아민
암모니아의 수소를 탄소로 바꾼 화합물이 아민이다. 질소의 비공유 전자쌍 하나가 이 장 전체를 이끈다. 이 전자쌍이 양성자를 받으면 아민은 유기 화학에서 가장 흔한 염기가 되고, 탄소를 공격하면 친핵체가 된다. 전자쌍이 공명으로 퍼지면 염기도가 백만 배 약해지고, 전자쌍이 없는 4차 암모늄 이온은 전혀 다른 성질을 띤다. 단백질의 아미노산, 약의 절반 이상, 염료, 그리고 반도체 공장의 현상액 TMAH가 모두 아민 계열이다. 반도체 공정에서 아민은 반갑지 않은 손님이기도 하다. 공기 중 아민이 ppb 수준만 있어도 화학 증폭형 감광막 표면의 산을 중화한다. 그러면 패턴 윗부분이 녹지 않아 T자 모양이 된다. 아래 그림에서 파란 점(공기 중 아민)이 내려와 노광된 자리의 H⁺(빨강)를 지운다. 오른쪽 손잡이를 끌어 아민 농도를 바꿔 보자.
- 아민을 1차·2차·3차·4차로 분류하고 IUPAC·관용명으로 부르며, 질소 반전의 장벽으로 키랄 아민을 분리할 수 없는 이유를 아이링 식으로 설명한다.
- 짝산의 pKa(pKaH)로 염기도를 비교하고, 혼성·공명·유발 효과·용매화·방향족성이 알킬아민·아닐린·아마이드·피리딘·피롤·이미다졸의 염기도를 어떻게 바꾸는지 설명한다.
- 헨더슨–하셀바흐 식으로 pH에 따른 양성자화 분율을 계산하고, 산·염기 추출로 혼합물을 나누는 순서를 설계하며, 아미노산의 쌍극성 이온과 등전점을 구한다.
- 직접 알킬화의 과알킬화 문제를 이해하고 가브리엘 합성·환원성 아미노화·아마이드와 나이트릴 환원으로 원하는 아민을 합성하는 경로를 고른다.
- 호프만 제거가 덜 치환된 알켄을 주는 이유를 E2 전이 상태로 설명하고, 다이아조늄 염의 생성 메커니즘과 샌드마이어·쉬만·짝지음 반응으로 방향족 고리의 치환기를 바꾼다.
- TMAH 현상액, 공기 중 아민 오염(AMC)과 T-top, 감광막 켄처의 원리를 산·염기 반응과 확산으로 정량적으로 설명한다.
아민의 구조·명명과 질소 반전
아민(amine)은 암모니아 NH₃의 수소 원자를 알킬기나 아릴기로 바꾼 화합물이다. 질소에 붙은 탄소의 수로 분류한다. 탄소가 하나면 1차 아민(primary amine, RNH₂), 둘이면 2차(R₂NH), 셋이면 3차(R₃N)다. 질소가 탄소 넷과 결합해 양전하를 띠면 4차 암모늄 이온(quaternary ammonium ion, R₄N⁺)이다. 알코올의 1차·2차·3차는 OH가 붙은 탄소의 치환 정도로 나누지만, 아민은 질소의 치환 정도로 나눈다는 점에 주의한다. tert-뷰틸아민 (CH₃)₃CNH₂는 3차 탄소에 붙었지만 1차 아민이다.
명명. 간단한 아민은 알킬기 이름 뒤에 ‘아민’을 붙인다(메틸아민, 에틸메틸아민, 사이클로헥실아민). IUPAC 체계명은 모체 알케인의 어미 ‘-에인’을 ‘-아민’으로 바꾸고 위치 번호를 붙인다. CH₃CH₂CH₂NH₂는 프로판-1-아민이다. 질소에 붙은 다른 치환기는 N- 접두사로 쓴다. 가장 긴 사슬을 모체로 하면 CH₃CH₂CH₂N(CH₃)CH₂CH₃는 N-에틸-N-메틸프로판-1-아민이다. 다른 작용기가 더 우선하면 아민은 접두사 ‘아미노-’가 된다(4-아미노벤조산). 방향족 아민은 아닐린(aniline)을 모체로 부른다. 질소가 고리에 들어간 헤테로 고리 아민(heterocyclic amine)은 고유 이름을 쓴다.
물리적 성질. 1차·2차 아민은 N–H로 수소 결합을 한다. 그러나 N이 O보다 전기 음성도가 작아(3.0 대 3.4) 수소 결합이 알코올보다 약하다. 분자량이 거의 같은(59–60) 다섯 화합물의 끓는점을 비교하면 이 순서가 보인다. 프로판올 97 °C > 프로판-1-아민 48 °C > 에틸메틸아민 37 °C > 트라이메틸아민 3 °C > 뷰테인 −0.5 °C. N–H가 없는 3차 아민은 자기들끼리 수소 결합을 못 해 끓는점이 낮다. 그래도 물에는 수소 결합 받개로 작용하므로, 탄소 6개 정도까지의 아민은 물에 잘 녹는다. 작은 아민은 생선 비린내, 카다베린 H₂N(CH₂)₅NH₂처럼 썩는 냄새가 난다. 사람의 코는 트라이메틸아민을 ppb 수준에서 맡는다.
구조와 질소 반전. 아민의 질소는 sp³에 가깝다. 결합 셋과 비공유 전자쌍 하나가 사면체 방향을 향해, 분자는 낮은 피라미드다(트라이메틸아민 C–N–C 108°). 질소에 서로 다른 세 기와 비공유쌍이 붙으면 질소가 입체 중심이 된다. 그런데 이런 아민의 거울상 이성질체는 분리할 수 없다. 피라미드가 우산처럼 뒤집히는 질소 반전(nitrogen inversion)이 상온에서 1초에 수억 번 일어나기 때문이다. 반전의 전이 상태에서 질소는 평면 sp²이고, 비공유쌍은 순수한 p 오비탈에 들어간다. 장벽은 암모니아 24 kJ/mol, 보통의 알킬아민 25–30 kJ/mol 정도다(문헌 대표값).
N-에틸-N-메틸프로판-1-아민의 질소에는 서로 다른 세 기와 비공유쌍이 붙어 있다. 이 아민의 두 거울상 이성질체를 상온에서 분리해 병에 담을 수 있을까?
질소 반전: 질소를 끌어 평면을 넘겨 보기
반전 장벽 25, 온도 300에서 아이링 식 \(k = \dfrac{k_\mathrm{B}T}{h}e^{-\Delta G^\ddagger/RT}\)로 구한 반전 속도는 이고 반감기는 다.
다음 세 화합물의 이름을 쓰고 1차·2차·3차로 분류하라. (a) CH₃CH₂CH(NH₂)CH₃ (b) (CH₃CH₂)₂NH (c) C₆H₅N(CH₃)₂
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1-메틸아지리딘의 반전 장벽은 약 80 kJ/mol이다. 25 °C와 −40 °C에서 반전의 반감기를 구하라. 어느 쪽에서 두 반전 이성질체를 구별해 관찰할 수 있을까?
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감광막을 바르기 전에 웨이퍼를 헥사메틸다이실라제인(HMDS, (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃) 증기에 노출한다. 실리콘 산화막 표면의 Si–OH는 물을 잘 붙잡아 감광막이 들뜬다. HMDS의 N–Si가 Si–OH와 반응해 표면을 Si–O–Si(CH₃)₃로 덮으면 물 접촉각이 약 65–80°로 올라가 감광막이 잘 붙는다. 이때 부산물이 암모니아다: 2 Si–OH + HMDS → 2 Si–O–SiMe₃ + NH₃. 프라이밍 장비의 배기가 새거나 웨이퍼에 남은 NH₃는 바로 옆 코터의 화학 증폭형 감광막에 염기 오염원이 된다(7절). 그래서 프라이밍 모듈은 배기를 따로 관리하고, 트랙 안 공기의 암모니아를 ppb 이하로 감시한다. HMDS는 2차 아민의 규소 유사체로, N–H가 약한 산(질소의 비공유쌍이 규소 쪽으로 일부 비편재화)이라는 점도 아민 화학의 변형이다(22장). → ProcessBook · 노광 II: 감광막과 패터닝, LithoBook · 감광막의 화학
염기도와 짝산의 pKa
아민의 염기도는 짝산의 pKa로 비교한다. 이 값을 흔히 pKaH(pKa of the conjugate acid)라 부른다. 아민 B의 짝산 BH⁺가 약한 산일수록(pKaH가 클수록) B는 강한 염기다. 염기 해리 상수 pKb로도 쓸 수 있지만, 25 °C 물에서 \(\mathrm{p}K_\mathrm{b} = 14.00 - \mathrm{p}K_\mathrm{aH}\)이므로 산과 염기를 한 사다리에 올려놓을 수 있는 pKaH가 편하다(2장).
알킬아민(pKaH 10–11). 알킬기는 유발 효과로 질소에 전자를 밀어 주고, 생긴 양전하를 분산시킨다. 그래서 메틸아민(10.6)은 암모니아(9.25)보다 염기성이 크다. 그런데 물에서는 다이메틸아민(10.7)에서 증가가 멈추고 트라이메틸아민(9.8)은 오히려 약하다. 기체 상태에서는 3차 > 2차 > 1차 > NH₃ 순서가 깨끗하게 나온다(양성자 친화도 949 > 930 > 899 > 854 kJ/mol). 물에서 순서가 흐트러지는 원인은 용매화(solvation)다. R₃NH⁺는 N–H가 하나뿐이라 물과 수소 결합 하나로만 안정화되고, RNH₃⁺는 셋으로 안정화된다. 유발 효과와 용매화가 반대로 작용하므로 알킬아민들의 pKaH는 모두 10–11 근처에 모인다.
아릴아민(pKaH 약 4.6). 아닐린의 비공유쌍은 벤젠 고리의 π계와 겹쳐 공명으로 퍼진다. 양성자를 받으면 이 공명 안정화를 잃는다. 그래서 아닐린은 사이클로헥실아민(10.6)보다 염기성이 약 10⁶배 작다. 고리의 치환기가 이 효과를 조절한다. 전자 주개 p-OCH₃는 염기도를 올리고(5.3), 전자 끌개 p-Cl(4.0), p-NO₂(1.0)는 내린다(문헌 대표값). p-나이트로아닐린은 비공유쌍이 나이트로기까지 공명으로 퍼진다.
아마이드(pKaH 약 −0.5). 아마이드의 질소 비공유쌍은 C=O와 공명해 거의 염기성이 없다. 강산에서 양성자는 질소가 아니라 산소에 붙는다. O-양성자화된 구조는 양전하가 공명으로 퍼지기 때문이다. 아마이드 결합(펩타이드 결합)이 평면이고 회전 장벽이 큰 것도 같은 공명 때문이다(18장).
헤테로 고리. 피리딘(pyridine)의 비공유쌍은 고리 평면에 놓인 sp² 오비탈에 있어 방향족 π계와 무관하다. 그래도 s 성질이 커서(33 %) 전자쌍이 핵에 가깝게 묶여 있으므로 pKaH 5.2로 알킬아민보다 훨씬 약하다. 같은 논리로 sp 질소인 나이트릴(아세토나이트릴 pKaH 약 −10)은 거의 염기가 아니다. 피롤(pyrrole)은 정반대다. 질소의 비공유쌍이 방향족 6전자 π계의 일부다(14장). 양성자를 받으면 방향족성이 깨지므로 피롤은 질소에서 거의 양성자화되지 않는다. 강산에서는 탄소(C2)에 양성자가 붙는다(pKaH 약 −3.8). 이미다졸(imidazole)에는 두 종류의 질소가 있다. 피롤형 N–H는 π계에 전자쌍을 내놓고, 피리딘형 N이 양성자를 받는다. 생긴 이미다졸륨은 양전하가 두 질소에 대칭으로 퍼져 안정하다(pKaH 7.0). 그래서 히스티딘의 이미다졸은 생체 pH 근처에서 양성자를 주고받는 효소의 촉매기다. 포화 고리 피페리딘(11.1)은 보통의 2차 알킬아민이다.
염기도 탐색기: 아민을 고르면 pKaH와 이유가 보인다
다음을 염기성이 큰 순서로 늘어놓아라: 아닐린, 피리딘, 아세트아마이드, 사이클로헥실아민, 피롤.
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양성자화 분율, 산·염기 추출, 아미노산
아민이 얼마나 양성자화되어 있는지는 용액의 pH와 pKaH의 차이로 정해진다. 헨더슨–하셀바흐 식을 아민에 쓰면 다음과 같다.
pKaH 10.6인 아민을 pH 7.4 완충 용액에 녹이면 양성자화된 분율은 이고, [RNH₃⁺]/[RNH₂] 비는 이다.
아민 염과 추출. 아민은 염산과 반응해 암모늄 염(ammonium salt)이 된다. 염은 이온성이라 물에 잘 녹고 냄새가 없으며 잘 굳는다. 그래서 약은 흔히 염산염으로 판다(예: 염산 프로카인, 염산 메트포르민). 이 성질 덕분에 산·염기 추출(extraction)으로 아민을 중성 화합물이나 산에서 쉽게 떼어 낼 수 있다. 혼합물을 에터에 녹이고 묽은 HCl로 흔들면, 아민만 염이 되어 물층으로 옮겨 간다. 분리한 물층에 NaOH를 넣으면 아민이 중성으로 돌아와 다시 에터로 추출된다.
- 아닐린(pKaH 4.6)과 나프탈렌(중성)을 에터에 녹여 분액 깔때기에 넣는다.
- 1 M HCl(pH 0)을 넣고 흔든다. pH가 pKaH보다 4.6 낮아 아닐린의 99.997 %가 아닐리늄 염이 되어 물층으로 간다. 나프탈렌은 에터에 남는다.
- 아래 물층을 따로 받는다. 위 에터층을 증발시키면 나프탈렌이 남는다.
- 물층에 NaOH를 넣어 pH를 14로 올리면 아닐리늄이 다시 아닐린이 되어 물에서 기름처럼 분리된다. 새 에터로 추출해 회수한다.
벤조산(pKa 4.2), 페놀(pKa 10.0), 아닐린(pKaH 4.6), 나프탈렌이 섞인 에터 용액이 있다. 1 M NaOH로 먼저 씻으면 무엇이 물층으로 가는가?
추출 분리 게임: 네 성분을 네 플라스크로
아미노산 맛보기. α-아미노산(α-amino acid)은 같은 탄소에 아미노기와 카복실기가 붙은 분자다. 카복실산(pKa 약 2.3)이 암모늄(pKa 약 9.6)보다 훨씬 강한 산이므로, 중성 근처에서 분자 안에서 양성자가 옮겨 간 쌍극성 이온(zwitterion)으로 있다. 그래서 아미노산은 녹는점이 높고(글라이신 233 °C에서 분해) 물에 잘 녹으며 유기 용매에는 안 녹는다. 양전하와 음전하가 같아 알짜 전하가 0인 pH를 등전점(isoelectric point, pI)이라 한다. 곁사슬에 이온화기가 없으면 \(\mathrm{pI} = (\mathrm{p}K_{a1} + \mathrm{p}K_{a2})/2\)다. 생체의 L-아미노산은 글라이신을 빼고 모두 키랄이며 대부분 (S) 배열이다. 아미노산이 아마이드(펩타이드) 결합으로 이어진 것이 단백질이다.
식각이나 이온 주입 뒤 굳은 감광막과 측벽 잔류물을 녹이는 습식 스트리퍼에는 아민이 많이 들어간다. 대표적인 조성은 모노에탄올아민(MEA, H₂NCH₂CH₂OH, pKaH 9.5)과 N-메틸피롤리돈(NMP)이나 DMSO 같은 극성 용매의 혼합이다. 1차 아민은 친핵체로 노볼락·에스터 결합을 공격하고, 염기로 페놀성 OH를 이온화해 고분자를 녹인다. 하이드록실아민(NH₂OH)을 더한 조성은 금속 산화 잔류물까지 걷어 낸다. 구리·알루미늄 배선이 드러난 웨이퍼에서는 아민이 구리 이온과 착물을 만들어 금속을 녹이므로, 부식 방지제(카테콜, 벤조트라이아졸)를 넣고 물 함량과 온도(보통 60–80 °C)를 엄격히 관리한다. CMP 뒤 구리 표면 세정에도 TMAH나 아민·아미노산이 든 알칼리 세정액을 쓴다. pH를 10 이상으로 올려 실리카 입자와 웨이퍼 표면을 둘 다 음전하로 만들어 입자가 밀려나게 한다. → CMPBook · CMP 후 세정, InfraBook · 케미컬과 슬러리 공급
아민의 합성
직접 알킬화와 과알킬화. 암모니아나 아민은 좋은 친핵체라 할로젠화 알킬과 SN2 반응을 한다(6장). 문제는 생성물이다. 생긴 1차 아민은 암모니아보다 친핵성이 오히려 크다(알킬기의 전자 주기). 그래서 남은 할로젠화 알킬을 먼저 차지해 2차, 3차 아민, 마지막에는 4차 암모늄 염까지 섞인 혼합물이 된다. 이것을 과알킬화(overalkylation)라 한다. 1차 아민을 깨끗이 얻으려면 암모니아를 아주 많이 넣거나, 질소가 한 번만 알킬화되도록 설계된 방법을 써야 한다.
과알킬화: 암모니아를 얼마나 넣어야 1차 아민만 얻나
가브리엘 합성. 가브리엘 합성(Gabriel synthesis)은 질소에 보호기 둘을 미리 붙여 알킬화가 한 번만 일어나게 한다. 프탈이미드의 N–H는 두 C=O 사이에 있어 산성이 크다(pKa 8.3). KOH로 만든 프탈이미드 음이온이 1차 할로젠화 알킬과 SN2 반응을 하면 N-알킬프탈이미드가 된다. 이 질소는 비공유쌍이 두 카보닐과 공명해 더는 친핵성이 없으므로 과알킬화가 일어나지 않는다. 마지막으로 하이드라진(N₂H₄)이 두 카보닐을 차례로 공격하면 안정한 프탈하이드라자이드가 떨어지고 1차 아민이 풀려난다(잉–맨스키 방법). 2차·3차 할로젠화물은 SN2가 느려 쓰기 어렵다.
환원성 아미노화. 가장 널리 쓰는 방법은 알데하이드나 케톤을 아민과 함께 환원제로 처리하는 환원성 아미노화(reductive amination)다. 아민이 카보닐에 첨가해 카비놀아민이 되고, 물이 빠져 이민(또는 이미늄 이온)이 된다(17장). 이 C=N을 그 자리에서 하이드라이드가 환원한다. 소듐 사이아노보로하이드라이드 NaBH₃CN이나 소듐 트라이아세톡시보로하이드라이드 NaBH(OAc)₃는 약한 환원제라 pH 5–7에서 케톤은 거의 건드리지 않고 더 친전자적인 이미늄 이온만 환원한다. 암모니아를 쓰면 1차, 1차 아민을 쓰면 2차, 2차 아민을 쓰면 3차 아민이 생긴다. 질소에 붙는 탄소가 카보닐 탄소에서 오므로, 원하는 아민을 C–N 결합에서 자르면 필요한 카보닐 화합물과 아민이 보인다.
아마이드·나이트릴·아자이드·나이트로 화합물의 환원. 질소가 이미 붙은 작용기를 환원해도 아민이 된다. LiAlH₄는 아마이드의 C=O를 CH₂로 바꾼다. 하이드라이드가 카보닐에 첨가한 뒤, 산소가 알루미늄과 함께 떨어져 이미늄 이온이 되고, 두 번째 하이드라이드가 이를 환원한다. 아마이드는 카복실산과 아민에서 쉽게 만들 수 있으므로 ‘아실화 → 환원’은 과알킬화 없이 2차·3차 아민을 만드는 좋은 길이다.
나이트릴 환원은 사슬을 탄소 하나 늘리고(R–X → R–CN → R–CH₂NH₂), 아자이드 이온 N₃⁻는 한 번만 알킬화되므로 과알킬화가 없다(유기 아자이드는 폭발성이 있어 주의). 방향족 아민은 거의 모두 벤젠의 나이트로화(15장) 뒤 나이트로기 환원으로 만든다.
N-벤질-N-메틸에탄아민 PhCH₂N(CH₃)CH₂CH₃를 환원성 아미노화로 만들려 한다. 가능한 카보닐 + 아민 조합을 모두 적어라.
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4차 암모늄 염과 호프만 제거
4차 암모늄 이온 R₄N⁺에는 비공유쌍이 없다. 그래서 염기도 친핵체도 아니고, pH와 상관없이 늘 양이온이다. 4차 암모늄 할로젠화물은 이온 결정이고, 긴 사슬 하나를 가진 것(세틸트라이메틸암모늄 브로마이드 등)은 양이온 계면 활성제·살균제다. 테트라뷰틸암모늄 염처럼 친유성 큰 양이온은 음이온(OH⁻, CN⁻, MnO₄⁻)을 짝으로 끌고 유기층으로 들어가 반응을 돕는 상 이동 촉매(phase-transfer catalyst)로 쓰인다. 4차 암모늄 수산화물 R₄N⁺OH⁻는 NaOH만큼 강한 염기이면서 금속 이온이 없다. 반도체의 TMAH가 바로 이것이다. 생체에서는 콜린(Me₃N⁺CH₂CH₂OH)이 아세틸콜린의 재료다.
호프만 제거. 아민의 NH₂는 매우 나쁜 이탈기다(NH₂⁻의 짝산 NH₃의 pKa 38). 그러나 CH₃I 과량으로 4차 암모늄 이온까지 메틸화하면(완전 메틸화(exhaustive methylation)) 중성 트라이메틸아민(짝산 pKa 9.8)이 떨어져 나갈 수 있다. 아이오딘화물을 산화은(Ag₂O)과 물로 처리해 수산화물로 바꾸고 가열하면 E2 제거가 일어나 알켄이 생긴다. 이것이 호프만 제거(Hofmann elimination)다. 생성물이 자이체프 규칙과 반대로 덜 치환된 알켄(호프만 생성물)이 주가 되는 것이 특징이다.
왜 덜 치환된 알켄일까? 이탈기 −N⁺(CH₃)₃는 크고 이탈 능력이 약하다. 그래서 E2 전이 상태에서 C–N 결합이 아직 덜 끊어진 채 C–H가 먼저 많이 끊어진다. 탄소 음이온 성격이 큰 전이 상태(E1cb 쪽)에서는 알켄의 안정성보다 β-H의 산성도와 접근성이 중요하다. 1차 탄소(CH₃)의 H는 더 산성이고 더 많으며 덜 가려져 있다. 게다가 부피 큰 N⁺(CH₃)₃와 안티 형태로 놓인 내부 CH₂의 H를 떼려면 메틸기와 가우시 충돌이 생긴다(7장). 결과적으로 sec-뷰틸트라이메틸암모늄 수산화물은 뷰트-1-엔 약 95 %를 준다. 같은 탄소 골격의 2-브로모뷰테인을 에톡사이드로 제거하면 뷰트-2-엔이 약 81 %다(교과서 대표값).
트라이메틸(펜탄-2-일)암모늄 수산화물을 가열하면 주생성물은?
호프만 대 자이체프: 어느 β-H를 떼나
N,N-다이메틸사이클로헥실메틸아민 C₆H₁₁CH₂N(CH₃)₂를 (1) CH₃I 과량 (2) Ag₂O, H₂O (3) 가열로 처리했다. 생성물은?
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포지티브형 감광막의 표준 현상액은 테트라메틸암모늄 수산화물(TMAH, (CH₃)₄N⁺OH⁻) 2.38 wt%(0.261 mol/L, 0.26 N) 수용액이다. 1970–80년대에는 NaOH·KOH 현상액을 썼지만, 남은 Na⁺·K⁺가 게이트 산화막 속을 움직여 문턱 전압을 흔들었다. 4차 암모늄 양이온은 탄소·수소·질소뿐이라 이런 금속 오염이 없고, 비공유쌍이 없어 pH가 시간에 따라 크게 변하지 않는다(다만 공기 중 CO₂를 흡수하면 탄산염이 생겨 농도가 떨어지므로 질소 분위기로 공급한다). 0.26 N은 노볼락·폴리하이드록시스타이렌의 페놀(pKa 약 10)을 이온화하기에 충분하면서 노광 안 된 부분은 거의 녹이지 않는 균형점이다. 농도 ±0.01 %의 차이가 현상 속도와 CD를 바꾸므로 공급 장비에서 전도도로 농도를 감시한다. TMAH는 피부로 흡수되면 신경 독성(콜린 수용체 차단)이 있어 고농도 원액 취급 시 각별히 조심한다. → LithoBook · 현상과 레지스트 프로파일, InfraBook · 가스 안전
다이아조늄 염과 샌드마이어 반응
1차 아릴아민을 0–5 °C에서 아질산 소듐(NaNO₂)과 강산으로 처리하면 아렌다이아조늄 염(arenediazonium salt) ArN₂⁺X⁻가 생긴다. 이 반응을 다이아조화(diazotization)라 한다. 산 속에서 아질산 HONO가 양성자화되어 물을 잃으면 강한 친전자체 나이트로소늄 이온(nitrosonium ion, NO⁺)이 된다. 아민의 비공유쌍이 NO⁺를 공격해 N-나이트로소아민이 되고, 양성자 이동과 탈수를 거쳐 N≡N 삼중 결합이 생긴다.
N₂⁺는 최고의 이탈기다. 떨어지면 매우 안정한 N₂ 기체가 되기 때문이다. 알킬다이아조늄 이온은 0 °C에서도 곧바로 N₂를 잃고 탄소 양이온이 되어 알코올·알켄·재배열 생성물의 혼합물을 준다. 아렌다이아조늄 이온은 N≡N이 고리와 공액되어 있고 페닐 양이온이 매우 불안정하므로 차가운 수용액에서 수 시간 버틴다. 그러나 마른 다이아조늄 염은 충격에 폭발할 수 있어 분리하지 않고 바로 다음 반응에 쓴다(사불화붕산염 ArN₂⁺BF₄⁻은 예외적으로 안정하다).
치환 반응. 다이아조늄기는 거의 모든 치환기로 바꿀 수 있다. 방향족 친전자성 치환(15장)으로는 바로 넣을 수 없는 치환기나 위치를 만드는 것이 장점이다. 구리(I) 염을 쓰는 반응을 샌드마이어 반응(Sandmeyer reaction)이라 한다.
| 시약 | 생성물 | 이름·메모 |
|---|---|---|
| CuCl / HCl | Ar–Cl | 샌드마이어 |
| CuBr / HBr | Ar–Br | 샌드마이어 |
| CuCN / KCN | Ar–CN | 샌드마이어. 나이트릴은 가수 분해해 ArCOOH로 |
| KI | Ar–I | 구리 필요 없음(I⁻가 전자를 준다) |
| HBF₄, 가열 | Ar–F | 발츠–쉬만 반응: ArN₂⁺BF₄⁻ 고체를 가열 |
| H₂O, Cu₂O / Cu(NO₃)₂ (또는 가열) | Ar–OH | 페놀 |
| H₃PO₂ | Ar–H | 탈아미노화: 위치를 정한 뒤 NH₂를 지운다 |
| ArOH(NaOH) 또는 ArNR₂ | Ar–N=N–Ar′ | 아조 짝지음: 다이아조늄이 친전자체(N–N 유지) |
샌드마이어 반응은 이온 치환이 아니라 라디칼 반응이다(10장). Cu(I)이 다이아조늄에 전자 하나를 넘겨주면(단일 전자 이동) 아릴다이아젠일 라디칼이 N₂를 잃고 아릴 라디칼이 된다. 아릴 라디칼이 Cu(II)–X에서 X를 떼어 가면서 Cu(I)이 되살아난다.
아조 짝지음. 다이아조늄 이온의 말단 질소는 약한 친전자체라 페놀레이트나 N,N-다이메틸아닐린처럼 전자가 풍부한 고리만 공격한다. 보통 파라 자리에서 친전자성 방향족 치환이 일어나 Ar–N=N–Ar′ 아조 화합물이 된다. 긴 공액계가 가시광을 흡수해(13장) 노랑·주황·빨강 염료가 된다. 메틸 오렌지 같은 pH 지시약도 아조 염료다.
다이아조늄 변환 실험실: 목표 화합물 만들기
벤젠에서 1,3,5-트라이브로모벤젠을 합성하는 경로를 설계하라. Br는 오르토·파라 지향기인데 서로 메타 자리에 셋을 넣어야 한다.
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반도체 공정의 아민: 현상액, AMC, 켄처
반도체 노광 공정의 화학 증폭형 감광막(chemically amplified resist, CAR)은 산 하나가 수백 번 반응을 일으키는 촉매 원리로 감도를 높였다(23장). 빛을 받은 광산 발생제(photoacid generator, PAG)가 강산 H⁺를 만들고, 노광 후 굽기(PEB) 동안 H⁺가 고분자의 tert-뷰톡시카보닐(t-Boc)·아세탈 같은 보호기를 떼어 낸다. 보호기가 떨어진 페놀·카복실산은 TMAH 현상액(pH 13.4)에서 이온화되어 녹는다. 이 화학의 모든 단계가 산·염기 반응이므로, 아민은 이 공정에서 세 얼굴을 가진다. 현상액(4차 암모늄 수산화물), 오염원(공기 중 아민), 그리고 일부러 넣는 첨가제(켄처)다.
공기 중 아민 오염과 T-top. 1990년대 초 KrF(248 nm) CAR를 처음 양산에 쓸 때, 노광과 PEB 사이에 웨이퍼를 몇십 분만 두어도 패턴 윗부분이 녹지 않아 T자 모양 단면(T-top)이 생기는 문제가 나타났다. 원인은 클린룸 공기 속 수–수십 ppb의 염기, 즉 암모니아(HMDS 부산물, 사람, 콘크리트·도료), NMP 분해물, 아민계 스트리퍼 증기였다. 염기 분자가 감광막 표면에 흡착해 확산하면서 표면 근처의 H⁺를 중화한다. 산이 없는 표면층은 PEB에서 보호기가 안 떨어져 현상에서 녹지 않는 껍질로 남는다. 공기 중 분자성 오염(AMC(airborne molecular contamination)) 가운데 염기 계열을 MB(molecular base)라 부른다.
- 노광: 마스크가 열린 곳에서 PAG가 강산 H⁺(빨강)를 만든다. 아직 보호기는 그대로다.
- 노광과 PEB 사이에 기다리는 동안 공기 중 아민(파랑)이 표면에 내려앉아 확산하며 표면 근처 H⁺를 중화한다: R₃N + H⁺ → R₃NH⁺.
- PEB: 산이 남은 아래쪽은 보호기가 떨어지지만, 산을 잃은 표면 10–20 nm는 보호된 채 남는다.
- TMAH 현상: 아래쪽은 녹아 나가고 녹지 않는 표면층이 처마처럼 남는다. 심하면 스페이스가 다리처럼 막힌다(브리징).
- 대책: 탑코트(보호막), 활성탄·산 함침 화학 필터로 트랙 공기의 아민을 ppb 이하로, 노광–PEB 대기 시간 단축, 아민에 덜 민감한 저활성화 에너지 감광막.
공기 중 NH₃ 5, 대기 시간 15, 부착 확률 1이면, 기체 운동론의 충돌 빈도(1 ppb일 때 3.75×10¹⁴ cm⁻² s⁻¹)로 표면에 붙는 아민은 이다. 노광부 맨 위 10 nm에 들어 있는 산(0.05 mol/L)은 3.0×10¹³ cm⁻²이므로 .
T-top 공정 실험실: 단면 프로파일을 지켜라
오늘날 노광 장비와 트랙 내부의 염기성 AMC는 보통 수백 ppt(0.1–1 ppb) 이하로 관리한다. 외기와 클린룸 공기를 장비로 들이는 곳에 화학 필터를 단다. 염기용 필터는 인산·황산 같은 산을 함침한 활성탄이나 강산성 이온 교환 섬유로, 아민을 암모늄 염으로 붙잡는다(R₃N + H⁺ → R₃NH⁺, 바로 이 장의 반응). 산성 AMC(SO₂, HF)용 필터는 알칼리 함침 탄이다. 필터 수명은 하류 농도를 이온 이동도 분광(IMS)이나 임핀저 포집 뒤 이온 크로마토그래피로 재서 판정한다. 웨이퍼를 옮기는 FOUP 안도 질소로 퍼지한다. 아민원은 사람(땀·호흡의 NH₃), 콘크리트 경화제, HMDS 프라이밍, NMP·아민계 스트리퍼, 그리고 TMAH 현상액 자체의 분해물(트라이메틸아민)까지 공정 안에 많다. → InfraBook · 분자 오염과 미니인바이런먼트, InfraBook · 클린룸
켄처: 일부러 넣는 염기. 역설적으로 감광막에는 처음부터 아민을 조금 넣는다. 이것을 켄처(quencher)라 한다. 트라이옥틸아민, 트라이에탄올아민 같은 3차 아민이나 염기성 광분해 켄처(빛을 받으면 염기성을 잃는 술포늄 염)를 PAG의 5–30 mol % 정도 넣는다. 켄처는 세 가지 일을 한다. 첫째, 노광이 약하게 닿은 가장자리의 적은 산을 먼저 중화해 산 분포의 꼬리를 잘라 낸다. 그래서 잠상(latent image)의 경계가 가팔라지고 선 가장자리 거칠기(LER(line edge roughness))가 줄어든다. 둘째, 산이 PEB 동안 비노광부로 확산해 들어가는 것을 막는다. 셋째, 공기 중 아민에 대한 완충 역할로 감광막을 덜 민감하게 만든다. 대가는 감도다. 켄처가 먹는 만큼 산을 더 만들어야 하므로 노광량이 늘어난다. EUV에서는 광자 수가 적어 이 감도–해상도–거칠기의 맞바꿈(RLS 삼각관계)이 가장 큰 숙제다.
TMAH 2.38 wt% 수용액(밀도 1.00 g/mL로 근사)의 몰 농도와 pH를 구하라(이상 용액, 25 °C). TMAH = C₄H₁₃NO.
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NH₃ 1 ppb(25 °C, 1 atm)의 공기에 노출된 표면에 1초에 충돌하는 NH₃ 분자 수를 구하라(\(Z = n\bar v/4\), \(\bar v = \sqrt{8k_\mathrm{B}T/\pi m}\)). 부착 확률이 1×10⁻⁵이면 15분 동안 붙는 분자 수는 cm²당 몇 개인가?
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EUV(13.5 nm, 92 eV) 광자는 KrF(248 nm, 5.0 eV) 광자보다 에너지가 18배 커서 같은 노광량에 광자 수가 18배 적다. 20 mJ/cm²에서 10 nm × 10 nm 면적에 들어오는 광자는 약 1400개, 그중 막에 흡수되는 것은 수백 개, 만들어지는 산은 수십–수백 개다. 켄처도 같은 부피에 수십 개뿐이다. 이 정도로 적으면 산과 켄처의 개수 요동(푸아송 잡음)이 그대로 가장자리 위치의 요동, 즉 LER과 확률적 결함(뚫리지 않은 홀, 이어진 라인)이 된다. 켄처를 늘리면 잠상 대비는 좋아지지만 필요한 노광량이 커진다. 그래서 EUV 감광막은 빛을 받으면 염기성을 잃는 광분해 켄처(PDQ), 금속 산화물 감광막처럼 산 증폭을 쓰지 않는 방식을 함께 연구한다. → LithoBook · EUV 확률론과 High-NA, LithoBook · 감광막의 화학
핵심 정리
- 아민은 질소에 붙은 탄소 수로 1차·2차·3차·4차로 나눈다. 질소는 sp³ 피라미드이고, 반전 장벽이 25–30 kJ/mol로 낮아 질소 입체 중심의 거울상 이성질체는 분리되지 않는다(아지리딘, 4차 암모늄은 예외).
- 염기도는 짝산의 pKa(pKaH)로 비교한다. 알킬아민 10–11, 암모니아 9.25, 이미다졸 7.0, 피리딘 5.2, 아닐린 4.6, 아마이드 약 −0.5, 피롤 약 −3.8. 비공유쌍의 혼성(s 성질), 공명, 방향족성, 유발 효과, 용매화가 순서를 정한다.
- \(f_\text{염기} = 1/(1+10^{\mathrm{p}K_\mathrm{aH}-\mathrm{pH}})\). pH가 pKaH보다 2 낮으면 99 % 암모늄 염이다. 이 차이로 산·염기 추출을 설계한다. 아미노산은 쌍극성 이온이며 pI = (pKa₁ + pKa₂)/2다.
- 직접 알킬화는 과알킬화를 일으킨다. 1차 아민은 가브리엘 합성·아자이드·나이트릴 환원으로, 임의의 아민은 환원성 아미노화(NaBH₃CN)나 아마이드의 LiAlH₄ 환원으로 만든다. 아릴아민은 나이트로기 환원으로 만든다.
- 호프만 제거(CH₃I 과량 → Ag₂O → 가열)는 큰 이탈기 −N⁺(CH₃)₃ 때문에 탄소 음이온 성격이 큰 E2 전이 상태를 거쳐 덜 치환된 알켄을 준다.
- ArNH₂ + NaNO₂/HCl(0–5 °C) → ArN₂⁺. N₂ 이탈을 이용해 Cl·Br·CN(샌드마이어, 라디칼), I, F(쉬만), OH, H(H₃PO₂)로 바꾸고, 전자가 풍부한 고리와 아조 짝지음을 한다.
- 반도체: TMAH 2.38 wt%(0.26 N, pH 13.4)는 금속 이온 없는 4차 암모늄 염기 현상액이다. 공기 중 ppb 아민은 CAR 표면 산을 중화해 T-top을 만들므로 화학 필터·탑코트로 막고, 감광막에는 켄처 아민을 일부러 넣어 산 확산과 LER을 줄인다.
연습문제
짝산 pKa(25 °C 물): 암모늄 9.25, 메틸암모늄 10.6, 트라이메틸암모늄 9.8, 아닐리늄 4.6, 피리디늄 5.2, 이미다졸륨 7.0, 아세트산 4.76. \(\mathrm{p}K_\mathrm{w} = 14.00\), \(R = 8.314\) J/(mol·K), \(k_\mathrm{B} = 1.381\times10^{-23}\) J/K, \(h = 6.626\times10^{-34}\) J·s. 원자량 C 12.011, H 1.008, N 14.007, O 15.999.
다음 중 3차 아민은?
N,N-다이메틸사이클로헥실아민: 질소에 탄소 셋. tert-뷰틸아민은 질소에 탄소 하나뿐인 1차 아민, 다이메틸아민은 2차, 테트라메틸암모늄은 4차 암모늄 이온이다.
메틸아민의 pKb를 구하라.
\(\mathrm{p}K_\mathrm{b} = 14.00 - \mathrm{p}K_\mathrm{aH} = 14.00 - 10.6 = 3.4\).
pH 9.8 완충 용액에 녹인 트라이메틸아민의 몇 %가 양성자화되어 있는가?
pH = pKaH이므로 \([\ce{Me3NH+}] = [\ce{Me3N}]\), 50 %.
피리딘 질소의 비공유 전자쌍이 들어 있는 오비탈의 혼성은?
sp². 고리 평면에 놓여 방향족 π계와 직교한다. 그래서 피리딘은 방향족성을 잃지 않고 양성자를 받는다.
아닐린을 99 % 양성자화하려면 물층의 pH가 얼마 이하여야 하는가?
\(\mathrm{pH} = \mathrm{p}K_\mathrm{aH} - \log 99 = 4.6 - 2.00 = 2.6\).
피리딘 + CH₃COOH ⇌ 피리디늄 + CH₃COO⁻의 평형 상수를 구하라.
\(K = 10^{5.2 - 4.76} = 10^{0.44} = 2.75\). 피리딘은 아세트산과 섞으면 일부만 염이 된다.
다음 중 가장 강한 염기는?
p-메톡시아닐린(pKaH 약 5.3). OCH₃는 공명으로 고리에 전자를 주어 질소의 전자 밀도를 높인다. 아닐린 4.6, p-클로로 4.0, p-나이트로 1.0(문헌 대표값).
글라이신의 pKa₁ = 2.34, pKa₂ = 9.60이다. 등전점은?
\(\mathrm{pI} = (2.34 + 9.60)/2 = 5.97\).
반전 장벽이 30.0 kJ/mol인 3차 아민의 25 °C(298.15 K) 반전 속도 상수를 아이링 식으로 구하라.
\(k_\mathrm{B}T/h = 6.21\times10^{12}\) s⁻¹, \(\Delta G^\ddagger/RT = 30000/2479 = 12.10\), \(k = 6.21\times10^{12}\,e^{-12.10} = 3.45\times10^7\) s⁻¹. 반감기 20 ns로 거울상 이성질체를 분리할 수 없다.
뷰탄-2-아민을 (1) CH₃I 과량 (2) Ag₂O, H₂O (3) 가열로 처리했을 때 주생성물 알켄의 이름은?
호프만 규칙에 따라 덜 치환된 뷰트-1-엔(약 95 %)이다. 부산물은 트라이메틸아민과 물.
p-톨루이딘에서 p-톨루산(4-메틸벤조산)을 만들려 한다. 다이아조화 다음에 쓸 시약과 그 뒤 단계로 옳은 것은?
ArN₂⁺ + CuCN → ArCN(샌드마이어). 나이트릴을 산 가수 분해하면 ArCOOH. H₃PO₂ 뒤 KMnO₄는 톨루엔을 벤조산으로 만들어 메틸이 사라진다.
아닐린(중성형 분배 계수 P = 100.90)이 녹은 에터를 같은 부피의 pH 3.6 완충 용액으로 한 번 씻는다. 아닐린의 몇 %가 에터층에 남는가? (양성자화된 아닐리늄은 모두 물층에 있다고 본다.)
\(f_\text{염기} = 1/(1+10^{4.6-3.6}) = 0.0909\). \(D = 7.94\times0.0909 = 0.722\). 유기층 몫 \(= 0.722/1.722 = 0.419\) → 41.9 %. pH 3.6은 pKaH보다 1만 낮아 추출이 불완전하다. 1 M HCl(pH 0)이면 거의 0 %다.
25.0 wt% TMAH 원액을 초순수로 희석해 2.38 wt% 현상액 10.0 kg을 만들려 한다. 원액이 몇 g 필요한가?
TMAH 질량 보존: \(10000 \times 0.0238 = m \times 0.250\) → \(m = 952\) g. 초순수는 9048 g.
노광 후 10분 대기하는 동안 표면에 붙는 NH₃ 수가 맨 위 10 nm의 산(3.0×10¹³ cm⁻²)과 같아지는 공기 중 NH₃ 농도(ppb)는? 1 ppb일 때 충돌 빈도는 3.75×10¹⁴ cm⁻² s⁻¹, 부착 확률은 1.0×10⁻⁵이다.
\(c = 3.0\times10^{13}/(3.75\times10^{14}\times10^{-5}\times600) = 13.3\) ppb. 1990년대 초 T-top이 보고된 농도 범위와 같다.
벤젠다이아조늄 수용액의 분해 속도 상수가 25 °C에서 4.4×10⁻⁵ s⁻¹, 활성화 에너지가 114 kJ/mol이라 하자. 0 °C에서 반감기는 몇 시간인가?
\(\ln(k_{273}/k_{298}) = -(114000/8.314)(1/273.15 - 1/298.15) = -4.21\). \(k_{273} = 4.4\times10^{-5}\times e^{-4.21} = 6.54\times10^{-7}\) s⁻¹. \(t_{1/2} = 0.693/k = 1.06\times10^6\) s = 294 h(약 12일). 25 °C의 4.4 h보다 67배 길다.
개념 확인 퀴즈
물에서 트라이메틸아민(pKaH 9.8)이 다이메틸아민(10.7)보다 약한 염기인 가장 좋은 설명은?
환원성 아미노화에 NaBH₄ 대신 NaBH₃CN을 쓰는 이유는?
가브리엘 합성에서 과알킬화가 일어나지 않는 이유는?
샌드마이어 반응(ArN₂⁺ + CuBr → ArBr)의 메커니즘으로 옳은 것은?
화학 증폭형 감광막에 켄처를 더 넣을 때 일어나는 일로 옳지 않은 것은?