소성 변형과 강화 기구
구리 막대를 손으로 구부리면 다시 펴지지 않는다. 원자 결합을 한꺼번에 끊어 결정 절반을 통째로 미끄러뜨리려면 수 GPa가 필요하지만, 실제 구리는 그 100분의 1도 안 되는 응력에서 영구 변형하고, 순수한 단결정은 1만분의 1에서 미끄러진다. 비결은 전위다. 전위가 결합을 한 줄씩만 바꿔 가며 결정을 가로지르면 결정은 원자 한 칸만큼 미끄러지고 표면에 계단이 남는다. 그러니 금속을 강하게 만드는 방법은 모두 한 문장으로 요약된다 — 전위가 움직이기 어렵게 하라. 전위를 많이 만들어 서로 엉키게 하고(가공 경화), 결정립계로 길을 막고(결정립 미세화), 용질 원자와 석출물로 길에 돌을 깐다(고용·석출 강화). 이 장은 인장 시험 곡선을 읽는 법에서 출발해 슬립계와 슈미트 법칙, 네 가지 강화 기구, 경도와 나노압입, 그리고 열처리로 강도와 연성을 되돌리는 회복·재결정·결정립 성장까지 간다. 아래 그림에서는 전단 응력을 받은 결정 속을 칼날 전위(⊥)가 미끄럼면을 따라 지나가며, 지나갈 때마다 양쪽 끝에 높이 \(b\)의 계단이 하나씩 생긴다.
- 인장 시험 곡선에서 탄성률·0.2 % 오프셋 항복 강도·인장 강도·연신율·단면 감소율·레질리언스·인성을 읽고, 공칭 응력·변형을 진응력·진변형으로 바꾼다.
- 홀로몬 식 \(\sigma_\mathrm T = K\varepsilon_\mathrm T^{\,n}\)과 콩시데르 조건으로 네킹이 시작되는 변형(\(\varepsilon_\mathrm T = n\))과 인장 강도를 계산한다.
- 전위의 미끄럼으로 이론 전단 강도와 실제 항복 강도의 차이를 설명하고, FCC·BCC·HCP의 슬립계를 세며, 슈미트 법칙 \(\tau_\mathrm R = \sigma\cos\phi\cos\lambda\)로 단결정의 항복 응력을 구한다.
- 프랭크–리드 원에 의한 전위 증식과 테일러 식 \(\Delta\sigma = M\alpha Gb\sqrt\rho\)로 가공 경화를 설명하고, 냉간 가공도와 강도·연성의 관계를 계산한다.
- 홀–페치 식, 고용 강화, 석출물의 자름과 오로완 우회로 강화량을 계산하고 최대 강도가 나오는 석출물 크기를 설명한다.
- 브리넬·비커스 경도를 계산하고, 나노압입 하중–변위 곡선에서 올리버–파르 방법으로 경도와 탄성률을 구한다.
- 회복·재결정·결정립 성장을 구별하고, 재결정 분율(JMAK)과 결정립 성장 식으로 어닐 조건을 정해 목표 강도와 연성을 함께 맞춘다.
인장 시험과 응력–변형 곡선
소성을 정량적으로 말하려면 먼저 측정법을 정해야 한다. 가장 기본이 되는 것이 인장 시험(tensile test)이다. 지름 \(d_0\)(흔히 12.8 mm), 표점 거리 \(L_0\)(50 mm)인 둥근 시편의 양 끝을 잡고 일정한 속도로 잡아당기며, 하중 \(F\)는 하중계(load cell)로, 표점 사이의 늘어남 \(\Delta L\)은 신장계(extensometer)로 잰다. 5장에서 탄성 구간의 기울기로 영률을 읽었다(응력·변형과 탄성). 이 장은 그 뒤, 하중을 빼도 되돌아오지 않는 구간을 다룬다.
측정한 \(F\)와 \(\Delta L\)을 처음 치수로 나눈 것이 공칭 응력(engineering stress) \(\sigma = F/A_0\)과 공칭 변형(engineering strain) \(\varepsilon = \Delta L/L_0\)이다. 금속의 응력–변형 곡선은 대개 다음 순서로 지나간다. 처음에는 직선(탄성, 기울기 \(E\))이다가, 어느 응력부터 하중을 빼도 변형이 남기 시작한다. 이 경계가 항복 강도(yield strength) \(\sigma_\mathrm y\)다. 대부분의 금속은 경계가 또렷하지 않으므로 탄성 직선을 변형 0.002만큼 오른쪽으로 옮긴 선이 곡선과 만나는 응력을 항복 강도로 정한다. 이것이 0.2 % 오프셋 항복 강도(0.2 % offset yield strength)다. 항복 뒤에도 응력은 계속 오르다가(가공 경화) 최댓값에 이르는데, 이 최대 공칭 응력이 인장 강도(tensile strength, TS)다. 그 뒤로는 변형이 시편 한가운데로 몰려 목처럼 잘록해지는 네킹(necking)이 일어나고 공칭 응력은 떨어지다 파단한다.
시편은 늘어나면서 가늘어진다. 순간 단면적 \(A_i\)로 나눈 응력과, 늘어남을 조금씩 더한 변형이 진응력(true stress)과 진변형(true strain)이다. 소성 변형은 부피를 거의 바꾸지 않으므로(\(A_iL_i = A_0L_0\)) 네킹 전까지는 공칭 값만으로 바꿀 수 있다.
균일 소성 구간의 진응력–진변형 곡선은 많은 금속에서 간단한 거듭제곱으로 잘 맞는다. 이것이 홀로몬 식(Hollomon equation)이고, 지수 \(n\)을 가공 경화 지수(strain-hardening exponent)라 한다.
네킹은 왜 생길까? 시편 어딘가가 조금 가늘어지면 그곳 응력이 커진다. 가공 경화가 충분하면 그곳이 단단해져 변형은 다른 곳으로 옮겨 가지만, 가공 경화가 단면적 감소를 따라가지 못하는 순간부터는 가는 곳이 계속 더 가늘어진다. 하중 \(F = \sigma_\mathrm TA\)가 최대가 되는 조건 \(dF = 0\)에서 \(d\sigma_\mathrm T/\sigma_\mathrm T = -dA/A = d\varepsilon_\mathrm T\), 곧
강도 계수 \(K =\) 600, 가공 경화 지수 \(n =\) 0.21인 금속은 진변형 에서 네킹을 시작한다. 이때까지 공칭으로 고르게 늘어나고, 인장 강도는 , 네킹 순간의 진응력은 이다.
곡선 아래 넓이도 성질이다. 단위 부피의 재료가 항복할 때까지 흡수했다가 하중을 빼면 돌려주는 에너지가 레질리언스(resilience) \(U_r = \sigma_\mathrm y^2/2E\)이고, 파단까지 흡수하는 에너지(곡선 아래 전체 넓이)가 인성(toughness)이다. 단위는 J/m³ = Pa이므로 MPa 단위 응력에 무차원 변형을 곱하면 바로 MJ/m³다. 용수철 강은 \(\sigma_\mathrm y\)가 크고 \(E\)가 작아야 좋고, 충격을 견뎌야 하는 부품은 강도와 연성을 함께 가져야 인성이 크다(파괴 인성은 7장).
하중을 중간에 빼면 어떻게 될까? 시편은 탄성 변형만큼만 되돌아온다. 되돌아오는 길은 처음 탄성 직선과 평행한 직선(기울기 \(E\))이고 이것을 탄성 회복(elastic recovery)이라 한다. 영구 변형이 남은 시편을 다시 당기면 같은 직선을 따라 올라가 하중을 뺐던 응력 근처에서 다시 소성 변형을 시작한다. 한 번 변형된 금속은 항복 강도가 올라간 셈이다 — 3절의 가공 경화다.
어닐한 구리 시편을 공칭 변형 0.20까지 당긴 뒤 하중을 완전히 뺐다가 다시 당긴다. 두 번째 당김에서 소성 변형이 다시 시작되는 공칭 응력은?
인장 시험기: 당기고, 빼고, 다시 당기기
지름 12.8 mm, 표점 거리 50.0 mm인 구리 시편을 당겼다. (a) 하중 9.00 kN에서 표점이 0.0318 mm 늘어났다(탄성 구간). 영률은? (b) 최대 하중이 28.3 kN이었다. 인장 강도는? (c) 파단 뒤 표점 거리가 75.0 mm, 파단면 지름이 6.40 mm였다. %EL과 %RA는? (d) 파단 순간 하중이 22.0 kN이었다면 파단 진응력은?
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어닐 구리의 진응력이 진변형 0.10에서 192 MPa, 0.30에서 312 MPa였다. (a) \(K\)와 \(n\), (b) 네킹이 시작되는 진변형과 공칭 변형, (c) 인장 강도를 구하라.
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칩(실리콘, 2.6 ppm/K)과 유기 기판(15–17 ppm/K) 사이의 솔더 범프는 전원을 켜고 끌 때마다 열팽창 차이로 전단된다. SAC305 솔더의 항복 강도는 30–40 MPa로 구리(어닐 약 70 MPa, 도금 필러 수백 MPa)보다 훨씬 낮아, 열 사이클마다 탄성 한계를 넘어 소성 변형하고 그 이력 곡선의 넓이(소성 일)가 쌓여 피로 균열이 자란다(7장, 17장). 그래서 범프 설계는 응력–변형 곡선 전체, 곧 항복 강도·가공 경화·온도에 따른 크리프를 함께 본다. 구리 필러 범프는 솔더 부피를 줄여 피치를 좁히는 대신, 단단한 구리가 칩 쪽 약한 저유전막에 응력을 더 전달한다. → PackagingBook · 범핑과 재배선
전위 운동과 슬립계, 슈미트 법칙
완전한 결정의 위 절반을 아래 절반 위로 통째로 미끄러뜨린다면 미끄럼면의 모든 결합이 동시에 늘어나야 한다. 결합의 복원력을 사인 함수로 어림하면 필요한 전단 응력의 최댓값은 \(\tau_\text{th}\approx G/2\pi\)다. 이것이 이론 전단 강도(theoretical shear strength)다. 구리(\(G\approx41\) GPa)라면 약 6.5 GPa인데, 순수한 구리 단결정은 1 MPa도 안 되는 분해 전단 응력에서 미끄러진다. 만 배의 차이를 메우는 것이 3장의 선결함, 전위다(결정 결함, 기초는 고체물리 · 결정 결함).
- 완전 결정. 전단 응력을 걸어도 결합을 한꺼번에 끊으려면 \(G/2\pi\) 정도가 필요하다.
- 왼쪽 끝에서 칼날 전위가 생겨 들어온다. 전위선(⊥) 왼쪽은 미끄러진 영역, 오른쪽은 아직 아닌 영역이다.
- 전위가 한 칸 움직일 때마다 핵 바로 아래 한 줄의 결합만 짝을 바꾼다. 필요한 응력은 격자 저항(파이얼스 응력) 정도로 작다.
- 전위가 결정을 다 지나가면 위 절반 전체가 버거스 벡터 \(b\)만큼 미끄러지고, 표면에 높이 \(b\)의 계단(슬립 흔적)이 남는다.
전위는 아무 면에서나 같은 쉬움으로 움직이지 않는다. 원자가 가장 빽빽하게 놓인 면은 면 사이 간격이 가장 넓어 위아래가 덜 맞물리고, 그 면 안에서 원자가 가장 촘촘한 방향은 버거스 벡터가 가장 짧아 전위 에너지(\(\propto Gb^2\))가 가장 작다. 그래서 미끄럼은 조밀면 위의 조밀 방향으로 일어난다. 미끄럼면과 그 안의 미끄럼 방향을 한 쌍으로 묶은 것을 슬립계(slip system)라 한다.
| 구조 | 미끄럼면 | 미끄럼 방향 | 슬립계 수 | 예 | 상온 거동 |
|---|---|---|---|---|---|
| FCC | {111} | ⟨110⟩ | 12 | Cu, Al, Ni, Au, Ag, γ-Fe | 연성이 크고 저온에서도 부서지지 않는다 |
| BCC | {110}, {211}, {321} | ⟨111⟩ | 12 + 12 + 24 | α-Fe, W, Mo, Ta, Cr | 격자 저항이 커 온도에 민감, 저온 취성(7장) |
| HCP | (0001) 바닥면 (+ 기둥면·뿔면) | ⟨11̄20⟩ | 3 (+3, +6) | Mg, Zn, Ti, Co, Ru | 바닥면만 쉬우면 다결정 연성이 작다(Mg, Zn). Ti는 기둥면도 써서 연성이 있다 |
나사 전위는 버거스 벡터가 전위선과 나란하므로 그 선을 품은 어느 조밀면으로도 옮겨 갈 수 있다. 이것이 교차 슬립(cross slip)이며, 장애물을 돌아가는 길이 되어 3단계 가공 경화(동적 회복)를 낳는다.
슈미트 법칙과 임계 분해 전단 응력
단결정 막대를 축 방향 응력 \(\sigma\)로 당기면 미끄럼면에는 전단 성분과 수직 성분이 함께 걸린다. 미끄럼을 일으키는 것은 미끄럼면 위, 미끄럼 방향으로 분해한 전단 응력뿐이다. 하중 축과 미끄럼면 법선 사이의 각을 \(\phi\), 하중 축과 미끄럼 방향 사이의 각을 \(\lambda\)라 하면 힘 \(F\cos\lambda\)가 넓이 \(A/\cos\phi\)에 걸리므로
응력 52을 걸었을 때 미끄럼면 법선과의 각 \(\phi =\) 45, 미끄럼 방향과의 각 \(\lambda =\) 55이면 슈미트 인자는 , 분해 전단 응력은 이다. CRSS가 30 MPa라면
실제 결정에는 슬립계가 12개 있고 각자 \(\phi\), \(\lambda\)가 다르다. 그중 슈미트 인자가 가장 큰 계가 먼저 미끄러진다. 하중 축의 방향을 결정 좌표로 나타내는 데는 스테레오 투영(stereographic projection)이 편하다. 단위 구 위의 방향을 적도면에 투영한 지도로, 가운데가 [001], 가장자리가 [100]·[010]·[110] 같은 수평 방향이다.
FCC 단결정을 정확히 [001] 방향으로 당긴다. 12개 슬립계 가운데 슈미트 인자가 최댓값(0.408)으로 똑같은 계는 몇 개일까?
하중 축을 끌어 가장 먼저 미끄러지는 슬립계 찾기
다결정에서는 결정립마다 방향이 다르고, 이웃 결정립과 떨어지지 않으려면 각 결정립이 임의의 모양 변화를 해내야 한다. 부피가 보존되는 임의의 변형에는 독립된 슬립계가 5개 필요하다(폰 미제스 조건). FCC와 BCC는 넉넉하지만 바닥면 슬립뿐인 HCP 마그네슘·아연은 이를 채우지 못해 다결정이 취약하다. 방향을 평균하면 다결정의 항복 강도는 \(\sigma_\mathrm y \approx M\tau_\mathrm{CRSS}\)이고, 무작위 방향 FCC의 테일러 인자(Taylor factor)는 \(M\approx3.06\)이다(단결정의 \(1/m_\text{max} = 2\)보다 크다).
BCC 철 단결정을 [010] 방향으로 52 MPa의 응력으로 당긴다. (a) (110) 면, [\(\bar1\)11] 방향 슬립계의 분해 전단 응력을 구하라. (b) 이 계의 CRSS가 30 MPa라면 항복에 필요한 응력은?
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전위 증식과 가공 경화
잘 어닐한 금속에도 전위가 1 m³에 \(10^{10}\)–\(10^{12}\) m 길이만큼 들어 있다. 이 양, 곧 단위 부피당 전위선 길이가 전위 밀도(dislocation density) \(\rho\)(m⁻²)다. 표면에 계단 하나를 만들 때마다 전위 하나가 결정을 빠져나가므로, 큰 소성 변형을 하려면 전위가 계속 새로 생겨야 한다. 실제로 냉간 가공한 금속의 \(\rho\)는 \(10^{14}\)–\(10^{16}\) m⁻²까지 늘어난다(1 cm³ 속 전위를 이으면 지구–달 거리가 넘는다). 대표적인 증식 기구가 프랭크–리드 원(Frank–Read source)이다. 두 점(석출물, 다른 전위와의 교차점)에 고정된 길이 \(L\)의 전위 선분이 전단 응력을 받으면 활처럼 휘고, 반원이 되는 순간을 넘기면 스스로 감아 돌아 닫힌 고리 하나를 내보내고 원래 선분으로 돌아온다. 같은 일이 되풀이되며 고리가 쏟아진다.
전위가 많아지면 서로 방해한다. 미끄럼면을 가로지르는 다른 전위("숲 전위")를 끊고 지나가려면 꺾임(jog)을 만들어야 하고, 두 전위가 만나 움직이지 않는 매듭(로머–코트렐 잠금)을 만들기도 한다. 미끄럼면 위 전위가 평균 간격 \(1/\sqrt\rho\)의 숲을 지나려면 그 간격에 맞는 프랭크–리드형 응력이 필요하므로 \(\tau\propto Gb\sqrt\rho\)다. 이것이 테일러 식(Taylor equation)이다.
구리(\(M = 3.06\), \(\alpha = 0.3\), \(G = 41\) GPa, \(b = 0.256\) nm)의 전위 밀도가 \(10^{x}\) m⁻²의 \(x\) = 14이면 전위 사이 평균 간격은 이고, 테일러 식이 주는 강화량은 이다. 밀도를 100배로 늘리면 강화량은 배가 된다.
공장에서는 압연·인발·단조로 상온에서 단면을 줄여 가공 경화를 이용한다. 이것이 냉간 가공(cold work)이고, 그 정도를 단면적 감소율로 나타낸 것이 냉간 가공도다.
선 인발: 다이를 조여 냉간 가공도 정하기
지름 15.2 mm인 어닐 구리 봉을 12.2 mm로 인발했다. (a) 냉간 가공도와 진변형을 구하라. (b) 항복 강도가 69 MPa에서 330 MPa로 올랐고 어닐 상태의 전위 밀도가 \(10^{12}\) m⁻²였다면, 인발 뒤 전위 밀도는? (\(M = 3.06\), \(\alpha = 0.3\), \(G = 41.0\) GPa, \(b = 0.2556\) nm, 나머지 기여는 변하지 않는다고 본다.)
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가공 경화는 공짜가 아니다. 강도가 오르는 만큼 연성이 줄고(더 늘일 여유가 이미 소진됨), 전위가 전자를 흩뜨려 전기 저항률도 몇 % 오른다(마티센 규칙의 변형 항, 15장). 또 늘어난 전위에 저장된 에너지(가공에 들인 일의 수 %)가 6절 재결정의 구동력이 된다. 한쪽으로 변형한 뒤 반대로 하중을 걸면 처음보다 낮은 응력에서 항복하는 바우싱거 효과(Bauschinger effect)도 나타난다 — 쌓인 전위가 되돌아가는 쪽으로는 도움을 받기 때문이다. 판금 성형과 열 사이클을 받는 솔더 접합에서 중요하다.
결정립 미세화·고용·석출 강화
강화 기구는 모두 같은 질문에 대한 서로 다른 답이다. "미끄러지는 전위 앞에 무엇을 놓을까?" 앞 절의 답은 다른 전위였다. 이 절에서는 결정립계, 용질 원자, 석출물을 놓는다. 여러 기구가 함께 작용하면 대개 강화량을 더해 어림한다(\(\sigma_\mathrm y \approx \sigma_0 + \Delta\sigma_\text{gb} + \Delta\sigma_\text{ss} + \Delta\sigma_\text{ppt} + \Delta\sigma_\rho\)).
결정립계와 홀–페치 식
이웃 결정립은 결정 방향이 달라 슬립계가 이어지지 않는다. 미끄러지던 전위는 결정립계 앞에서 멈추고, 같은 원에서 나온 전위들이 그 뒤에 줄지어 선다. 이렇게 쌓인 전위 쌓임(dislocation pile-up)의 앞머리에는 쌓인 수만큼 커진 응력이 걸리고, 그 응력이 이웃 결정립의 전위 원을 깨울 만큼 커져야 변형이 결정립계를 넘어간다. 결정립이 클수록 줄이 길어 앞머리 응력이 쉽게 커지므로, 작은 결정립일수록 더 큰 외부 응력이 필요하다.
결정립을 키우고 쪼개 목표 항복 강도 만들기
결정립 크기 \(d =\) 10인 구리의 항복 강도는 , 같은 크기의 저탄소강(α-Fe)은 다. 결정립을 이 크기의 1/4로 줄이면 강의 항복 강도는 로 오른다.
저탄소강의 항복 강도가 결정립 크기 25 µm에서 218 MPa, 4.0 µm에서 440 MPa였다. (a) \(\sigma_0\)와 \(k_\mathrm y\)를 구하라. (b) 결정립을 1.0 µm로 줄이면 항복 강도는 얼마로 예상되는가?
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다마신 구리 배선의 결정립 크기는 선폭과 두께에 묶여 수십–수백 nm이고, 텅스텐 플러그·배선은 CVD로 쌓여 더 작다. 홀–페치에 박막 효과(두께 \(h\)가 작을수록 전위가 휘어 지나가야 해 강도 \(\propto1/h\))가 더해져, 같은 구리라도 배선 속에서는 항복 강도가 수백 MPa로 괴상의 몇 배다. 그래서 어닐·열 사이클에서 생기는 열응력(5장)을 소성 변형으로 풀지 못하고 높은 인장 응력이 남아, 비아 아래 보이드(응력 이동)와 일렉트로마이그레이션 수명(17장)에 영향을 준다. 반대로 결정립계는 전자를 흩뜨려 저항률을 올리므로(11·15장), 배선 공정은 강도·저항·신뢰성 사이에서 결정립 크기를 고른다. → ProcessBook · 금속 배선
고용 강화
크기가 다른 용질 원자는 주위 격자를 늘이거나 눌러 응력장을 만든다. 칼날 전위의 위쪽(압축)에는 작은 원자가, 아래쪽(인장)에는 큰 원자가 앉으면 에너지가 낮아지므로, 전위는 용질 원자에 붙잡히거나 응력장의 굴곡을 넘어가야 한다. 이것이 고용 강화(solid-solution strengthening)다. 크기 차이(\(\delta = \Delta a/a\))와 탄성률 차이가 클수록, 농도 \(c\)가 높을수록 강하다.
석출 강화: 자르기 대 돌아가기
과포화 고용체를 시효(9장)하면 기지 속에 작은 석출물(precipitate)이 생긴다. 미끄럼면을 지나던 전위는 석출물을 만나면 두 가지 중 쉬운 쪽을 고른다. 석출물이 작고 기지와 정합이면 전위가 석출물을 자르고 지나간다. 자를 때마다 새 계면(역위상 경계·표면 계단)이 생기므로 저항은 석출물이 클수록 커진다(\(\Delta\tau\propto\sqrt{fr}\)). 석출물이 크거나 단단하면 자르는 대신 석출물 사이로 휘어 나가 반대편에서 다시 만나고, 석출물 둘레에 고리를 남기고 지나간다. 이것이 오로완 우회(Orowan bypass)이며, 필요한 응력은 프랭크–리드 원처럼 석출물 사이 간격 \(\lambda\)에 반비례한다.
- 곧은 전위선이 석출물 줄을 향해 온다.
- 석출물에 걸린 점은 멈추고, 사이 부분은 선 장력과 응력이 균형을 이루는 원호로 휜다.
- 원호가 반원이 될 때 필요한 응력이 최대(\(Gb/\lambda\))다. 이보다 큰 응력이면 더 휘어 나간다.
- 석출물 뒤에서 만난 두 가지가 서로 지워져 이어지고, 각 석출물 둘레에 고리가 하나씩 남는다. 고리가 쌓이면 실제 간격이 줄어 다음 전위는 더 어렵다.
부피 분율 2 %인 석출물을 시효로 천천히 키운다(분율은 그대로, 반지름만 커진다). 강도는 어떻게 변할까?
석출물 사이를 지나는 전위선과 최고 시효 반지름
반지름 10 nm인 θ′ 석출물이 부피 분율 2.0 %로 퍼진 Al–Cu 합금(\(G = 26\) GPa, \(b = 0.286\) nm)에서 (a) 미끄럼면 위 석출물 사이 간격 \(\lambda\), (b) 오로완 응력, (c) 다결정 항복 강도 증가(\(M = 3.06\))를 구하라. 자름 모형 \(\Delta\tau = 600\sqrt{fr}\) MPa(\(r\) nm)과 비교해 어느 기구가 일어나는가?
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경도와 나노압입
인장 시험은 정확하지만 시편을 깎아 만들어야 하고 부품을 망가뜨린다. 단단한 압입자를 표면에 눌러 남은 자국의 크기나 깊이로 국부 소성 저항을 재는 것이 경도(hardness) 시험이다. 빠르고 거의 비파괴이며, 작은 부품·용접부·박막도 잴 수 있다. 압입자 밑의 재료는 사방이 탄성 영역에 둘러싸여 있어 단축 인장보다 큰 평균 압력에서야 소성 유동하므로, 경도(평균 접촉 압력)는 항복 강도의 약 3배다(테이버 관계 \(H\approx3\sigma_\mathrm y\)).
비커스 경도 HV 200은 평균 접촉 압력 이다. 테이버 관계로 보면 항복 강도는 약 , 강이라면 인장 강도는 약 (HB ≈ 0.95 HV로 보고 TS ≈ 3.45 HB). 10 kgf로 누르면 대각선이 인 자국이 남는다.
나노압입과 올리버–파르 방법
박막이나 미세 영역은 자국이 수백 nm라 광학 현미경으로 잴 수 없다. 나노압입(nanoindentation)은 날카로운 베르코비치 압입자를 누르면서 하중 \(P\)와 깊이 \(h\)를 nm·µN 정밀도로 계속 기록한다. 누를 때 곡선은 탄성과 소성이 섞여 올라가고, 뺄 때는 탄성 부분만 되돌아온다. 그래서 제하 곡선 꼭대기의 기울기 \(S = dP/dh\)(접촉 강성)가 탄성률을, 최대 하중을 접촉 넓이로 나눈 값이 경도를 준다. 접촉 넓이는 자국을 보지 않고 깊이로 계산하는데, 이것이 올리버–파르 방법(Oliver–Pharr method)이다.
나노압입기: 누르고 빼서 경도와 탄성률 읽기
나노압입기의 면적 함수를 점검하려고 용융 실리카(\(\nu = 0.17\))를 눌렀다. \(P_\text{max} = 10.0\) mN, \(h_\text{max} = 301\) nm, 제하 곡선 꼭대기의 기울기 \(S = 0.0856\) mN/nm였다. 경도와 시료의 탄성률을 구하라.
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와이어 본딩에서는 방전으로 녹인 선 끝의 공(FAB)을 알루미늄 패드에 눌러 붙인다. 금선은 무르고(HV 약 50–60) 가공 경화가 작지만, 값이 싼 구리선은 FAB이 더 단단하고(HV 80–100 이상) 눌릴 때 더 가공 경화되어, 같은 접합을 얻으려면 큰 하중과 초음파가 필요하다. 그 힘이 패드 아래의 약한 저유전막을 깨뜨리는 것이 크레이터링이다. 그래서 구리선은 고순도·대결정립으로 어닐해 무르게 만들고(이 장 6절), 패드 금속을 두껍게 하거나 나노압입으로 패드·FAB의 경도를 관리한다. → PackagingBook · 와이어 본딩
회복·재결정·결정립 성장
냉간 가공한 금속은 강하지만 더 성형할 수 없고 전기 저항도 높다. 가공으로 쌓은 전위의 에너지(저장 에너지(stored energy), 수–수십 J/mol)는 열역학적으로 불안정해서, 원자가 움직일 만큼 데우면 재료는 세 단계를 거쳐 낮은 에너지 상태로 돌아간다. 이것을 이용해 강도와 연성을 원하는 만큼 되돌리는 열처리가 어닐링이다.
- 냉간 가공 조직: 결정립이 가공 방향으로 길게 늘어났고 그 안에 전위가 엉켜 있다(빨간 선). 강도가 높고 연성이 낮다.
- 회복(recovery): 낮은 온도에서 전위가 미끄럼·상승으로 서로 지우고 낮은 에너지의 벽으로 정렬한다(다각형화(polygonization)). 잔류 응력과 전기 저항은 회복되지만 강도는 조금만 준다.
- 재결정(recrystallization): 전위가 거의 없는 새 결정립이 핵생성해 저장 에너지를 먹으며 자란다. 좁은 온도 범위에서 강도가 뚝 떨어지고 연성이 돌아온다.
- 결정립 성장(grain growth): 재결정이 끝나면 결정립계 에너지를 줄이려고 큰 결정립이 작은 것을 먹는다. 강도는 홀–페치만큼 천천히 더 떨어진다.
재결정 속도는 9장의 핵생성–성장 속도론을 따른다. 등온에서 재결정된 부피 분율은 존슨–멜–아브라미(JMAK) 식이다.
| 금속 | 재결정 온도 (°C) | 녹는점 (°C) | TR/Tm (K/K) |
|---|---|---|---|
| 납 | −4 | 327 | 0.45 |
| 주석 | −4 | 232 | 0.53 |
| 알루미늄 (99.999 %) | 80 | 660 | 0.38 |
| 구리 (99.999 %) | 120 | 1085 | 0.29 |
| 황동 (60Cu–40Zn) | 475 | 900 | 0.64 |
| 니켈 (99.99 %) | 370 | 1455 | 0.37 |
| 철 | 450 | 1538 | 0.40 |
| 텅스텐 | 1200 | 3410 | 0.40 |
납과 주석은 상온이 이미 재결정 온도 위라 가공해도 곧바로 재결정한다(가공 경화가 남지 않는다). 상온 가공이 "냉간"인지 "열간"인지는 절대 온도가 아니라 재결정 온도와 비교해 정한다. 표의 값은 고순도 금속의 대표값(캘리스터)이다. 상용 순도 구리는 불순물이 결정립계를 붙잡아 200–300 °C에서 재결정하며, 이 절의 시뮬레이터는 그런 구리(50 % 가공, 1시간에서 \(T_R\approx250\) °C)를 흉내 낸 모형이다.
같은 구리를 20 %와 70 % 냉간 가공한 뒤 둘 다 260 °C에서 어닐한다. 어느 쪽이 먼저 재결정을 마치고, 재결정 결정립은 어느 쪽이 작을까?
어닐 실험대: 재결정 핵이 생겨 자라고, 결정립이 커진다
재결정이 끝난 뒤의 결정립 성장은 결정립계 에너지(약 0.5 J/m²)가 구동력이다. 굽은 결정립계는 곡률 중심 쪽으로 움직이므로 변이 적은(곡률이 볼록한) 작은 결정립이 줄어들어 사라진다. 이상적인 경우 평균 크기는 \(d^2 - d_0^2 = Kt\)(\(K = K_0e^{-Q/RT}\))로 자라고, 실제로는 \(d^n - d_0^n = Kt\)에서 \(n = 2\)–4다. 결정립계에 걸린 작은 입자는 경계를 붙잡아 성장을 멈추게 하는데, 이것이 제너 고정(Zener pinning)이며 한계 크기는 \(d_\text{lim}\approx4r/3f\)다.
전해 도금한 다마신 구리는 처음에 수십 nm의 미세 결정립과 많은 결함·첨가제 불순물을 품고 있다. 그 저장 에너지가 커서 상온에서도 며칠에 걸쳐 결정립이 수 µm까지 자라는데, 이것이 자가 어닐링(self-annealing)이다. 그동안 면저항이 15–20 % 줄고 경도와 CMP 제거율도 바뀌므로, 공정은 도금 직후 100–400 °C의 짧은 어닐로 성장을 일부러 끝내 둔 뒤 CMP에 들어간다. 좁은 트렌치 속 구리는 경계와 첨가제에 붙잡혀(제너 고정과 비슷하게) 잘 자라지 않아, 선폭이 줄수록 결정립계 산란에 의한 저항 증가가 커진다. → CMPBook · 구리 다마신 CMP
냉간 가공한 구리를 250 °C에서 어닐했더니 10분 뒤 재결정 분율이 0.20, 30분 뒤 0.80이었다. (a) 아브라미 지수 \(n\)과 \(\tau\)를 구하라. (b) 95 % 재결정에 걸리는 시간은?
풀이 보기
설계 과제: 목표 강도와 연성을 함께 가진 구리 선
강도와 연성은 보통 반대로 움직인다. 한 번의 냉간 가공으로 강도를 맞추면 연성이 모자라고, 다 어닐하면 강도가 모자란다. 해법은 가공–어닐–가공이다. 먼저 중간 지름까지 인발하고, 완전히 재결정시켜 가공 경화를 지운 뒤, 마지막에 꼭 필요한 만큼만 냉간 가공한다(캘리스터 설계 예제와 같은 구조). 아래 과제에서 지름 6.4 mm 구리 봉을 지름 5.1 mm 선으로 만들되, 항복 강도 250 MPa 이상, 연신율 22 % 이상, 결정립 50 µm 이하(굵으면 표면이 귤껍질처럼 거칠어지는 오렌지 필(orange peel))를 동시에 맞춰라.
구리 선 설계: 중간 지름과 어닐 조건 고르기
핵심 정리
- 인장 시험: 공칭 \(\sigma = F/A_0\), \(\varepsilon = \Delta L/L_0\). 0.2 % 오프셋 항복 강도, 인장 강도(최대 공칭 응력), %EL, %RA. 네킹 전까지 \(\sigma_\mathrm T = \sigma(1+\varepsilon)\), \(\varepsilon_\mathrm T = \ln(1+\varepsilon)\). 레질리언스 \(\sigma_\mathrm y^2/2E\), 인성은 곡선 아래 전체 넓이. 제하는 기울기 \(E\)의 직선이고, 다시 당기면 하중을 뺐던 응력에서 항복한다.
- 홀로몬과 네킹: \(\sigma_\mathrm T = K\varepsilon_\mathrm T^n\). 콩시데르 조건 \(d\sigma_\mathrm T/d\varepsilon_\mathrm T = \sigma_\mathrm T\)에서 \(\varepsilon_{\mathrm T,u} = n\), \(\mathrm{TS} = Kn^ne^{-n}\). \(n\)이 클수록 늦게 네킹한다.
- 슬립: 전위가 결합을 한 줄씩 바꿔 이론 강도 \(G/2\pi\)보다 10³–10⁴배 낮은 응력에서 미끄러진다. 조밀면·조밀 방향: FCC {111}⟨110⟩ 12개, BCC {110}⟨111⟩ 12개(+36), HCP 바닥면 3개. 슈미트 법칙 \(\tau_\mathrm R = \sigma\cos\phi\cos\lambda\), \(\sigma_\mathrm y = \tau_\mathrm{CRSS}/m_\text{max}\), \(m\le0.5\). 다결정은 \(\sigma_\mathrm y\approx M\tau_\mathrm{CRSS}\)(\(M\approx3.06\)).
- 가공 경화: 프랭크–리드 원(\(\tau\approx Gb/L\))이 전위를 증식해 \(\rho\)가 \(10^{12}\)에서 \(10^{15}\) m⁻²로 는다. 테일러 식 \(\Delta\sigma = M\alpha Gb\sqrt\rho\). %CW \(= (A_0-A_d)/A_0\), \(\varepsilon_\mathrm T = -\ln(1-\%\mathrm{CW}/100)\). 강도·저항률이 오르고 연성이 준다.
- 강화 기구: 홀–페치 \(\sigma_\mathrm y = \sigma_0 + k_\mathrm yd^{-1/2}\)(강도와 인성을 함께 올린다), 고용 \(\Delta\sigma\propto c^{1/2}\)–\(c^{2/3}\)(틈새 용질이 강하다), 석출 — 작으면 자름(\(\propto\sqrt{fr}\)), 크면 오로완 우회(\(Gb/\lambda\)). 두 곡선이 만나는 반지름에서 최고 시효, 그 뒤 과시효.
- 경도: HV \(= 1.8544F/d^2\), \(H\approx3\sigma_\mathrm y\), 강은 TS ≈ 3.45 HB. 나노압입 올리버–파르: \(h_c = h_\text{max} - 0.75P/S\), \(A = 24.5h_c^2\), \(H = P/A\), \(E_r = \sqrt\pi S/2\beta\sqrt A\). 박막은 깊이를 두께의 10 % 안으로.
- 어닐링: 회복(전위 재배열, 강도 거의 그대로) → 재결정(\(X = 1-e^{-(t/\tau)^n}\), \(T_R\approx0.3\)–\(0.5T_m\), 가공도가 클수록 빠르고 미세) → 결정립 성장(\(d^n - d_0^n = Kt\), 제너 고정 \(d_\text{lim}\approx4r/3f\)). 가공–어닐–가공으로 강도와 연성을 함께 맞춘다.
연습문제
따로 말이 없으면 구리는 \(G = 41.0\) GPa, \(b = 0.2556\) nm, FCC 다결정의 테일러 인자 \(M = 3.06\), \(\alpha = 0.3\)을 쓴다. 답이 ±1–2 % 이내면 정답이다.
단면이 10.0 mm × 12.7 mm인 알루미늄 막대(\(E = 69\) GPa)에 인장 하중 35.5 kN을 걸었다. 변형이 탄성일 때 공칭 응력과 공칭 변형을 구하라.
\(A_0 = 10.0\times12.7 = 127\) mm² \(= 1.27\times10^{-4}\) m². \(\sigma = 35500/1.27\times10^{-4} = 2.80\times10^8\) Pa = 280 MPa. \(\varepsilon = \sigma/E = 280/69000 = 4.05\times10^{-3}\).
네킹 전의 한 점에서 공칭 응력이 350 MPa, 공칭 변형이 0.15였다. 진응력과 진변형을 구하라.
\(\sigma_\mathrm T = 350\times1.15 = 402.5\) MPa, \(\varepsilon_\mathrm T = \ln1.15 = 0.140\).
어닐 저탄소강은 \(K = 600\) MPa, \(n = 0.21\)인 홀로몬 식을 따른다. 인장 강도와 네킹이 시작되는 공칭 변형을 구하라.
콩시데르 조건에서 \(\varepsilon_\mathrm T = n = 0.21\). 진응력 \(600\times0.21^{0.21} = 432.5\) MPa, TS \(= 432.5\times e^{-0.21} = 350\) MPa. 공칭 변형 \(e^{0.21}-1 = 0.234\).
응력–변형 곡선에서 원점부터 항복점까지 탄성 구간 아래의 넓이가 나타내는 성질은?
탄성 구간 아래 넓이 \(\sigma_\mathrm y^2/2E\)는 하중을 빼면 돌려받는 에너지, 곧 레질리언스다. 인성은 파단까지 전체 넓이다.
단결정의 한 슬립계가 하중 축과 \(\phi = 60°\), \(\lambda = 35°\)를 이룬다. 이 계의 CRSS가 6.2 MPa일 때 항복에 필요한 인장 응력을 구하라.
\(m = \cos60°\cos35° = 0.500\times0.819 = 0.410\). \(\sigma_\mathrm y = 6.2/0.410 = 15.1\) MPa.
FCC 단결정을 [111] 방향으로 당길 때와 [001] 방향으로 당길 때 항복 응력의 비를 구하라. ({111}⟨110⟩ 슬립)
[001]: \(m = 1/\sqrt6 = 0.408\). [111]과 (1̄11): \(\cos\phi = 1/3\), [101]: \(\cos\lambda = 2/\sqrt6 = 0.816\) → \(m = 0.272\). 비 \(= 0.408/0.272 = 1.50\). [111]은 FCC에서 가장 단단한 인장 방향이다.
다결정 마그네슘이 상온에서 구리보다 연성이 훨씬 작은 주된 이유는?
폰 미제스 조건: 다결정의 각 결정립이 이웃과 맞물려 변형하려면 독립 슬립계 5개가 필요하다. 바닥면 슬립은 독립계가 2개뿐이다. 고온이나 기둥면·뿔면 슬립·쌍정이 쉬운 합금에서는 연성이 늘어난다.
마지막 인발에서 25 % 냉간 가공으로 지름 10.0 mm인 선을 만들려 한다. 인발 전 지름은?
\(A_d/A_0 = 0.75\)이므로 \(d_0 = d/\sqrt{0.75} = 10.0/0.866 = 11.5\) mm.
구리의 전위 밀도가 \(10^{14}\) m⁻²일 때 테일러 식이 주는 강화량 \(M\alpha Gb\sqrt\rho\)를 구하라.
\(3.06\times0.3\times41.0\times10^3\ \text{MPa}\times2.556\times10^{-10}\ \text{m}\times10^7\ \text{m}^{-1} = 96.3\) MPa.
구리(\(k_\mathrm y = 0.11\) MPa·√m)의 결정립을 50 µm에서 5.0 µm로 줄이면 항복 강도가 얼마나 오르는가?
\(\Delta\sigma = 0.11\,(1/\sqrt{5.0\times10^{-6}} - 1/\sqrt{50\times10^{-6}}) = 0.11\,(447.2 - 141.4) = 33.6\) MPa.
니켈의 항복 강도가 결정립 64 µm에서 40 MPa, 4.0 µm에서 100 MPa였다. \(k_\mathrm y\)를 구하고 결정립 1.0 µm에서의 항복 강도를 예측하라.
\(d^{-1/2}\) = 125, 500 m⁻¹ᐟ². \(k = 60/375 = 0.16\) MPa·√m, \(\sigma_0 = 40 - 0.16\times125 = 20\) MPa. \(\sigma_\mathrm y(1\,\mu\text m) = 20 + 0.16\times1000 = 180\) MPa.
알루미늄 기지(\(G = 26\) GPa, \(b = 0.286\) nm)에 반지름 20 nm의 단단한 입자가 부피 분율 1.0 %로 퍼져 있다. 미끄럼면 위 입자 사이 간격 \(\lambda = r_s\sqrt{\pi/f} - 2r_s\)(\(r_s = \sqrt{2/3}\,r\))와 오로완 응력을 구하라.
\(r_s = 16.33\) nm, \(r_s\sqrt{\pi/0.01} = 16.33\times17.72 = 289.4\) nm, \(\lambda = 289.4 - 32.7 = 256.8\) nm. \(\Delta\tau = 26000\times0.286/256.8 = 29.0\) MPa(다결정 \(\Delta\sigma\approx89\) MPa).
10 kgf 비커스 시험에서 자국 대각선의 평균이 0.300 mm였다. 비커스 경도를 구하라.
\(\mathrm{HV} = 1.8544\times10/0.300^2 = 206\)(약 2.02 GPa).
구리 막(\(\nu = 0.34\))을 베르코비치 압입자로 눌렀다. \(P_\text{max} = 5.00\) mN, \(h_\text{max} = 383\) nm, 제하 기울기 \(S = 0.2584\) mN/nm. 경도와 탄성률을 구하라(\(\epsilon = 0.75\), \(\beta = 1.034\), 다이아몬드 \(E_i = 1141\) GPa, \(\nu_i = 0.07\)).
\(h_c = 383 - 0.75\times5.00/0.2584 = 383 - 14.5 = 368.5\) nm, \(A = 24.5\times368.5^2 = 3.327\times10^6\) nm². \(H = 5.00/3.327\times10^6\times10^6 = 1.50\) GPa. \(E_r = (\sqrt\pi/2.068)\times0.2584/1824\times10^6 = 121.4\) GPa. \(1/E = (1/121.4 - 0.9951/1141)/(1-0.34^2)\) → \(E = 120\) GPa. \(h_f\)이 \(h_\text{max}\)에 가까운(거의 소성) 금속은 쌓임 때문에 실제로는 이보다 약간 작다.
어떤 온도에서 재결정이 \(X = 1-\exp[-(t/\tau)^{2.5}]\), \(\tau = 40\) min을 따른다. 95 % 재결정에 걸리는 시간을 구하라.
\((t/\tau)^{2.5} = -\ln0.05 = 2.996\), \(t = 40\times2.996^{0.4} = 40\times1.551 = 62.0\) min.
재결정 직후 결정립이 10 µm인 황동을 어떤 온도에서 30분 두었더니 25 µm가 되었다. 같은 온도에서 40 µm가 되려면 처음부터 몇 분 두어야 하는가? (\(d^2 - d_0^2 = Kt\))
\(K = (625-100)/30 = 17.5\) µm²/min. \(t = (1600-100)/17.5 = 85.7\) min. 크기를 1.6배 키우는 데 시간은 2.9배 든다.
개념 확인 퀴즈
인장 시험에서 인장 강도를 지난 뒤 공칭 응력이 떨어지는 이유는?
순수 금속의 실제 항복 강도가 이론 전단 강도 \(G/2\pi\)보다 훨씬 작은 까닭은?
냉간 가공한 금속이 단단해지는 직접적인 원인은?
석출 경화 합금을 너무 오래 시효하면 강도가 떨어지는 이유는?
재결정 온도에 대한 설명으로 옳은 것은?