 웨이퍼를 헥사메틸다이실라제인(HMDS, (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃) 증기에 노출한다. 실리콘 산화막 표면의 Si–OH는 물을 잘 붙잡아 감광막이 들뜬다. HMDS의 N–Si가 Si–OH와 반응해 표면을 Si–O–Si(CH₃)₃로 덮으면 물 접촉각이 약 65–80°로 올라가 감광막이 잘 붙는다. 이때 부산물이 암모니아다: 2 Si–OH + HMDS → 2 Si–O–SiMe₃ + NH₃. 프라이밍 장비의 배기가 새거나 웨이퍼에 남은 NH₃는 바로 옆 코터의 화학 증폭형 감광막에 염기 오염원이 된다(7절). 그래서 프라이밍 모듈은 배기를 따로 관리하고, 트랙 안 공기의 암모니아를 ppb 이하로 감시한다. HMDS는 2차 아민의 규소 유사체로, N–H가 약한 산(질소의 비공유쌍이 규소 쪽으로 일부 비편재화)이라는 점도 아민 화학의 변형이다(22장). → ProcessBook · 노광 II: 감광막과 패터닝, LithoBook · 감광막의 화학

염기도와 짝산의 pKa

아민의 염기도는 짝산의 pKa로 비교한다. 이 값을 흔히 pKaH(pKa of the conjugate acid)라 부른다. 아민 B의 짝산 BH⁺가 약한 산일수록(pKaH가 클수록) B는 강한 염기다. 염기 해리 상수 pKb로도 쓸 수 있지만, 25 °C 물에서 \(\mathrm{p}K_\mathrm{b} = 14.00 - \mathrm{p}K_\mathrm{aH}\)이므로 산과 염기를 한 사다리에 올려놓을 수 있는 pKaH가 편하다(2장).

$$\ce{R-NH3+ + H2O <=> R-NH2 + H3O+} \qquad K_\mathrm{a} = \frac{[\ce{RNH2}][\ce{H3O+}]}{[\ce{RNH3+}]},\quad \mathrm{p}K_\mathrm{aH} = -\log K_\mathrm{a}$$
이 책의 표 값(25 °C 물): 암모늄 9.25, 메틸암모늄 10.6, 트라이메틸암모늄 9.8, 아닐리늄 4.6, 피리디늄 5.2, 이미다졸륨 7.0. 그 밖의 값은 문헌 대표값(물 기준 근삿값)이다.

알킬아민(pKaH 10–11). 알킬기는 유발 효과로 질소에 전자를 밀어 주고, 생긴 양전하를 분산시킨다. 그래서 메틸아민(10.6)은 암모니아(9.25)보다 염기성이 크다. 그런데 물에서는 다이메틸아민(10.7)에서 증가가 멈추고 트라이메틸아민(9.8)은 오히려 약하다. 기체 상태에서는 3차 > 2차 > 1차 > NH₃ 순서가 깨끗하게 나온다(양성자 친화도 949 > 930 > 899 > 854 kJ/mol). 물에서 순서가 흐트러지는 원인은 용매화(solvation)다. R₃NH⁺는 N–H가 하나뿐이라 물과 수소 결합 하나로만 안정화되고, RNH₃⁺는 셋으로 안정화된다. 유발 효과와 용매화가 반대로 작용하므로 알킬아민들의 pKaH는 모두 10–11 근처에 모인다.

아릴아민(pKaH 약 4.6). 아닐린의 비공유쌍은 벤젠 고리의 π계와 겹쳐 공명으로 퍼진다. 양성자를 받으면 이 공명 안정화를 잃는다. 그래서 아닐린은 사이클로헥실아민(10.6)보다 염기성이 약 10⁶배 작다. 고리의 치환기가 이 효과를 조절한다. 전자 주개 p-OCH₃는 염기도를 올리고(5.3), 전자 끌개 p-Cl(4.0), p-NO₂(1.0)는 내린다(문헌 대표값). p-나이트로아닐린은 비공유쌍이 나이트로기까지 공명으로 퍼진다.

아마이드(pKaH 약 −0.5). 아마이드의 질소 비공유쌍은 C=O와 공명해 거의 염기성이 없다. 강산에서 양성자는 질소가 아니라 산소에 붙는다. O-양성자화된 구조는 양전하가 공명으로 퍼지기 때문이다. 아마이드 결합(펩타이드 결합)이 평면이고 회전 장벽이 큰 것도 같은 공명 때문이다(18장).

헤테로 고리. 피리딘(pyridine)의 비공유쌍은 고리 평면에 놓인 sp² 오비탈에 있어 방향족 π계와 무관하다. 그래도 s 성질이 커서(33 %) 전자쌍이 핵에 가깝게 묶여 있으므로 pKaH 5.2로 알킬아민보다 훨씬 약하다. 같은 논리로 sp 질소인 나이트릴(아세토나이트릴 pKaH 약 −10)은 거의 염기가 아니다. 피롤(pyrrole)은 정반대다. 질소의 비공유쌍이 방향족 6전자 π계의 일부다(14장). 양성자를 받으면 방향족성이 깨지므로 피롤은 질소에서 거의 양성자화되지 않는다. 강산에서는 탄소(C2)에 양성자가 붙는다(pKaH 약 −3.8). 이미다졸(imidazole)에는 두 종류의 질소가 있다. 피롤형 N–H는 π계에 전자쌍을 내놓고, 피리딘형 N이 양성자를 받는다. 생긴 이미다졸륨은 양전하가 두 질소에 대칭으로 퍼져 안정하다(pKaH 7.0). 그래서 히스티딘의 이미다졸은 생체 pH 근처에서 양성자를 주고받는 효소의 촉매기다. 포화 고리 피페리딘(11.1)은 보통의 2차 알킬아민이다.

N 피리딘: 비공유쌍 = 평면의 sp² π계와 직교 → 양성자를 받음 (pKaH 5.2) N H 피롤: 비공유쌍 = p, 방향족 6전자의 일부 양성자화하면 방향족성 손실 (pKaH ≈ −3.8)
질소 비공유쌍이 놓인 오비탈이 염기도를 정한다. 점선은 고리 탄소의 p 오비탈이다. 피리딘의 비공유쌍(색칠한 로브)은 고리 평면에 있어 π계와 상관없이 양성자를 받는다. 피롤의 비공유쌍은 p 오비탈에서 방향족 π계에 묶여 있다.
SIMULATOR

염기도 탐색기: 아민을 고르면 pKaH와 이유가 보인다

오른쪽 사다리를 끌거나 눌러 아민을 고른다
도전
pKaH—
N 비공유쌍—
pH 7.4에서 양성자화—
맞히기 점수—
왼쪽: 구조(염기성 질소 강조)와 염기도를 정하는 요인. 오른쪽: pKaH 사다리(위로 갈수록 강한 염기). 회색 기준선은 H₃O⁺(−1.7), 아세트산(4.76), 물(15.7). 해볼 것: ① 사이클로헥실아민 → 아닐린 → p-나이트로아닐린으로 내려가며 공명 효과의 크기를 본다. ② 피페리딘(sp³) → 피리딘(sp²) → 아세토나이트릴(sp)로 s 성질이 커질 때 pKaH가 어떻게 떨어지는지 본다. ③ ‘pKaH 맞히기’에서 이름만 보고 ±1 이내로 다섯 번 연속 맞혀 보자.
환경
MINI LAB메틸기가 하나씩 늘 때 염기도. 기체에서는 유발 효과만 남아 NH₃ < MeNH₂ < Me₂NH < Me₃N이 깨끗하다(양성자 친화도, NIST 값). 물에서는 짝산의 N–H 수가 줄어 용매화 안정화가 약해지므로 Me₃N이 뒤로 처진다.

다음을 염기성이 큰 순서로 늘어놓아라: 아닐린, 피리딘, 아세트아마이드, 사이클로헥실아민, 피롤.

풀이 보기
전략 비공유쌍이 (1) 공명이나 방향족성에 묶였는지, (2) 어떤 혼성 오비탈에 있는지를 본다.
풀이 사이클로헥실아민: sp³, 공명 없음 → 10.6. 피리딘: sp², 공명에 쓰이지 않음 → 5.2. 아닐린: sp³에 가깝지만 고리와 공명 → 4.6. 아세트아마이드: C=O와 강한 공명, O에 양성자화 → 약 −0.5. 피롤: 비공유쌍이 방향족 6전자의 일부 → 약 −3.8(C 양성자화).
사이클로헥실아민 (10.6) > 피리딘 (5.2) > 아닐린 (4.6) > 아세트아마이드 (−0.5) > 피롤 (−3.8)
검토 피리딘과 아닐린은 0.6 차이로 가깝다. 이유가 다르다(혼성 대 공명)는 점이 중요하다. 피롤은 오히려 N–H가 산이다(pKa 약 17).

양성자화 분율, 산·염기 추출, 아미노산

아민이 얼마나 양성자화되어 있는지는 용액의 pH와 pKaH의 차이로 정해진다. 헨더슨–하셀바흐 식을 아민에 쓰면 다음과 같다.

$$\mathrm{pH} = \mathrm{p}K_\mathrm{aH} + \log\frac{[\ce{RNH2}]}{[\ce{RNH3+}]},\qquad f_\text{염기} = \frac{1}{1 + 10^{\,\mathrm{p}K_\mathrm{aH} - \mathrm{pH}}}$$
pH = pKaH이면 반반이다. pH가 pKaH보다 2 낮으면 99 %가 양성자화된 암모늄(물에 녹는 염)이고, 2 높으면 99 %가 중성 아민(유기 용매에 녹는다).
MINI LAB세로선(흰 손잡이)을 끌어 pH를 바꾼다. 곡선은 중성 아민의 분율 \(f_\text{염기}\)다(Org.fracBase). 아래 막대는 같은 pH에서 물층으로 가는 몫(암모늄)과 유기층에 남는 몫이다. 알킬아민은 pH 8에서도 거의 다 염이지만 아닐린은 pH 6이면 이미 중성이다.

pKaH 10.6인 아민을 pH 7.4 완충 용액에 녹이면 양성자화된 분율은 이고, [RNH₃⁺]/[RNH₂] 비는 이다.

아민 염과 추출. 아민은 염산과 반응해 암모늄 염(ammonium salt)이 된다. 염은 이온성이라 물에 잘 녹고 냄새가 없으며 잘 굳는다. 그래서 약은 흔히 염산염으로 판다(예: 염산 프로카인, 염산 메트포르민). 이 성질 덕분에 산·염기 추출(extraction)으로 아민을 중성 화합물이나 산에서 쉽게 떼어 낼 수 있다. 혼합물을 에터에 녹이고 묽은 HCl로 흔들면, 아민만 염이 되어 물층으로 옮겨 간다. 분리한 물층에 NaOH를 넣으면 아민이 중성으로 돌아와 다시 에터로 추출된다.

에터 아닐린 나프 물 (1 M HCl) PhNH₃⁺Cl⁻ ① 혼합물을 에터에 녹인다 ② HCl로 흔들면 아민만 물층으로 유기층: 나프탈렌 물층을 받는다 ③ PhNH₃⁺Cl⁻ (물) NaOH (pH 14) ④ PhNH₂가 다시 중성 → 에터로 회수
  1. 아닐린(pKaH 4.6)과 나프탈렌(중성)을 에터에 녹여 분액 깔때기에 넣는다.
  2. 1 M HCl(pH 0)을 넣고 흔든다. pH가 pKaH보다 4.6 낮아 아닐린의 99.997 %가 아닐리늄 염이 되어 물층으로 간다. 나프탈렌은 에터에 남는다.
  3. 아래 물층을 따로 받는다. 위 에터층을 증발시키면 나프탈렌이 남는다.
  4. 물층에 NaOH를 넣어 pH를 14로 올리면 아닐리늄이 다시 아닐린이 되어 물에서 기름처럼 분리된다. 새 에터로 추출해 회수한다.
산 추출로 아민을 중성 화합물과 나누는 과정. 같은 원리로 카복실산은 NaHCO₃, 페놀은 NaOH로 뽑아낸다.

벤조산(pKa 4.2), 페놀(pKa 10.0), 아닐린(pKaH 4.6), 나프탈렌이 섞인 에터 용액이 있다. 1 M NaOH로 먼저 씻으면 무엇이 물층으로 가는가?

pH 14는 두 산의 pKa보다 모두 크므로 둘 다 음이온이 된다. 둘을 나누려면 약한 염기 NaHCO₃(pH 약 8.3)로 벤조산만 먼저 뽑아야 한다. 아래 게임에서 순서를 설계해 보자.
SIMULATOR

추출 분리 게임: 네 성분을 네 플라스크로

아래 시약병을 깔때기로 끌어 넣는다(또는 버튼)
시약 넣기
세척 횟수0
에터층에 남은 양—
성공한 분리0
각 성분의 분배는 중성형의 분배 계수(log P: 벤조산 1.87, 페놀 1.46, 아닐린 0.90, 나프탈렌 3.30, 옥탄올–물 근삿값)와 pH에서의 중성 분율로 계산한다. 물과 에터의 부피는 같다. 같은 시약으로 연달아 씻으면 같은 플라스크에 모인다. 목표: 네 플라스크 모두 순도 90 % 이상. 해볼 것: ① NaOH를 먼저 쓰면 어떻게 되나? ② 물로만 씻으면 아닐린이 조금씩 새어 나가는 이유는? ③ HCl 세척을 두 번 하면 회수율이 어떻게 오르나?

아미노산 맛보기. α-아미노산(α-amino acid)은 같은 탄소에 아미노기와 카복실기가 붙은 분자다. 카복실산(pKa 약 2.3)이 암모늄(pKa 약 9.6)보다 훨씬 강한 산이므로, 중성 근처에서 분자 안에서 양성자가 옮겨 간 쌍극성 이온(zwitterion)으로 있다. 그래서 아미노산은 녹는점이 높고(글라이신 233 °C에서 분해) 물에 잘 녹으며 유기 용매에는 안 녹는다. 양전하와 음전하가 같아 알짜 전하가 0인 pH를 등전점(isoelectric point, pI)이라 한다. 곁사슬에 이온화기가 없으면 \(\mathrm{pI} = (\mathrm{p}K_{a1} + \mathrm{p}K_{a2})/2\)다. 생체의 L-아미노산은 글라이신을 빼고 모두 키랄이며 대부분 (S) 배열이다. 아미노산이 아마이드(펩타이드) 결합으로 이어진 것이 단백질이다.

아미노산
MINI LAB세로선을 끌어 pH를 바꾸면 각 화학종의 분율과 평균 전하가 바뀐다. 평균 전하가 0을 지나는 곳이 등전점이다(pKa는 문헌 대표값). 전기 이동에서 pH < pI인 아미노산은 (−)극으로, pH > pI이면 (+)극으로 간다.
아민 함유 스트리퍼와 CMP 후 세정액

식각이나 이온 주입 뒤 굳은 감광막과 측벽 잔류물을 녹이는 습식 스트리퍼에는 아민이 많이 들어간다. 대표적인 조성은 모노에탄올아민(MEA, H₂NCH₂CH₂OH, pKaH 9.5)과 N-메틸피롤리돈(NMP)이나 DMSO 같은 극성 용매의 혼합이다. 1차 아민은 친핵체로 노볼락·에스터 결합을 공격하고, 염기로 페놀성 OH를 이온화해 고분자를 녹인다. 하이드록실아민(NH₂OH)을 더한 조성은 금속 산화 잔류물까지 걷어 낸다. 구리·알루미늄 배선이 드러난 웨이퍼에서는 아민이 구리 이온과 착물을 만들어 금속을 녹이므로, 부식 방지제(카테콜, 벤조트라이아졸)를 넣고 물 함량과 온도(보통 60–80 °C)를 엄격히 관리한다. CMP 뒤 구리 표면 세정에도 TMAH나 아민·아미노산이 든 알칼리 세정액을 쓴다. pH를 10 이상으로 올려 실리카 입자와 웨이퍼 표면을 둘 다 음전하로 만들어 입자가 밀려나게 한다. → CMPBook · CMP 후 세정, InfraBook · 케미컬과 슬러리 공급

아민의 합성

직접 알킬화와 과알킬화. 암모니아나 아민은 좋은 친핵체라 할로젠화 알킬과 SN2 반응을 한다(6장). 문제는 생성물이다. 생긴 1차 아민은 암모니아보다 친핵성이 오히려 크다(알킬기의 전자 주기). 그래서 남은 할로젠화 알킬을 먼저 차지해 2차, 3차 아민, 마지막에는 4차 암모늄 염까지 섞인 혼합물이 된다. 이것을 과알킬화(overalkylation)라 한다. 1차 아민을 깨끗이 얻으려면 암모니아를 아주 많이 넣거나, 질소가 한 번만 알킬화되도록 설계된 방법을 써야 한다.

SIMULATOR

과알킬화: 암모니아를 얼마나 넣어야 1차 아민만 얻나

위 그래프의 세로선(손잡이)을 끌어 반응 진행도를 바꾼다
RX 전환율—
1차 아민 선택도—
NH₃ 기준 수율—
모형: 각 단계 RnNH3−n + RX의 속도 상수 비를 1 : k : 0.75k : 0.15k로 두고 속도식을 적분했다(생긴 HX는 남은 아민이 중화한다고 보고 무시). 위: 진행도에 따른 각 화학종의 몰(RX 1 mol 기준). 아래: 끝났을 때 생긴 아민의 분포. 도전: 반응이 끝났을 때 1차 아민 선택도 90 % 이상이 되는 가장 작은 몰비를 찾아라. 해볼 것: k 비를 1 미만으로 낮추면(입체 장애가 큰 RX) 문제가 얼마나 줄어드나?

가브리엘 합성. 가브리엘 합성(Gabriel synthesis)은 질소에 보호기 둘을 미리 붙여 알킬화가 한 번만 일어나게 한다. 프탈이미드의 N–H는 두 C=O 사이에 있어 산성이 크다(pKa 8.3). KOH로 만든 프탈이미드 음이온이 1차 할로젠화 알킬과 SN2 반응을 하면 N-알킬프탈이미드가 된다. 이 질소는 비공유쌍이 두 카보닐과 공명해 더는 친핵성이 없으므로 과알킬화가 일어나지 않는다. 마지막으로 하이드라진(N₂H₄)이 두 카보닐을 차례로 공격하면 안정한 프탈하이드라자이드가 떨어지고 1차 아민이 풀려난다(잉–맨스키 방법). 2차·3차 할로젠화물은 SN2가 느려 쓰기 어렵다.

가브리엘 합성의 메커니즘(1-브로모프로페인 → 프로판-1-아민). 맨 앞의 탈양성자화는 생략했다.

환원성 아미노화. 가장 널리 쓰는 방법은 알데하이드나 케톤을 아민과 함께 환원제로 처리하는 환원성 아미노화(reductive amination)다. 아민이 카보닐에 첨가해 카비놀아민이 되고, 물이 빠져 이민(또는 이미늄 이온)이 된다(17장). 이 C=N을 그 자리에서 하이드라이드가 환원한다. 소듐 사이아노보로하이드라이드 NaBH₃CN이나 소듐 트라이아세톡시보로하이드라이드 NaBH(OAc)₃는 약한 환원제라 pH 5–7에서 케톤은 거의 건드리지 않고 더 친전자적인 이미늄 이온만 환원한다. 암모니아를 쓰면 1차, 1차 아민을 쓰면 2차, 2차 아민을 쓰면 3차 아민이 생긴다. 질소에 붙는 탄소가 카보닐 탄소에서 오므로, 원하는 아민을 C–N 결합에서 자르면 필요한 카보닐 화합물과 아민이 보인다.

사이클로헥산온과 메틸아민의 환원성 아미노화(NaBH₃CN, pH 약 5–6). 양성자 이동 단계는 묶어 보였다.
MINI LAB이민 생성 속도의 pH 의존성(모형). pH가 너무 낮으면 아민이 모두 암모늄이 되어 첨가가 느리고, 너무 높으면 OH를 물로 바꿔 떼어 줄 산이 없어 탈수가 느리다. 두 단계 중 느린 쪽이 속도를 정하므로 종 모양이 된다. 곡선 위 점을 끌어 pH를 바꾼다.

아마이드·나이트릴·아자이드·나이트로 화합물의 환원. 질소가 이미 붙은 작용기를 환원해도 아민이 된다. LiAlH₄는 아마이드의 C=O를 CH₂로 바꾼다. 하이드라이드가 카보닐에 첨가한 뒤, 산소가 알루미늄과 함께 떨어져 이미늄 이온이 되고, 두 번째 하이드라이드가 이를 환원한다. 아마이드는 카복실산과 아민에서 쉽게 만들 수 있으므로 ‘아실화 → 환원’은 과알킬화 없이 2차·3차 아민을 만드는 좋은 길이다.

LiAlH₄에 의한 N,N-다이메틸아세트아마이드의 환원. [Al]은 알루미늄 화학종을 줄여 쓴 것이다.

나이트릴 환원은 사슬을 탄소 하나 늘리고(R–X → R–CN → R–CH₂NH₂), 아자이드 이온 N₃⁻는 한 번만 알킬화되므로 과알킬화가 없다(유기 아자이드는 폭발성이 있어 주의). 방향족 아민은 거의 모두 벤젠의 나이트로화(15장) 뒤 나이트로기 환원으로 만든다.

N-벤질-N-메틸에탄아민 PhCH₂N(CH₃)CH₂CH₃를 환원성 아미노화로 만들려 한다. 가능한 카보닐 + 아민 조합을 모두 적어라.

풀이 보기
전략 질소에 붙은 C–N 결합 셋을 하나씩 끊어 본다. 끊긴 쪽 탄소가 H를 하나 이상 가져야(CH₂, CH) 카보닐 탄소였을 수 있다.
풀이 ① N–CH₂Ph를 끊으면 벤즈알데하이드 + N-메틸에탄아민. ② N–CH₂CH₃를 끊으면 아세트알데하이드 + N-메틸벤질아민. ③ N–CH₃를 끊으면 폼알데하이드 + N-에틸벤질아민.
PhCHO + CH₃NHCH₂CH₃, CH₃CHO + PhCH₂NHCH₃, HCHO + PhCH₂NHCH₂CH₃ (NaBH₃CN 또는 NaBH(OAc)₃)
검토 셋 다 가능하다. 실제로는 다루기 쉬운 벤즈알데하이드(①)가 흔하다. 2차 아민 + 카보닐은 이민이 아니라 이미늄 이온을 거친다.

4차 암모늄 염과 호프만 제거

4차 암모늄 이온 R₄N⁺에는 비공유쌍이 없다. 그래서 염기도 친핵체도 아니고, pH와 상관없이 늘 양이온이다. 4차 암모늄 할로젠화물은 이온 결정이고, 긴 사슬 하나를 가진 것(세틸트라이메틸암모늄 브로마이드 등)은 양이온 계면 활성제·살균제다. 테트라뷰틸암모늄 염처럼 친유성 큰 양이온은 음이온(OH⁻, CN⁻, MnO₄⁻)을 짝으로 끌고 유기층으로 들어가 반응을 돕는 상 이동 촉매(phase-transfer catalyst)로 쓰인다. 4차 암모늄 수산화물 R₄N⁺OH⁻는 NaOH만큼 강한 염기이면서 금속 이온이 없다. 반도체의 TMAH가 바로 이것이다. 생체에서는 콜린(Me₃N⁺CH₂CH₂OH)이 아세틸콜린의 재료다.

호프만 제거. 아민의 NH₂는 매우 나쁜 이탈기다(NH₂⁻의 짝산 NH₃의 pKa 38). 그러나 CH₃I 과량으로 4차 암모늄 이온까지 메틸화하면(완전 메틸화(exhaustive methylation)) 중성 트라이메틸아민(짝산 pKa 9.8)이 떨어져 나갈 수 있다. 아이오딘화물을 산화은(Ag₂O)과 물로 처리해 수산화물로 바꾸고 가열하면 E2 제거가 일어나 알켄이 생긴다. 이것이 호프만 제거(Hofmann elimination)다. 생성물이 자이체프 규칙과 반대로 덜 치환된 알켄(호프만 생성물)이 주가 되는 것이 특징이다.

뷰탄-2-아민의 호프만 제거. 마지막 메틸화, 수산화물 교환, E2의 순서. HO⁻는 C1(CH₃)의 β-H를 떼어 뷰트-1-엔을 준다.

왜 덜 치환된 알켄일까? 이탈기 −N⁺(CH₃)₃는 크고 이탈 능력이 약하다. 그래서 E2 전이 상태에서 C–N 결합이 아직 덜 끊어진 채 C–H가 먼저 많이 끊어진다. 탄소 음이온 성격이 큰 전이 상태(E1cb 쪽)에서는 알켄의 안정성보다 β-H의 산성도와 접근성이 중요하다. 1차 탄소(CH₃)의 H는 더 산성이고 더 많으며 덜 가려져 있다. 게다가 부피 큰 N⁺(CH₃)₃와 안티 형태로 놓인 내부 CH₂의 H를 떼려면 메틸기와 가우시 충돌이 생긴다(7장). 결과적으로 sec-뷰틸트라이메틸암모늄 수산화물은 뷰트-1-엔 약 95 %를 준다. 같은 탄소 골격의 2-브로모뷰테인을 에톡사이드로 제거하면 뷰트-2-엔이 약 81 %다(교과서 대표값).

트라이메틸(펜탄-2-일)암모늄 수산화물을 가열하면 주생성물은?

호프만 규칙: 덜 치환된 알켄. 아래 3D에서 두 종류의 β-H(C1의 CH₃와 C3의 CH₂)를 비교해 보자. 문헌 대표값으로 펜트-1-엔이 약 98 %다.
3D

호프만 대 자이체프: 어느 β-H를 떼나

끌어서 돌린다
기질 골격
이탈기
떼일 β-H
이 β-H에서 생기는 알켄—
생성물 비율—
ΔΔG‡ (비율에서, 반응 온도)—
왼쪽: 기질의 3D 모형(강조한 노란 H가 고른 β-H, 질소·브로민 이탈기를 함께 강조). 오른쪽: 두 경로의 상대 전이 상태 에너지와 생성물 비율(비율은 교과서 대표값, 에너지는 비율에서 거꾸로 구한 값). 해볼 것: ① 이탈기만 바꾸면 주생성물이 뒤집힌다. ② C3 쪽 β-H를 고르고 모형을 돌려, N⁺(CH₃)₃와 안티로 놓일 때 C4 메틸기가 어디에 오는지 본다. ③ 펜탄-2-일에서 호프만 선택성이 더 커지는 이유는(C3에 에틸이 붙어 더 붐빈다)?

N,N-다이메틸사이클로헥실메틸아민 C₆H₁₁CH₂N(CH₃)₂를 (1) CH₃I 과량 (2) Ag₂O, H₂O (3) 가열로 처리했다. 생성물은?

풀이 보기
전략 3차 아민이므로 메틸화는 한 번이면 4차가 된다. α-탄소는 CH₂이고, β-탄소는 고리의 CH 하나뿐이다.
풀이 (1) C₆H₁₁CH₂N⁺(CH₃)₃ I⁻ (2) 수산화물로 교환 (3) HO⁻가 고리 CH의 β-H를 떼고 N(CH₃)₃가 떨어진다. 생기는 C=C는 고리 탄소와 CH₂ 사이(고리 밖 이중 결합)다.
메틸렌사이클로헥세인 + 트라이메틸아민 + H₂O
검토 N-메틸기에는 β-H가 없으므로 다른 선택지가 없다. 더 안정한 1-메틸사이클로헥센은 생기지 않는다. 호프만 제거는 고리 속 질소의 위치를 찾는 구조 결정법으로도 쓰였다.
TMAH 2.38 wt%: 금속 이온 없는 강염기 현상액

포지티브형 감광막의 표준 현상액은 테트라메틸암모늄 수산화물(TMAH, (CH₃)₄N⁺OH⁻) 2.38 wt%(0.261 mol/L, 0.26 N) 수용액이다. 1970–80년대에는 NaOH·KOH 현상액을 썼지만, 남은 Na⁺·K⁺가 게이트 산화막 속을 움직여 문턱 전압을 흔들었다. 4차 암모늄 양이온은 탄소·수소·질소뿐이라 이런 금속 오염이 없고, 비공유쌍이 없어 pH가 시간에 따라 크게 변하지 않는다(다만 공기 중 CO₂를 흡수하면 탄산염이 생겨 농도가 떨어지므로 질소 분위기로 공급한다). 0.26 N은 노볼락·폴리하이드록시스타이렌의 페놀(pKa 약 10)을 이온화하기에 충분하면서 노광 안 된 부분은 거의 녹이지 않는 균형점이다. 농도 ±0.01 %의 차이가 현상 속도와 CD를 바꾸므로 공급 장비에서 전도도로 농도를 감시한다. TMAH는 피부로 흡수되면 신경 독성(콜린 수용체 차단)이 있어 고농도 원액 취급 시 각별히 조심한다. → LithoBook · 현상과 레지스트 프로파일, InfraBook · 가스 안전

다이아조늄 염과 샌드마이어 반응

1차 아릴아민을 0–5 °C에서 아질산 소듐(NaNO₂)과 강산으로 처리하면 아렌다이아조늄 염(arenediazonium salt) ArN₂⁺X⁻가 생긴다. 이 반응을 다이아조화(diazotization)라 한다. 산 속에서 아질산 HONO가 양성자화되어 물을 잃으면 강한 친전자체 나이트로소늄 이온(nitrosonium ion, NO⁺)이 된다. 아민의 비공유쌍이 NO⁺를 공격해 N-나이트로소아민이 되고, 양성자 이동과 탈수를 거쳐 N≡N 삼중 결합이 생긴다.

아닐린의 다이아조화. NO⁺ 생성 → N–N 결합 형성 → 탈양성자화 → 토토머화 → 탈수.

N₂⁺는 최고의 이탈기다. 떨어지면 매우 안정한 N₂ 기체가 되기 때문이다. 알킬다이아조늄 이온은 0 °C에서도 곧바로 N₂를 잃고 탄소 양이온이 되어 알코올·알켄·재배열 생성물의 혼합물을 준다. 아렌다이아조늄 이온은 N≡N이 고리와 공액되어 있고 페닐 양이온이 매우 불안정하므로 차가운 수용액에서 수 시간 버틴다. 그러나 마른 다이아조늄 염은 충격에 폭발할 수 있어 분리하지 않고 바로 다음 반응에 쓴다(사불화붕산염 ArN₂⁺BF₄⁻은 예외적으로 안정하다).

MINI LAB벤젠다이아조늄 수용액이 물과 반응해 페놀 + N₂로 분해되는 1차 반응(모형: 25 °C에서 k = 4.4×10⁻⁵ s⁻¹, Ea = 114 kJ/mol, 문헌 대표값 수준). 곡선 위 점을 끌어 시간을 바꾼다. 5 °C에서는 반감기가 약 5일이지만 40 °C면 30분이다. 다이아조화를 얼음 중탕에서 하는 이유다.

치환 반응. 다이아조늄기는 거의 모든 치환기로 바꿀 수 있다. 방향족 친전자성 치환(15장)으로는 바로 넣을 수 없는 치환기나 위치를 만드는 것이 장점이다. 구리(I) 염을 쓰는 반응을 샌드마이어 반응(Sandmeyer reaction)이라 한다.

시약생성물이름·메모
CuCl / HClAr–Cl샌드마이어
CuBr / HBrAr–Br샌드마이어
CuCN / KCNAr–CN샌드마이어. 나이트릴은 가수 분해해 ArCOOH로
KIAr–I구리 필요 없음(I⁻가 전자를 준다)
HBF₄, 가열Ar–F발츠–쉬만 반응: ArN₂⁺BF₄⁻ 고체를 가열
H₂O, Cu₂O / Cu(NO₃)₂ (또는 가열)Ar–OH페놀
H₃PO₂Ar–H탈아미노화: 위치를 정한 뒤 NH₂를 지운다
ArOH(NaOH) 또는 ArNR₂Ar–N=N–Ar′아조 짝지음: 다이아조늄이 친전자체(N–N 유지)

샌드마이어 반응은 이온 치환이 아니라 라디칼 반응이다(10장). Cu(I)이 다이아조늄에 전자 하나를 넘겨주면(단일 전자 이동) 아릴다이아젠일 라디칼이 N₂를 잃고 아릴 라디칼이 된다. 아릴 라디칼이 Cu(II)–X에서 X를 떼어 가면서 Cu(I)이 되살아난다.

샌드마이어 반응(CuCl)의 라디칼 메커니즘. [CuCl]·[CuCl₂]는 구리 화학종을 줄여 쓴 것이다.

아조 짝지음. 다이아조늄 이온의 말단 질소는 약한 친전자체라 페놀레이트나 N,N-다이메틸아닐린처럼 전자가 풍부한 고리만 공격한다. 보통 파라 자리에서 친전자성 방향족 치환이 일어나 Ar–N=N–Ar′ 아조 화합물이 된다. 긴 공액계가 가시광을 흡수해(13장) 노랑·주황·빨강 염료가 된다. 메틸 오렌지 같은 pH 지시약도 아조 염료다.

SIMULATOR

다이아조늄 변환 실험실: 목표 화합물 만들기

아래 시약 패를 가운데 분자로 끌어다 놓는다(또는 눌러 고른 뒤 ‘넣기’)
목표—
사용한 단계0
성공0
가운데: 지금 플라스크 속 화합물. 위: 지나온 경로. 목표를 맞히면 ‘새 목표’가 열린다. 해볼 것: ① 1,3,5-트라이브로모벤젠은 벤젠에 Br₂를 직접 넣어서는 만들 수 없다. NH₂의 강한 오르토·파라 지향성을 빌린 뒤 지운다. ② 다이아조늄을 만들기 전에 CuCN을 넣으면? ③ 나이트로벤젠에서 출발하면 먼저 무엇을 해야 하나?

벤젠에서 1,3,5-트라이브로모벤젠을 합성하는 경로를 설계하라. Br는 오르토·파라 지향기인데 서로 메타 자리에 셋을 넣어야 한다.

풀이 보기
전략 세 Br 자리가 서로 메타이고, 모두 한 자리(C1)의 오르토·파라다. C1에 강한 활성화·오르토·파라 지향기를 두었다가 마지막에 지운다. NH₂가 딱 맞고, 다이아조늄을 거쳐 H₃PO₂로 지울 수 있다.
풀이 ① HNO₃/H₂SO₄ → 나이트로벤젠 ② Fe, HCl(또는 H₂, Pd) → 아닐린 ③ Br₂, H₂O(촉매 불필요, 매우 빠름) → 2,4,6-트라이브로모아닐린 ④ NaNO₂, HCl, 0 °C → 다이아조늄 염 ⑤ H₃PO₂ → 1,3,5-트라이브로모벤젠.
벤젠 → PhNO₂ → PhNH₂ → 2,4,6-Br₃C₆H₂NH₂ → ArN₂⁺ → 1,3,5-Br₃C₆H₃
검토 NH₂는 ‘위치를 정하는 임시 손잡이’ 역할을 한다. 탈아미노화는 15장의 지향성 규칙을 넘어서는 대표적인 방법이다.

반도체 공정의 아민: 현상액, AMC, 켄처

반도체 노광 공정의 화학 증폭형 감광막(chemically amplified resist, CAR)은 산 하나가 수백 번 반응을 일으키는 촉매 원리로 감도를 높였다(23장). 빛을 받은 광산 발생제(photoacid generator, PAG)가 강산 H⁺를 만들고, 노광 후 굽기(PEB) 동안 H⁺가 고분자의 tert-뷰톡시카보닐(t-Boc)·아세탈 같은 보호기를 떼어 낸다. 보호기가 떨어진 페놀·카복실산은 TMAH 현상액(pH 13.4)에서 이온화되어 녹는다. 이 화학의 모든 단계가 산·염기 반응이므로, 아민은 이 공정에서 세 얼굴을 가진다. 현상액(4차 암모늄 수산화물), 오염원(공기 중 아민), 그리고 일부러 넣는 첨가제(켄처)다.

기판 비노광: Ar–O–t-Boc 이온화할 H 없음 → 안 녹음 비노광 노광 + PEB: Ar–OH (pKa ≈ 10) Ar–OH + OH⁻ → Ar–O⁻ N⁺Me₄ + H₂O 페놀레이트 염 → 현상액에 녹음 TMAH 0.26 N (pH ≈ 13.4): [OH⁻] ≫ Ka(Ar–OH) 녹는 속도 비(노광/비노광)가 10³–10⁴배 → 수직 벽
TMAH 현상의 화학. 보호기가 떨어진 페놀(pKa 약 10)은 pH 13.4에서 99.9 % 이상 이온화되어 녹는다. 보호된 고분자는 산성 수소가 없어 녹지 않는다.
MINI LAB노광량에 따른 현상 속도(맥 모형, 계수는 예시값). 곡선 위 점을 끌어 노광량을 바꾼다. TMAH 농도는 pH(이상 용액 근사)와 최대 현상 속도를 바꾼다. 농도를 너무 낮추면 노광부도 잘 안 녹고, 너무 높이면 비노광부까지 깎여(암부 손실) 대비가 떨어진다.

공기 중 아민 오염과 T-top. 1990년대 초 KrF(248 nm) CAR를 처음 양산에 쓸 때, 노광과 PEB 사이에 웨이퍼를 몇십 분만 두어도 패턴 윗부분이 녹지 않아 T자 모양 단면(T-top)이 생기는 문제가 나타났다. 원인은 클린룸 공기 속 수–수십 ppb의 염기, 즉 암모니아(HMDS 부산물, 사람, 콘크리트·도료), NMP 분해물, 아민계 스트리퍼 증기였다. 염기 분자가 감광막 표면에 흡착해 확산하면서 표면 근처의 H⁺를 중화한다. 산이 없는 표면층은 PEB에서 보호기가 안 떨어져 현상에서 녹지 않는 껍질로 남는다. 공기 중 분자성 오염(AMC(airborne molecular contamination)) 가운데 염기 계열을 MB(molecular base)라 부른다.

KrF 빛 공기 중 NH₃·아민표면 H⁺ 중화 탈보호됨 (Ar–OH)표면층: 보호기 그대로 TMAH로 녹아 나감T-top (처마) 탑코트 + 화학 필터 + 짧은 대기 시간수직 벽
  1. 노광: 마스크가 열린 곳에서 PAG가 강산 H⁺(빨강)를 만든다. 아직 보호기는 그대로다.
  2. 노광과 PEB 사이에 기다리는 동안 공기 중 아민(파랑)이 표면에 내려앉아 확산하며 표면 근처 H⁺를 중화한다: R₃N + H⁺ → R₃NH⁺.
  3. PEB: 산이 남은 아래쪽은 보호기가 떨어지지만, 산을 잃은 표면 10–20 nm는 보호된 채 남는다.
  4. TMAH 현상: 아래쪽은 녹아 나가고 녹지 않는 표면층이 처마처럼 남는다. 심하면 스페이스가 다리처럼 막힌다(브리징).
  5. 대책: 탑코트(보호막), 활성탄·산 함침 화학 필터로 트랙 공기의 아민을 ppb 이하로, 노광–PEB 대기 시간 단축, 아민에 덜 민감한 저활성화 에너지 감광막.
공기 중 아민이 T-top을 만드는 과정. 핵심은 표면에서 일어나는 산·염기 중화다.

공기 중 NH₃ 5, 대기 시간 15, 부착 확률 1이면, 기체 운동론의 충돌 빈도(1 ppb일 때 3.75×10¹⁴ cm⁻² s⁻¹)로 표면에 붙는 아민은 이다. 노광부 맨 위 10 nm에 들어 있는 산(0.05 mol/L)은 3.0×10¹³ cm⁻²이므로 .

SIMULATOR

T-top 공정 실험실: 단면 프로파일을 지켜라

왼쪽 눈금의 손잡이를 끌어 공기 중 아민 농도를 바꾼다
실효 아민 농도—
표면 산 손실—
T-top 두께—
위/아래 CD 차이—
단면 모형: 라인·스페이스(피치 200 nm, 막 두께 300 nm). 노광부의 산 농도(PAG 0.05 mol/L에서 생긴 H⁺)에서 켄처와 침투한 아민(표면에서 지수적으로 줄어드는 깊이 분포, 침투 깊이 15 nm)을 빼고, 남은 산으로 탈보호도를 계산해 문턱 이상이면 녹인다. 수치는 모두 예시 모형값이다. 도전: ‘새 시나리오’의 공장 조건(아민 농도·대기 시간)에서 대책을 최소로 써서 T-top 2 nm 미만, CD 차이 3 nm 미만을 만들어라. 켄처를 너무 많이 넣으면 노광량이 모자라 스페이스가 다 안 열린다.
AMC 관리: 화학 필터와 ppt 단위 감시

오늘날 노광 장비와 트랙 내부의 염기성 AMC는 보통 수백 ppt(0.1–1 ppb) 이하로 관리한다. 외기와 클린룸 공기를 장비로 들이는 곳에 화학 필터를 단다. 염기용 필터는 인산·황산 같은 산을 함침한 활성탄이나 강산성 이온 교환 섬유로, 아민을 암모늄 염으로 붙잡는다(R₃N + H⁺ → R₃NH⁺, 바로 이 장의 반응). 산성 AMC(SO₂, HF)용 필터는 알칼리 함침 탄이다. 필터 수명은 하류 농도를 이온 이동도 분광(IMS)이나 임핀저 포집 뒤 이온 크로마토그래피로 재서 판정한다. 웨이퍼를 옮기는 FOUP 안도 질소로 퍼지한다. 아민원은 사람(땀·호흡의 NH₃), 콘크리트 경화제, HMDS 프라이밍, NMP·아민계 스트리퍼, 그리고 TMAH 현상액 자체의 분해물(트라이메틸아민)까지 공정 안에 많다. → InfraBook · 분자 오염과 미니인바이런먼트, InfraBook · 클린룸

켄처: 일부러 넣는 염기. 역설적으로 감광막에는 처음부터 아민을 조금 넣는다. 이것을 켄처(quencher)라 한다. 트라이옥틸아민, 트라이에탄올아민 같은 3차 아민이나 염기성 광분해 켄처(빛을 받으면 염기성을 잃는 술포늄 염)를 PAG의 5–30 mol % 정도 넣는다. 켄처는 세 가지 일을 한다. 첫째, 노광이 약하게 닿은 가장자리의 적은 산을 먼저 중화해 산 분포의 꼬리를 잘라 낸다. 그래서 잠상(latent image)의 경계가 가팔라지고 선 가장자리 거칠기(LER(line edge roughness))가 줄어든다. 둘째, 산이 PEB 동안 비노광부로 확산해 들어가는 것을 막는다. 셋째, 공기 중 아민에 대한 완충 역할로 감광막을 덜 민감하게 만든다. 대가는 감도다. 켄처가 먹는 만큼 산을 더 만들어야 하므로 노광량이 늘어난다. EUV에서는 광자 수가 적어 이 감도–해상도–거칠기의 맞바꿈(RLS 삼각관계)이 가장 큰 숙제다.

MINI LAB피치 80 nm 라인·스페이스의 산 잠상(1차원 모형). 회색: 노광 직후 산, 파랑: PEB 확산 후, 주황: 켄처가 중화한 뒤 남은 산. 가장자리(문턱 교차점)에서의 기울기가 클수록 같은 잡음에도 가장자리가 덜 흔들린다(LER ∝ 1/기울기). 노광량은 CD가 40 nm로 유지되도록 자동으로 맞춘다.

TMAH 2.38 wt% 수용액(밀도 1.00 g/mL로 근사)의 몰 농도와 pH를 구하라(이상 용액, 25 °C). TMAH = C₄H₁₃NO.

풀이 보기
전략 4차 암모늄 수산화물은 강전해질이라 완전히 해리한다. [OH⁻] = c.
풀이 몰질량 \(4(12.011) + 13(1.008) + 14.007 + 15.999 = 91.15\) g/mol. 1 L에 23.8 g → \(c = 23.8/91.15 = 0.261\) mol/L. pOH \(= -\log 0.261 = 0.583\), pH \(= 14.00 - 0.583 = 13.42\).
0.261 mol/L, pH ≈ 13.42
검토 업계에서 ‘0.26 N 현상액’이라 부르는 것과 일치한다. 실제 pH는 활동도 계수 때문에 약간 낮다. 페놀(pKa 10)의 이온화 분율은 \(1/(1+10^{10-13.42}) = 99.96\,\%\)다.

NH₃ 1 ppb(25 °C, 1 atm)의 공기에 노출된 표면에 1초에 충돌하는 NH₃ 분자 수를 구하라(\(Z = n\bar v/4\), \(\bar v = \sqrt{8k_\mathrm{B}T/\pi m}\)). 부착 확률이 1×10⁻⁵이면 15분 동안 붙는 분자 수는 cm²당 몇 개인가?

풀이 보기
전략 이상 기체 수 밀도 \(n = xP/k_\mathrm{B}T\), 평균 속력, 충돌 빈도 순서로 계산한다.
풀이 \(n = 10^{-9}\times101325/(1.381\times10^{-23}\times298.15) = 2.46\times10^{16}\) m⁻³. \(m = 17.03\times1.661\times10^{-27} = 2.83\times10^{-26}\) kg, \(\bar v = 609\) m/s. \(Z = 2.46\times10^{16}\times609/4 = 3.75\times10^{18}\) m⁻² s⁻¹ \(= 3.75\times10^{14}\) cm⁻² s⁻¹. 15분: \(3.75\times10^{14}\times10^{-5}\times900 = 3.4\times10^{12}\) cm⁻².
Z ≈ 3.7×10¹⁴ cm⁻² s⁻¹, 15분에 약 3.4×10¹² cm⁻²
검토 맨 위 10 nm의 산(약 3×10¹³ cm⁻²)의 약 11 %다. 15 ppb였다면 표면 산이 다 사라진다. 그래서 1990년대 초 십수 ppb 환경에서 T-top이 났고, 지금은 ppt 단위로 관리한다.
켄처와 EUV 확률론: 산 몇 개의 싸움

EUV(13.5 nm, 92 eV) 광자는 KrF(248 nm, 5.0 eV) 광자보다 에너지가 18배 커서 같은 노광량에 광자 수가 18배 적다. 20 mJ/cm²에서 10 nm × 10 nm 면적에 들어오는 광자는 약 1400개, 그중 막에 흡수되는 것은 수백 개, 만들어지는 산은 수십–수백 개다. 켄처도 같은 부피에 수십 개뿐이다. 이 정도로 적으면 산과 켄처의 개수 요동(푸아송 잡음)이 그대로 가장자리 위치의 요동, 즉 LER과 확률적 결함(뚫리지 않은 홀, 이어진 라인)이 된다. 켄처를 늘리면 잠상 대비는 좋아지지만 필요한 노광량이 커진다. 그래서 EUV 감광막은 빛을 받으면 염기성을 잃는 광분해 켄처(PDQ), 금속 산화물 감광막처럼 산 증폭을 쓰지 않는 방식을 함께 연구한다. → LithoBook · EUV 확률론과 High-NA, LithoBook · 감광막의 화학

핵심 정리

  1. 아민은 질소에 붙은 탄소 수로 1차·2차·3차·4차로 나눈다. 질소는 sp³ 피라미드이고, 반전 장벽이 25–30 kJ/mol로 낮아 질소 입체 중심의 거울상 이성질체는 분리되지 않는다(아지리딘, 4차 암모늄은 예외).
  2. 염기도는 짝산의 pKa(pKaH)로 비교한다. 알킬아민 10–11, 암모니아 9.25, 이미다졸 7.0, 피리딘 5.2, 아닐린 4.6, 아마이드 약 −0.5, 피롤 약 −3.8. 비공유쌍의 혼성(s 성질), 공명, 방향족성, 유발 효과, 용매화가 순서를 정한다.
  3. \(f_\text{염기} = 1/(1+10^{\mathrm{p}K_\mathrm{aH}-\mathrm{pH}})\). pH가 pKaH보다 2 낮으면 99 % 암모늄 염이다. 이 차이로 산·염기 추출을 설계한다. 아미노산은 쌍극성 이온이며 pI = (pKa₁ + pKa₂)/2다.
  4. 직접 알킬화는 과알킬화를 일으킨다. 1차 아민은 가브리엘 합성·아자이드·나이트릴 환원으로, 임의의 아민은 환원성 아미노화(NaBH₃CN)나 아마이드의 LiAlH₄ 환원으로 만든다. 아릴아민은 나이트로기 환원으로 만든다.
  5. 호프만 제거(CH₃I 과량 → Ag₂O → 가열)는 큰 이탈기 −N⁺(CH₃)₃ 때문에 탄소 음이온 성격이 큰 E2 전이 상태를 거쳐 덜 치환된 알켄을 준다.
  6. ArNH₂ + NaNO₂/HCl(0–5 °C) → ArN₂⁺. N₂ 이탈을 이용해 Cl·Br·CN(샌드마이어, 라디칼), I, F(쉬만), OH, H(H₃PO₂)로 바꾸고, 전자가 풍부한 고리와 아조 짝지음을 한다.
  7. 반도체: TMAH 2.38 wt%(0.26 N, pH 13.4)는 금속 이온 없는 4차 암모늄 염기 현상액이다. 공기 중 ppb 아민은 CAR 표면 산을 중화해 T-top을 만들므로 화학 필터·탑코트로 막고, 감광막에는 켄처 아민을 일부러 넣어 산 확산과 LER을 줄인다.

연습문제

짝산 pKa(25 °C 물): 암모늄 9.25, 메틸암모늄 10.6, 트라이메틸암모늄 9.8, 아닐리늄 4.6, 피리디늄 5.2, 이미다졸륨 7.0, 아세트산 4.76. \(\mathrm{p}K_\mathrm{w} = 14.00\), \(R = 8.314\) J/(mol·K), \(k_\mathrm{B} = 1.381\times10^{-23}\) J/K, \(h = 6.626\times10^{-34}\) J·s. 원자량 C 12.011, H 1.008, N 14.007, O 15.999.

다음 중 3차 아민은?

N,N-다이메틸사이클로헥실아민: 질소에 탄소 셋. tert-뷰틸아민은 질소에 탄소 하나뿐인 1차 아민, 다이메틸아민은 2차, 테트라메틸암모늄은 4차 암모늄 이온이다.

메틸아민의 pKb를 구하라.

\(\mathrm{p}K_\mathrm{b} = 14.00 - \mathrm{p}K_\mathrm{aH} = 14.00 - 10.6 = 3.4\).

pH 9.8 완충 용액에 녹인 트라이메틸아민의 몇 %가 양성자화되어 있는가?

pH = pKaH이므로 \([\ce{Me3NH+}] = [\ce{Me3N}]\), 50 %.

피리딘 질소의 비공유 전자쌍이 들어 있는 오비탈의 혼성은?

sp². 고리 평면에 놓여 방향족 π계와 직교한다. 그래서 피리딘은 방향족성을 잃지 않고 양성자를 받는다.

아닐린을 99 % 양성자화하려면 물층의 pH가 얼마 이하여야 하는가?

\(f_\text{양성자화} = 0.99\)이면 \([\ce{BH+}]/[\ce{B}] = 99\).

\(\mathrm{pH} = \mathrm{p}K_\mathrm{aH} - \log 99 = 4.6 - 2.00 = 2.6\).

피리딘 + CH₃COOH ⇌ 피리디늄 + CH₃COO⁻의 평형 상수를 구하라.

\(K = 10^{5.2 - 4.76} = 10^{0.44} = 2.75\). 피리딘은 아세트산과 섞으면 일부만 염이 된다.

다음 중 가장 강한 염기는?

p-메톡시아닐린(pKaH 약 5.3). OCH₃는 공명으로 고리에 전자를 주어 질소의 전자 밀도를 높인다. 아닐린 4.6, p-클로로 4.0, p-나이트로 1.0(문헌 대표값).

글라이신의 pKa₁ = 2.34, pKa₂ = 9.60이다. 등전점은?

\(\mathrm{pI} = (2.34 + 9.60)/2 = 5.97\).

반전 장벽이 30.0 kJ/mol인 3차 아민의 25 °C(298.15 K) 반전 속도 상수를 아이링 식으로 구하라.

\(k_\mathrm{B}T/h = 6.21\times10^{12}\) s⁻¹, \(\Delta G^\ddagger/RT = 30000/2479 = 12.10\), \(k = 6.21\times10^{12}\,e^{-12.10} = 3.45\times10^7\) s⁻¹. 반감기 20 ns로 거울상 이성질체를 분리할 수 없다.

뷰탄-2-아민을 (1) CH₃I 과량 (2) Ag₂O, H₂O (3) 가열로 처리했을 때 주생성물 알켄의 이름은?

호프만 규칙에 따라 덜 치환된 뷰트-1-엔(약 95 %)이다. 부산물은 트라이메틸아민과 물.

p-톨루이딘에서 p-톨루산(4-메틸벤조산)을 만들려 한다. 다이아조화 다음에 쓸 시약과 그 뒤 단계로 옳은 것은?

ArN₂⁺ + CuCN → ArCN(샌드마이어). 나이트릴을 산 가수 분해하면 ArCOOH. H₃PO₂ 뒤 KMnO₄는 톨루엔을 벤조산으로 만들어 메틸이 사라진다.

아닐린(중성형 분배 계수 P = 100.90)이 녹은 에터를 같은 부피의 pH 3.6 완충 용액으로 한 번 씻는다. 아닐린의 몇 %가 에터층에 남는가? (양성자화된 아닐리늄은 모두 물층에 있다고 본다.)

겉보기 분배비 \(D = P\cdot f_\text{염기}\), 유기층 몫 \(= D/(1+D)\).

\(f_\text{염기} = 1/(1+10^{4.6-3.6}) = 0.0909\). \(D = 7.94\times0.0909 = 0.722\). 유기층 몫 \(= 0.722/1.722 = 0.419\) → 41.9 %. pH 3.6은 pKaH보다 1만 낮아 추출이 불완전하다. 1 M HCl(pH 0)이면 거의 0 %다.

25.0 wt% TMAH 원액을 초순수로 희석해 2.38 wt% 현상액 10.0 kg을 만들려 한다. 원액이 몇 g 필요한가?

TMAH 질량 보존: \(10000 \times 0.0238 = m \times 0.250\) → \(m = 952\) g. 초순수는 9048 g.

노광 후 10분 대기하는 동안 표면에 붙는 NH₃ 수가 맨 위 10 nm의 산(3.0×10¹³ cm⁻²)과 같아지는 공기 중 NH₃ 농도(ppb)는? 1 ppb일 때 충돌 빈도는 3.75×10¹⁴ cm⁻² s⁻¹, 부착 확률은 1.0×10⁻⁵이다.

\(c = 3.0\times10^{13}/(3.75\times10^{14}\times10^{-5}\times600) = 13.3\) ppb. 1990년대 초 T-top이 보고된 농도 범위와 같다.

벤젠다이아조늄 수용액의 분해 속도 상수가 25 °C에서 4.4×10⁻⁵ s⁻¹, 활성화 에너지가 114 kJ/mol이라 하자. 0 °C에서 반감기는 몇 시간인가?

\(\ln(k_2/k_1) = -\dfrac{E_a}{R}\left(\dfrac1{T_2} - \dfrac1{T_1}\right)\).

\(\ln(k_{273}/k_{298}) = -(114000/8.314)(1/273.15 - 1/298.15) = -4.21\). \(k_{273} = 4.4\times10^{-5}\times e^{-4.21} = 6.54\times10^{-7}\) s⁻¹. \(t_{1/2} = 0.693/k = 1.06\times10^6\) s = 294 h(약 12일). 25 °C의 4.4 h보다 67배 길다.

개념 확인 퀴즈

물에서 트라이메틸아민(pKaH 9.8)이 다이메틸아민(10.7)보다 약한 염기인 가장 좋은 설명은?

기체에서는 Me₃N이 가장 강한 염기다(양성자 친화도 949 kJ/mol). 물에서 순서가 뒤집히는 것은 짝산의 용매화 차이다. 양성자는 매우 작아 입체 장애가 주원인은 아니다.

환원성 아미노화에 NaBH₄ 대신 NaBH₃CN을 쓰는 이유는?

CN의 전자 끌기로 B–H의 하이드라이드 주개 능력이 약해졌다. 양전하를 띤 이미늄 C=N⁺은 중성 C=O보다 훨씬 친전자적이라 선택적으로 환원된다. 약산성에서도 분해되지 않는다.

가브리엘 합성에서 과알킬화가 일어나지 않는 이유는?

알킬화된 질소에는 N–H가 없고, 비공유쌍이 두 카보닐에 비편재화되어 있다. 아민은 하이드라진 처리로 마지막에 한 번 풀려난다.

샌드마이어 반응(ArN₂⁺ + CuBr → ArBr)의 메커니즘으로 옳은 것은?

sp² 탄소에서 SN2는 불가능하고 페닐 양이온은 매우 불안정하다. 구리가 촉매로 되살아나는 라디칼 경로다.

화학 증폭형 감광막에 켄처를 더 넣을 때 일어나는 일로 옳지 않은 것은?

켄처가 산 일부를 먹으므로 같은 양의 산이 남으려면 노광량이 늘어야 한다. 감도–해상도–거칠기의 맞바꿈이다.