볼츠만 분포와 분배 함수
5장에서는 고립된 계의 미시 상태를 하나하나 세어 엔트로피와 온도를 얻었다. 하지만 실제로 우리가 다루는 계는 거의 언제나 무언가에 담겨 있다. 챔버 속 SiH₄ 분자 하나는 나머지 기체와, 웨이퍼 속 실리콘 원자 하나는 나머지 결정과, 도펀트 원자의 전자는 격자 진동과 에너지를 주고받는다. 이렇게 거대한 주위와 맞닿은 작은 계가 에너지 \(E\)인 상태에 있을 확률은 놀랍도록 단순한 인자 \(e^{-E/kT}\)로 정해진다. 이 인자 하나를 모두 더한 분배 함수 \(Z\)에서 평균 에너지, 열용량, 자유 에너지, 엔트로피, 압력이 모두 나온다. 이 장은 그 계산을 2준위 계, 진동자, 회전자, 상자 속 기체 분자에 차례로 적용해 기체의 열용량과 표준 엔트로피, 적외선 스펙트럼, 결정 속 공공 농도, 그리고 "온도를 50 °C 올리면 반응이 왜 수십 배 빨라지는가"까지 설명한다. 아래 칸 240개는 에너지 덩어리를 무작위로 주고받는 진동자들이다. 아무 규칙도 정하지 않았는데 덩어리 수의 분포가 곧 지수 함수로 가라앉는다.
- 작은 계와 열저장체를 합친 고립계의 겹침수에서 볼츠만 인자 \(e^{-E/kT}\)를 유도하고, 상태의 확률과 에너지 준위의 확률(겹침 \(g\))을 구분한다.
- 분배 함수 \(Z\)에서 \(U = -\partial\ln Z/\partial\beta\), \(C_V = k\beta^2\langle(\Delta E)^2\rangle\), \(F = -kT\ln Z\), \(S = k(\ln Z + \beta U)\)를 얻고, 임의의 준위 구조에 적용한다.
- 2준위 계(쇼트키 이상), 양자 조화 진동자, 강체 회전자의 분배 함수와 열용량을 계산하고, 회전 준위 점유가 최대가 되는 \(J_\mathrm{max}\)를 구한다.
- 등분배 정리를 볼츠만 분포에서 유도하고, 준위 간격이 \(kT\)보다 클 때 자유도가 얼어붙어 H₂·N₂·CO₂의 열용량이 고전값에서 벗어나는 까닭을 설명한다.
- 병진 분배 함수 \(Z_1 = V/\lambda^3\)과 열적 드브로이 파장에서 이상 기체 법칙과 사쿠르–테트로드 식을 유도하고, 아르곤의 표준 엔트로피 154.85 J/(mol·K)를 계산으로 재현한다.
- 회전–진동 스펙트럼의 P·R 가지 세기로 기체 온도를 읽고, 공공 농도 \(n/N = e^{-E_v/kT}\)와 활성화 장벽을 넘는 비율 \(e^{-E_a/kT}\)로 열처리·가속 시험의 온도 민감도를 계산한다.
열저장체와 볼츠만 인자
5장의 출발점은 고립된 계에서는 허용된 모든 미시 상태가 똑같이 그럴듯하다는 기본 가정이었다. 이번에는 관심 있는 작은 계(분자 하나, 원자 하나, 스핀 하나)가 훨씬 큰 계와 에너지를 주고받으며 같은 온도 \(T\)에 머무는 경우를 보자. 큰 쪽은 에너지를 조금 내주거나 받아도 온도가 사실상 변하지 않을 만큼 커야 한다. 이런 큰 계를 열저장체(heat reservoir)라 하고, 열저장체와 맞닿아 온도가 정해진 계의 미시 상태들의 모임을 정준 앙상블(canonical ensemble)이라 한다(5장의 고립계는 미시 정준 앙상블).
계가 특정한 미시 상태 \(s\)(에너지 \(E(s)\))에 있을 때 전체가 가질 수 있는 미시 상태 수는 열저장체의 겹침수 \(\Omega_R(U_0 - E(s))\)뿐이다. 전체에서는 모든 미시 상태가 똑같이 그럴듯하므로, 두 상태 \(s_1\), \(s_2\)의 확률 비는
열저장체는 크므로 \(E\ll U_0\)이고, \(S_R\)을 테일러 전개해 첫 항만 남길 수 있다. 5장에서 정의한 온도 \(1/T = \partial S/\partial U\)가 바로 그 기울기다. 아래 그림을 단계별로 넘겨 보자.
- 계가 상태 \(s\)에 있을 확률은 열저장체의 겹침수 \(\Omega_R(U_0-E)\)에 비례한다.
- 열저장체가 크면 \(S_R(U_R)\) 곡선을 \(U_0\)에서의 접선으로 바꿔도 된다. 그 기울기가 \(1/T\)다.
- 두 상태의 확률 비는 에너지 차를 \(kT\)로 나눈 지수 \(e^{-(E_2-E_1)/kT}\)가 된다.
- 정규화 상수가 분배 함수 \(Z\)다. 열저장체에 대한 정보는 온도 \(T\) 하나만 남는다.
온도 \(T\)인 열저장체와 열평형에 있는 계가 미시 상태 \(s\)에 있을 확률은
이 식에는 세 가지가 담겨 있다. 첫째, 낮은 에너지 상태일수록 그럴듯하다. 계 혼자서는 어느 상태도 선호하지 않지만, 에너지를 가져가면 열저장체의 미시 상태 수가 줄기 때문이다. 둘째, 에너지의 절대값은 의미가 없다. 모든 \(E\)에 같은 상수를 더하면 분자와 \(Z\)에 같은 인자가 곱해져 상쇄된다. 셋째, 온도의 역할은 에너지의 눈금 \(kT\)를 정하는 것이다. 300 K에서 \(kT = 25.85\) meV(몰당 \(RT = 2.49\) kJ/mol)이므로, 이보다 훨씬 높은 상태는 거의 비어 있다.
정말 열저장체만 크면 지수 분포가 나오는지, 5장의 아인슈타인 고체로 확인해 보자. 진동자 하나(계)가 진동자 \(N_R\)개짜리 고체(열저장체)와 에너지 덩어리 \(\varepsilon\)을 무작위로 주고받는다. 계가 덩어리 \(n\)개를 가질 확률은 정확히 \(P(n)\propto\Omega_R(N_R, q-n)\)이고, 열저장체가 크면 이것이 \(e^{-n\varepsilon/kT}\)에 다가가야 한다.
진동자 하나가 큰 아인슈타인 고체와 덩어리를 주고받는다. 열저장체는 진동자 하나당 평균 2개의 덩어리를 갖고 있다. 이 진동자가 가장 자주 갖는 덩어리 수는?
진동자 하나 + 열저장체: 지수 분포가 생기는 곳
열저장체가 진동자 두세 개뿐이면 분포가 지수 함수에서 벗어난다. 계가 덩어리를 많이 가져가면 열저장체의 에너지가 눈에 띄게 줄어 온도가 내려가고, 2차 항 \(-\tfrac12 E^2\,\partial(1/T)/\partial U\)를 무시할 수 없기 때문이다. 기체 분자 하나와 나머지 \(10^{20}\)개, 웨이퍼 속 원자 하나와 나머지 \(10^{22}\)개라면 이 걱정은 전혀 없다.
바닥 상태보다 \(\Delta E\) = 50 높은 상태가 1겹으로 있다. 온도 300에서 \(kT\) = 이고, 두 준위의 점유 비 \(N_1/N_0 = g\,e^{-\Delta E/kT}\) = , 들뜬 준위에 있는 비율은 다.
어떤 원자의 바닥 준위(\(g_0 = 1\)) 위 0.100 eV에 3겹 겹친 들뜬 준위(\(g_1 = 3\))가 있고, 그 위의 준위는 아주 높아 무시한다. (a) 300 K와 (b) 1000 K에서 점유 비 \(N_1/N_0\)과 들뜬 준위에 있는 원자의 비율을 구하라.
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"높은 에너지일수록 덜 그럴듯하다"는 미시 상태 하나에 대한 말이다. 같은 에너지를 갖는 상태가 많으면(\(g\)가 크면) 그 에너지 준위는 더 자주 나올 수 있다. 회전 준위(4절)와 기체 분자의 속력(8장)에서는 \(g\)가 에너지와 함께 커지므로, 확률이 최대가 되는 에너지가 0이 아니다.
분배 함수에서 열역학량 얻기
볼츠만 분포의 정규화 상수 \(Z\)는 단순한 상수가 아니다. 바닥 상태 에너지를 0으로 두면 \(Z\)는 1(바닥 상태)에 들뜬 상태들의 볼츠만 인자를 더한 값이므로, 그 온도에서 계가 실제로 드나드는 상태의 개수를 어림한다. \(kT\)가 준위 간격보다 훨씬 작으면 \(Z\approx1\), 훨씬 크면 \(Z\)가 커진다. 그래서 \(Z\)를 분배 함수(partition function)라 부른다(독일어 Zustandssumme, "상태의 합").
평균 에너지와 열용량
\(Z\)를 \(\beta = 1/kT\)의 함수로 보고 미분하면 평균 에너지가 바로 나온다.
자유 에너지와 엔트로피
확률이 서로 다른 상태들에 퍼져 있는 계의 엔트로피는 깁스 공식 \(S = -k\sum_s P_s\ln P_s\)로 쓴다(모든 상태의 확률이 \(1/\Omega\)로 같으면 5장의 \(k\ln\Omega\)가 된다). 볼츠만 분포에 이를 적용하면 \(\ln P_s = -\beta E_s - \ln Z\)이므로 \(S = k\beta U + k\ln Z\)이다. 이를 정리하면 헬름홀츠 자유 에너지(4장)가 \(Z\)의 로그 하나로 표현된다.
아래 실험대에서 준위를 직접 끌어 올리고 내리며 이 관계들을 확인해 보자. 바닥 준위는 0에 고정하고, 위 준위들을 손잡이로 옮긴다. 오른쪽 그래프는 온도에 따른 \(U\)와 \(C_V\)이고, 세로 점선이 지금 온도다.
준위 두 개(0, 30 meV)인 계의 열용량 \(C_V(T)\)에는 봉우리가 하나 있다. 위 준위를 60 meV로 두 배 올리면 봉우리는?
에너지 준위를 끌어 보는 분배 함수 실험대
간격 \(\hbar\omega\) = 20인 조화 진동자가 300에 있다(바닥 에너지 \(\tfrac12\hbar\omega\) 제외). \(x = \hbar\omega/kT\) = , \(Z = 1/(1-e^{-x})\) = , 평균 양자수 \(\langle n\rangle = 1/(e^{x}-1)\) = , \(F = -kT\ln Z\) = , \(S/k\) = , \(C_V/k\) = .
겹침 없는 세 준위 0, \(\varepsilon\), \(2\varepsilon\)(\(\varepsilon = 10.0\) meV)으로 된 계가 \(kT = \varepsilon\)인 온도(약 116 K)에 있다. 각 준위의 점유 확률, \(U\), \(F\), \(S\), \(C_V\)를 \(\varepsilon\)과 \(k\) 단위로 구하라.
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계가 서로 상호 작용하지 않는 구별 가능한 입자 \(N\)개(결정 속 자리에 고정된 원자·스핀)로 되어 있으면, 전체 상태는 각 입자의 상태를 고른 조합이고 에너지는 더해지므로 \(Z_N = Z_1^N\), \(\ln Z_N = N\ln Z_1\)이다. 기체처럼 입자를 구별할 수 없으면 \(N!\)로 나눠야 한다(5절).
2준위 계와 양자 조화 진동자
2준위 계와 쇼트키 이상
가장 단순한 계는 간격 \(\Delta\)인 두 준위다. 자기장 속 스핀 \(\tfrac12\), 결정장으로 갈라진 불순물 이온의 준위, 비정질 고체의 두 우물 터널 상태가 모두 이 모형이다. \(x = \Delta/kT\)로 쓰면
에너지를 더 받아들일 곳이 없으니, 열용량은 \(kT\sim\Delta\) 근처에서만 크고 양쪽에서 사라진다. 결정의 저온 열용량에서 격자 진동의 \(T^3\) 곡선 위에 이런 혹이 솟아오르면 쇼트키 이상(Schottky anomaly)이라 부르고, 혹의 온도에서 준위 간격을, 높이에서 그런 준위를 가진 원자의 수를 읽는다.
2준위 계(간격 10 meV)를 아주 높은 온도(10⁴ K)로 올리면 위 준위의 점유 확률은?
2준위 계의 점유와 쇼트키 봉우리
양자 조화 진동자
분자 진동과 결정 격자 진동(포논)은 조화 진동자로 근사한다. 양자역학(현대물리학 조화 진동자)에서 준위는 \(E_n = (n+\tfrac12)\hbar\omega\), 겹침 없음이다. 진동 특성 온도 \(\theta_\mathrm{vib} = \hbar\omega/k\)를 쓰면 \(x = \theta_\mathrm{vib}/T\)이고, 등비급수 한 번으로
상자성 불순물이 든 결정의 저온 열용량에서 격자 기여를 빼니 4.84 K에 봉우리가 있었다. 불순물 이온을 겹침 없는 2준위 계로 보고 (a) 준위 간격 \(\Delta\)(meV)를 구하라. (b) 불순물이 1 mol 있다면 봉우리에서의 열용량은?
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실리콘 속 인(P) 도너의 전자는 전도띠 아래 약 45 meV의 얕은 준위에 묶여 있다. 실온의 \(kT = 25.9\) meV는 이 결합 에너지와 비슷해서, 볼츠만 인자 \(e^{-45/25.9}\approx0.18\)에 전도띠의 엄청난 상태 수가 곱해져 도너는 거의 다 이온화된다. 77 K에서는 \(e^{-45/6.6}\approx10^{-3}\)으로 떨어져 일부 전자가 도너에 다시 붙는다(동결 영역). 정확한 계산에는 도너 준위의 겹침수(\(g = 2\))와 페르미 준위가 들어가며 7장의 페르미–디랙 분포가 필요하지만, 온도에 따른 이온화의 지수적 변화는 이 절의 2준위 모형 그대로다. → DeviceBook · 캐리어 통계(도너와 억셉터, 동결·외인성·진성 영역)
강체 회전자와 에너지 등분배
회전 준위와 회전 분배 함수
이원자 분자를 길이가 고정된 아령으로 보면, 양자역학의 각운동량 고유값에서 회전 에너지는 \(E_J = J(J+1)\hbar^2/2I\)(\(J = 0, 1, 2,\dots\)), 겹침은 \(g_J = 2J+1\)이다(\(I = \mu r_e^2\)는 관성 모멘트). 이 모형을 강체 회전자(rigid rotor)라 하고, \(\hbar^2/2I = k\theta_\mathrm{rot}\)으로 회전 온도(rotational temperature) \(\theta_\mathrm{rot}\)를 정의한다. H₂는 85.3 K, HCl 15.0 K, N₂ 2.88 K, I₂ 0.054 K로, 수소를 빼면 상온보다 훨씬 낮다.
준위 \(J\)의 점유는 \(P_J = (2J+1)e^{-J(J+1)\theta_\mathrm{rot}/T}/Z_\mathrm{rot}\)이다. \(J\)에 대해 미분해 0으로 놓으면 가장 많이 채워진 준위가
회전 준위 점유: 겹침수 × 볼츠만 인자
회전 온도 \(\theta_\mathrm{rot}\) = 15인 이핵 분자가 300에 있으면 \(Z_\mathrm{rot}\approx T/\theta + \tfrac13\) = , 가장 많이 채워진 준위는 \(J_\mathrm{max}\) = , 그 준위의 회전 에너지는 \(kT\)의 배다.
등분배 정리
고온에서 회전자의 \(U_\mathrm{rot}\)는 \(kT\), 진동자는 \(kT\), 병진 운동은 \(\tfrac32kT\)였다. 이 값들은 우연이 아니다. 고전 역학에서 에너지가 어떤 좌표나 운동량 \(q\)의 제곱 \(E = aq^2\)으로 들어가면, 볼츠만 분포로 평균을 내어
고전 통계(준위 간격 \(\ll kT\))에서 에너지에 제곱으로 들어가는 자유도 하나마다 평균 에너지 \(\tfrac12kT\), 열용량 \(\tfrac12k\)가 할당된다. 이를 등분배 정리(equipartition theorem)라 한다. 자유도 \(f\)개인 분자의 기체는 \(U = \tfrac f2NkT\), \(C_{V,\mathrm{m}} = \tfrac f2R\)이다.
질량이 \(a\)에 들어 있지만 평균 에너지에는 질량이 없다는 것이 핵심이다. 무거운 분자와 가벼운 분자를 섞어 두면, 충돌을 거듭한 끝에 평균 운동 에너지가 같아진다(무거운 분자는 느리게 움직인다). 2차원 원판 기체로 직접 보자.
등분배의 붕괴: 얼어붙는 자유도
19세기 물리학자들을 괴롭힌 문제는 이원자 기체였다. 자유도를 세면 병진 3 + 회전 2 + 진동 2 = 7이니 \(C_{V,\mathrm{m}} = \tfrac72R\)이어야 하는데, 상온의 N₂·O₂는 \(\tfrac52R\)이고, 수소는 저온에서 \(\tfrac32R\)까지 내려간다. 답은 양자역학에 있다. 등분배는 준위 간격이 \(kT\)보다 훨씬 작을 때만 성립하고, 간격이 \(kT\)보다 크면 그 자유도는 바닥 상태에 머물러 에너지를 받아들이지 않는다. 이를 자유도의 동결(freezing out)이라 한다. 자유도마다 "켜지는" 온도가 특성 온도 \(\theta\)다.
- 가장 낮은 온도: 회전 준위 간격(\(2k\theta_\mathrm{rot}\))이 \(kT\)보다 크면 분자는 \(J = 0\)에 머물고, 병진 3자유도만 \(\tfrac32R\)를 낸다.
- \(T\)가 \(\theta_\mathrm{rot}\)를 넘으면 회전 2자유도가 깨어나 \(\tfrac52R\). H₂는 수십–수백 K에서 깨어나고, 다른 분자는 거의 늘 깨어 있다.
- \(T\)가 \(\theta_\mathrm{vib}\)의 수십 % 이상이 되면 진동(운동 + 퍼텐셜 2자유도)이 깨어나 \(\tfrac72R\)로 다가간다. 분자는 그 전에 해리되기도 한다.
- 상온의 N₂는 회전은 완전히 깨어 있고 진동은 완전히 얼어 있는, 깔끔한 \(\tfrac52R\) 구간에 있다.
이원자 기체의 CV(T): 깨어나는 회전과 진동
300 K의 N₂(\(\theta_\mathrm{rot}\) = 2.88 K, \(\sigma = 2\))와 HCl(\(\theta_\mathrm{rot}\) = 15.02 K, \(\sigma = 1\))에 대해 (a) 고온 근사의 \(Z_\mathrm{rot}\), (b) 가장 많이 채워진 회전 준위를 구하라.
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병진 분배 함수와 사쿠르–테트로드 식
이제 기체 분자의 무게 중심 운동이다. 한 변 \(L\)인 상자 속 입자의 준위는 \(E = \frac{h^2}{8mL^2}(n_x^2+n_y^2+n_z^2)\)(\(n_i = 1,2,\dots\))이고, 세 방향이 독립이므로 \(Z_1 = Z_x Z_y Z_z\)다. 한 방향의 합은 간격이 \(kT\)보다 아주 작아 적분으로 바꿀 수 있다.
구별할 수 없는 입자와 N!
기체 분자 \(N\)개는 서로 구별할 수 없다. 분자 A가 상태 1, B가 상태 2인 배치와 그 반대는 같은 미시 상태다. \(n\ll n_Q\)이면 두 분자가 같은 상태에 있을 일이 거의 없으므로, \(Z_1^N\)이 같은 배치를 \(N!\)번 센 것을 나누면 된다.
이 \(F\) 하나에서 이상 기체의 모든 것이 나온다. \(P = -\partial F/\partial V = NkT/V\) — 이상 기체 법칙이 통계역학에서 유도된다. \(U = -\partial\ln Z/\partial\beta = \tfrac32NkT\)(\(\lambda^3\propto\beta^{3/2}\)), 그리고 엔트로피는
몰질량 40인 기체가 300, 1.000에 있다. 열적 파장 \(\lambda\) = , 분자 사이 평균 거리 \((kT/P)^{1/3}\) = , \(n/n_Q = n\lambda^3\) = , 사쿠르–테트로드 몰 엔트로피 = .
같은 298 K, 1 bar에서 헬륨(4 g/mol)과 제논(131 g/mol) 중 표준 몰 엔트로피가 큰 것은?
사쿠르–테트로드 식으로 298.15 K, 1 bar에서 Ar(39.948 g/mol)의 몰 엔트로피를 계산하고 표준 엔트로피 표값 154.85 J/(mol·K)와 비교하라.
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분자 전체의 분배 함수
분자의 에너지가 병진 + 회전 + 진동 + 전자로 나뉘고 서로 독립이면 \(Z_1 = Z_\mathrm{tr}Z_\mathrm{rot}Z_\mathrm{vib}Z_\mathrm{el}\)이므로 \(\ln Z\)와 \(U\), \(C_V\), \(S\)가 모두 항별로 더해진다. 엔트로피의 회전 부분은 고온 근사에서 \(S_\mathrm{rot,m} = R[\ln(T/\sigma\theta_\mathrm{rot})+1]\), 진동 부분은 \(S_\mathrm{vib,m} = R[x/(e^x-1)-\ln(1-e^{-x})]\)이다. 바닥 전자 상태가 겹쳐 있으면(O₂의 삼중항 \(g_\mathrm{el} = 3\)) \(R\ln g_\mathrm{el}\)이 더해진다.
N₂(28.014 g/mol, \(\theta_\mathrm{rot}\) = 2.88 K, \(\theta_\mathrm{vib}\) = 3374 K, \(\sigma = 2\), \(g_\mathrm{el} = 1\))의 298.15 K, 1 bar 몰 엔트로피를 병진·회전·진동으로 나눠 구하고 표값 191.61 J/(mol·K)와 비교하라.
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기체 분자의 열용량과 분자 분광
열용량: 모형과 실측
지금까지의 조각을 모으면 기체의 정압 몰 열용량 \(C_{P,\mathrm{m}} = C_{V,\mathrm{m}} + R\)을 계산할 수 있다. 선형 분자는 진동 모드가 \(3n-5\)개, 비선형 분자는 \(3n-6\)개이고(원자 \(n\)개), 모드마다 조화 진동자 열용량을 더한다. 회전은 선형 분자 \(R\), 비선형 분자 \(\tfrac32R\)이다.
| 기체 | 모형 구성 | 모형 CP,m | 실측 CP,m (298 K) |
|---|---|---|---|
| Ar, He | 병진 3/2 R | 20.79 | 20.79 |
| N₂ | 3/2 + 1 + 진동(3374 K) | 29.11 | 29.12 |
| H₂ | 3/2 + 1 + 진동(6332 K) | 29.12 | 28.84 |
| Cl₂ | 3/2 + 1 + 진동(805 K) | 33.78 | 33.95 |
| CO₂ | 3/2 + 1 + 진동 4개(960×2, 1997, 3380 K) | 37.05 | 37.12 |
| H₂O | 3/2 + 3/2 + 진동 3개 | 33.48 | 33.58 |
| CH₄ | 3/2 + 3/2 + 진동 9개 | 35.64 | 35.69 |
단위는 J/(mol·K), 실측은 Thermo.species(부록 A). 모형이 대부분 0.3 % 안에서 맞는다. H₂만 1 % 어긋나는 것은 오르토·파라 핵스핀 효과로 회전 기여가 \(R\)에 조금 못 미치기 때문이다. 다원자 분자에서는 낮은 진동수의 굽힘 모드(CO₂의 667 cm⁻¹)가 상온에서 이미 반쯤 깨어 있어 열용량이 등분배의 "강체" 값보다 크다.
CO₂는 선형 분자이고 진동 모드는 굽힘 2개(\(\theta\) = 960 K), 대칭 늘임 1개(1997 K), 비대칭 늘임 1개(3380 K)다. 298.15 K의 \(C_{P,\mathrm{m}}\)을 계산하라. 고전 등분배라면 얼마일까?
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회전–진동 스펙트럼
볼츠만 분포를 눈으로 보는 가장 직접적인 방법은 적외선 흡수 스펙트럼이다. HCl 같은 이핵 분자가 적외선 광자를 흡수하면 진동 양자수가 \(v = 0\to1\)로 오르고, 동시에 회전 양자수가 \(\Delta J = \pm1\)만큼 바뀐다(선택 규칙). 그래서 기본 진동수 \(\tilde\nu_0\) 하나 대신 선이 양쪽으로 갈라진 회전–진동 스펙트럼(rovibrational spectrum)이 나온다.
선의 세기가 아래 준위의 점유를 따르므로, 스펙트럼은 회전 준위의 볼츠만 분포를 그대로 찍은 사진이다. 각 가지의 가장 센 선은 \(J_\mathrm{max}\)에서 나오고, 두 가지의 최대 선 사이 간격은
HCl 가스를 300 K에서 900 K로 가열하면 흡수 스펙트럼의 P·R 두 봉우리 사이 간격은?
HCl 적외선 스펙트럼으로 기체 온도 맞히기
푸리에 변환 적외선 분광기(FTIR)는 CF₄, C₂F₆, NF₃, SF₆, SiF₄, HF, CO 같은 가스의 회전–진동 띠를 동시에 측정해 농도를 구한다. 식각·CVD 챔버 배기에서 PFC가 스크러버에서 얼마나 분해되었는지(DRE)를 평가할 때, 가스 누출 감시에서 특정 분자를 가려낼 때 쓴다. 띠의 세기는 아래 준위의 볼츠만 점유에 비례하므로, 같은 농도라도 가스 셀 온도가 바뀌면 띠 모양과 세기가 달라진다 — FTIR 분석기가 셀 온도를 일정하게 가열·제어하는 이유다. PFC가 적외선을 강하게 흡수한다는 바로 그 성질이 온실 효과(높은 GWP)의 원인이기도 하다. → InfraBook · 배기와 스크러버(PFC와 지구온난화지수, 열분해 효율)
점결함 농도와 활성화 장벽
열평형 공공 농도
완벽한 결정은 0 K에서만 평형이다. 원자 하나를 제자리에서 빼내 표면으로 옮기면 결합을 끊는 에너지 \(E_v\)가 들지만, 빈자리(공공(vacancy))를 \(N\)개 자리 중 어디에 둘지 고르는 경우의 수만큼 엔트로피를 얻는다. 공공 \(n\)개의 자유 에너지를 최소화하자(고체물리 결정 결함에서 본 계산을 정준 앙상블로 다시 본다).
공공의 열평형: 격자와 아레니우스 그림
실리콘의 공공 형성 에너지를 대표값 3.6 eV로 두고 형성 엔트로피를 무시한다. (a) 1000 °C와 (b) 1100 °C에서 \(n/N\)과 공공 농도(Si 원자 밀도 \(5.00\times10^{22}\) cm⁻³)를 구하라. (c) 100 °C 차이로 몇 배가 되는가?
풀이 보기
실리콘 속 비소·안티몬은 주로 공공을 타고, 붕소·인은 주로 자기 격자간 원자를 타고 움직인다. 도펀트의 확산 계수가 \(D = D_0e^{-E_a/kT}\)(활성화 에너지 3–4 eV)인 것은 이동에 필요한 점결함의 평형 농도(\(e^{-E_f/kT}\))와 원자가 한 칸 뛰는 장벽(\(e^{-E_m/kT}\))이 곱해져 \(E_a = E_f + E_m\)이 되기 때문이다. 이온 주입 손상이 만든 과잉 격자간 원자는 평형 농도보다 훨씬 많아 어닐 초기에 붕소 확산을 크게 키운다(과도 증속 확산). 스파이크·레이저 어닐이 고온을 아주 짧게만 쓰는 이유가 이 지수적 온도 의존성이다. → ProcessBook · 확산과 열처리(원자는 어떻게 움직이나, 확산 계수와 열 예산)
활성화 장벽을 넘는 비율
화학 반응, 확산, 탈착, 결함의 이동처럼 장벽을 넘어야 일어나는 과정의 빠르기는 대개 장벽 높이 \(E_a\)(활성화 에너지(activation energy)) 이상의 에너지를 가진 입자의 비율에 비례한다. 반응 좌표 방향의 에너지가 볼츠만 분포 \(P(E)\propto e^{-E/kT}\)를 따르면 그 비율은
활성화 에너지 0.70 eV인 반응(또는 고장 메커니즘)의 온도를 25 °C에서 75 °C로 50 °C만 올리면 속도는 약 몇 배가 될까?
활성화 에너지 0.70(몰당 )인 과정을 25에서 75로 바꾸면, 장벽을 넘는 비율은 → , 속도 비(가속 계수)는 다. 이 근처에서 속도가 두 배가 되는 온도 상승은 약 이다.
전자 이동(EM), 게이트 절연막 파괴(TDDB), BTI 같은 고장 메커니즘은 열활성 과정이라 수명이 \(t\propto e^{E_a/kT}\)로 온도에 민감하다. 신뢰성 시험은 125–150 °C처럼 높은 온도에서 짧게 고장을 일으키고, 가속 계수 \(AF = \exp[(E_a/k)(1/T_\text{사용}-1/T_\text{시험})]\)로 사용 온도의 수명을 추정한다. \(E_a\)를 0.1 eV만 잘못 잡아도 가속 계수가 몇 배 달라지므로, \(E_a\)는 여러 온도의 시험 결과를 아레니우스 그림에 놓고 기울기로 정한다. → FailureBook · 불량 메커니즘(수명의 통계: 와이블, 가속 계수, FIT)
핵심 정리
- 볼츠만 분포: 온도 \(T\)인 열저장체와 맞닿은 계가 미시 상태 \(s\)에 있을 확률 \(P(s) = e^{-E(s)/kT}/Z\). 열저장체 겹침수 \(\Omega_R(U_0-E)\)를 \(S_R\)의 1차 전개로 줄인 결과이고, 준위의 확률은 겹침수를 곱한 \(g_ie^{-E_i/kT}/Z\)다. 300 K의 \(kT = 25.85\) meV.
- 분배 함수 \(Z = \sum_i g_ie^{-\beta E_i}\)에서 \(U = -\partial\ln Z/\partial\beta\), \(C_V = k\beta^2\langle(\Delta E)^2\rangle\), \(F = -kT\ln Z\), \(S = k(\ln Z + \beta U)\), \(P = -\partial F/\partial V\). 독립인 부분은 \(Z\)가 곱해지고 \(\ln Z\)가 더해진다. 구별 가능한 \(N\)개는 \(Z_1^N\), 기체는 \(Z_1^N/N!\).
- 2준위 계: \(P_1 = 1/(e^{\Delta/kT}+1)\le\tfrac12\), 쇼트키 열용량은 \(\Delta/kT = 2.40\)에서 최대 \(0.439k\). 조화 진동자: \(Z = e^{-x/2}/(1-e^{-x})\), \(\langle n\rangle = 1/(e^x-1)\), \(C_V/k = x^2e^x/(e^x-1)^2\to1\)(고온), \(x = \theta_\mathrm{vib}/T\).
- 강체 회전자: \(E_J = J(J+1)k\theta_\mathrm{rot}\), \(g_J = 2J+1\), \(Z_\mathrm{rot}\approx T/\sigma\theta_\mathrm{rot}\), \(J_\mathrm{max} = \sqrt{T/2\theta_\mathrm{rot}}-\tfrac12\). 대칭수 \(\sigma\)는 동핵 2, 이핵 1.
- 등분배 정리: 제곱 자유도 하나에 \(\tfrac12kT\) — 단, 준위 간격 \(\ll kT\)일 때만. \(T\ll\theta\)인 자유도는 얼어붙는다. 이원자 기체 \(C_{V,\mathrm{m}}\)은 \(\tfrac32R\to\tfrac52R\to\tfrac72R\)의 계단, 상온 N₂·O₂는 \(\tfrac52R\).
- 병진: \(Z_\mathrm{tr} = V/\lambda^3\), \(\lambda = h/\sqrt{2\pi mkT}\). \(F = -NkT[\ln(V/N\lambda^3)+1]\)에서 \(PV = NkT\)와 사쿠르–테트로드 식 \(S_\mathrm{m} = R[\ln(kT/P\lambda^3)+\tfrac52]\)(Ar 154.85 J/(mol·K))이 나온다. 회전–진동 스펙트럼의 P·R 가지 세기는 회전 준위 점유를 그대로 보여 주고 \(\Delta\tilde\nu_{PR} = \sqrt{8BkT/hc}\)로 온도를 준다.
- 열활성 과정: 공공 농도 \(n/N = e^{S_v/k}e^{-E_v/kT}\)(Si \(E_v\approx3.6\) eV → 1000 °C에서 \(\sim10^{-14}\)), 장벽을 넘는 비율 \(e^{-E_a/kT}\), 속도 비 \(\exp[(E_a/k)(1/T_1-1/T_2)]\). \(E_a = 0.7\) eV면 25 → 75 °C에서 약 50배.
연습문제
\(k = 8.617\times10^{-5}\) eV/K \(= 1.380649\times10^{-23}\) J/K, \(R = 8.314\) J/(mol·K), \(h = 6.62607\times10^{-34}\) J·s, \(hc/k = 1.4388\) cm·K. 분자 자료는 본문(부록 A)을 쓴다. 따로 말이 없으면 답이 ±1 % 이내면 정답이다.
두 상태(겹침 없음)의 에너지 차가 0.050 eV다. 300 K에서 위 상태와 아래 상태의 점유 비 \(N_1/N_0\)는?
\(kT = 0.025852\) eV, \(\Delta E/kT = 1.934\), \(N_1/N_0 = e^{-1.934} = 0.145\).
분배 함수 \(Z\)에 대한 설명으로 옳은 것은? (바닥 에너지를 0으로 둔다.)
바닥 항이 1이고 나머지 항은 양수이므로 \(Z\ge1\)이며, \(T\)가 오르면 모든 항이 커진다. 에너지에 상수 \(c\)를 더하면 \(Z\)는 \(e^{-\beta c}\)배가 된다(확률과 \(S\), \(C_V\)는 그대로, \(F\)와 \(U\)는 \(c\)만큼 옮긴다).
간격 10.0 meV인 2준위 계(겹침 없음)가 77 K(액체 질소)에 있다. 위 준위의 점유 확률은?
\(kT = 6.635\) meV, \(x = 1.507\), \(P_1 = 1/(e^{1.507}+1) = 1/(4.514+1) = 0.181\).
겹침 없는 준위 0, \(\varepsilon\), \(2\varepsilon\)으로 된 계가 \(\varepsilon/kT = 0.50\)인 온도에 있다. \(Z\)와 \(U/\varepsilon\)을 구하라.
\(Z = 1 + e^{-0.5} + e^{-1} = 1 + 0.6065 + 0.3679 = 1.974\). \(U/\varepsilon = (0.6065 + 0.7358)/1.974 = 0.680\). 고온 극한(1)보다 작고, 저온 극한(0)보다 크다.
문제 4와 같은 계에서 \(\varepsilon = 10.0\) meV라 하자(그러면 \(kT = 20.0\) meV). 입자 하나의 헬름홀츠 자유 에너지 \(F\)(eV)와 엔트로피 \(S/k\)를 구하라.
\(\ln Z = \ln1.974 = 0.6802\). \(F = -0.0200\times0.6802 = -0.0136\) eV. \(U/kT = (U/\varepsilon)(\varepsilon/kT) = 0.680\times0.5 = 0.340\)이므로 \(S/k = 0.680 + 0.340 = 1.02\). 상태 세 개의 최대 \(\ln3 = 1.10\)에 가깝다 — \(kT\)가 간격의 두 배라 세 상태가 꽤 고르게 채워졌다.
간격 5.0 meV인 2준위 불순물이 만드는 쇼트키 열용량 봉우리는 몇 K에 있는가? (최대는 \(\Delta/kT = 2.40\).)
\(T = \Delta/(2.399k) = 5.0\times10^{-3}/(2.399\times8.617\times10^{-5}) = 24.2\) K.
CO의 진동 온도는 \(\theta_\mathrm{vib}\) = 3103 K다. 1500 K에서 평균 진동 양자수 \(\langle n\rangle\)와 분자당 진동 열용량 \(C_V/k\)를 구하라.
\(x = 3103/1500 = 2.069\). \(\langle n\rangle = 1/(e^{2.069}-1) = 1/(7.914-1) = 0.145\). \(C_V/k = x^2e^x/(e^x-1)^2 = 4.279\times7.914/47.80 = 0.708\). 진동이 70 % 깨어 있다.
500 K의 HCl(\(\theta_\mathrm{rot}\) = 15.02 K)에서 \(J_\mathrm{max} = \sqrt{T/2\theta}-\tfrac12\)의 값과, 실제로 가장 많이 채워진 정수 \(J\)를 구하라.
\(\sqrt{500/30.04} = 4.080\), \(J_\mathrm{max} = 3.58\). 정수로는 \(J = 4\)(직접 비교: \(P_3\propto7e^{-12\times0.03004}= 4.88\), \(P_4\propto9e^{-20\times0.03004} = 4.94\), \(P_5\propto11e^{-30\times0.03004} = 4.47\) → 4가 최대).
298.15 K의 N₂(\(\theta_\mathrm{rot}\) = 2.88 K, \(\sigma = 2\))에 대해 고온 근사 \(Z_\mathrm{rot} = T/\sigma\theta\)와 회전 몰 엔트로피 \(S_\mathrm{rot,m} = R[\ln Z_\mathrm{rot} + 1]\)을 구하라. 이 식의 \(+1\)은 어디서 오는가?
\(Z = 298.15/5.76 = 51.76\). \(S = 8.314\times(\ln51.76 + 1) = 8.314\times4.947 = 41.1\) J/(mol·K). \(S = R(\ln Z + \beta U)\)에서 고온 회전 에너지 \(U_\mathrm{rot} = RT\)라 \(\beta U = 1\)이다.
300 K의 헬륨 원자(4.0026 g/mol)의 열적 드브로이 파장 \(\lambda = h/\sqrt{2\pi mkT}\)를 구하라.
\(m = 6.647\times10^{-27}\) kg, \(2\pi mkT = 2\pi\times6.647\times10^{-27}\times1.3806\times10^{-23}\times300 = 1.730\times10^{-46}\), \(\sqrt{} = 1.315\times10^{-23}\), \(\lambda = 6.626\times10^{-34}/1.315\times10^{-23} = 5.04\times10^{-11}\) m = 0.050 nm.
사쿠르–테트로드 식으로 298.15 K, 1 bar의 네온(20.180 g/mol) 몰 엔트로피를 구하라. (아르곤은 같은 조건에서 154.85 J/(mol·K)이다.)
\(S(\mathrm{Ne}) = S(\mathrm{Ar}) + \tfrac32R\ln(20.180/39.948) = 154.85 + 12.47\times(-0.6829) = 154.85 - 8.52 = 146.33\) J/(mol·K). NIST 값 146.33과 같다.
3000 K의 N₂(\(\theta_\mathrm{rot}\) = 2.88 K, \(\theta_\mathrm{vib}\) = 3374 K)의 정적 몰 열용량 \(C_{V,\mathrm{m}}\)에 가장 가까운 것은? (해리는 무시)
병진 1.5 + 회전 1 + 진동 \(x^2e^x/(e^x-1)^2\)(\(x = 1.125\)에서 0.90) = 3.40\(R\). 진동이 거의 다 깨어 있지만 \(3.5R\)에는 조금 못 미친다.
배기 라인의 HCl 흡수 스펙트럼에서 P 가지와 R 가지의 가장 센 선 사이 간격이 150 cm⁻¹였다. \(B = 10.44\) cm⁻¹로 두고 가스의 회전 온도를 구하라.
\(T = 1.4388\times150^2/(8\times10.44) = 1.4388\times22500/83.52 = 388\) K. 실제 스펙트럼의 선은 정수 \(J\)에만 있으므로 간격 읽기의 정밀도는 \(4B\approx40\) cm⁻¹ 정도이고, 정밀하게는 여러 선의 세기를 볼츠만 그림(\(\ln[I/(2J+1)]\) 대 \(J(J+1)\))에 놓아 기울기 \(-\theta_\mathrm{rot}/T\)로 구한다.
실리콘의 공공 형성 에너지를 대표값 3.6 eV(형성 엔트로피 무시), 원자 밀도를 \(5.00\times10^{22}\) cm⁻³로 둔다. 1100 °C 어닐에서 공공의 평형 비율과 농도를 구하라.
\(T = 1373.15\) K, \(kT = 0.11833\) eV, \(E_v/kT = 30.42\), \(n/N = e^{-30.42} = 6.13\times10^{-14}\), \(n = 3.06\times10^{9}\) cm⁻³.
"온도를 10 °C 올리면 반응 속도가 두 배"라는 경험 법칙이 25 °C → 35 °C에서 정확히 성립한다면 활성화 에너지는 몇 kJ/mol인가?
\(\ln2 = (E_a/R)(1/298.15 - 1/308.15)\). \(1/298.15 - 1/308.15 = 1.0884\times10^{-4}\) K⁻¹. \(E_a = 8.314\times0.6931/1.0884\times10^{-4} = 5.29\times10^{4}\) J/mol = 52.9 kJ/mol(0.549 eV).
어떤 금속의 평형 공공 비율을 측정했더니 1200 K의 값이 900 K의 1000배였다. 형성 엔트로피가 온도에 무관하다고 보고 공공 형성 에너지를 구하라.
\(\ln1000 = (E_v/k)(1/900 - 1/1200)\). \(1/900-1/1200 = 2.778\times10^{-4}\) K⁻¹. \(E_v = 8.617\times10^{-5}\times6.908/2.778\times10^{-4} = 2.14\) eV. \(e^{S_v/k}\)는 비에서 상쇄되므로 기울기만으로 \(E_v\)가 정해진다.
개념 확인 퀴즈
볼츠만 인자 \(e^{-E/kT}\)를 유도할 때 핵심 가정은?
열용량 \(C_V\)와 에너지 요동의 관계로 옳은 것은?
상온의 N₂ 기체 \(C_{V,\mathrm{m}}\)이 \(\tfrac72R\)이 아니라 \(\tfrac52R\)인 이유는?
사쿠르–테트로드 식을 얻을 때 \(Z_1^N\)을 \(N!\)로 나누는 이유는?
온도를 올리면 HCl 적외선 흡수 스펙트럼에서 일어나는 일은?