원자 결합과 결정 구조
텅스텐은 3422 °C에서야 녹고 거의 늘어나지 않지만, 납은 327 °C에 녹고 텅스텐보다 여섯 배 넘게 팽창한다. 이 차이는 원자 두 개 사이의 결합 에너지 곡선 하나에 이미 들어 있다. 우물이 깊고 좁고 대칭에 가까울수록 단단하고 녹기 어렵고 덜 늘어난다. 이렇게 결합한 원자들은 다시 몇 가지 정해진 방식으로 공간을 채운다. 금속은 공처럼 빽빽이 쌓이고(FCC·BCC·HCP), 이온 결정은 양이온과 음이온의 크기 비가 허락하는 만큼의 이웃을 두며(NaCl·CsCl·형석·페로브스카이트), 공유 결정은 결합 방향이 정한 사면체 그물을 만든다(다이아몬드·섬아연석·우르짜이트). 같은 원자로도 쌓는 방식이 달라지면 다른 재료가 된다. 4H-SiC와 3C-SiC, 회색 주석과 흰 주석, 다이아몬드와 흑연이 그렇다. 이 장은 결합 곡선에서 출발해 충진율과 이론 밀도, 틈새 자리, 배위수 규칙, 세라믹·공유 결정, 다형, 다결정과 비정질, 밀러 지수와 원자 밀도까지 간다. 아래 그림은 레너드–존스 결합으로 묶인 원자 144개의 2차원 결정을 일정한 압력에서 데웠다 식히는 분자 동역학 계산이다. 오른쪽 막대는 이웃 원자 사이 거리의 분포다. 온도가 오르면 분포가 넓어지며 오른쪽(먼 쪽)으로 밀리고 상자가 커진다. 열팽창이다. 녹는 순간에는 부피가 한 번에 늘고, 천천히 식히면 다시 결정이 된다. 누르면 가열과 급랭을 바꾼다. 녹은 상태에서 급랭하면 결함이 많은 고체로 굳는다.
- 결합 에너지 곡선 \(E(r)\)과 힘 \(F = -dE/dr\)에서 평형 거리·결합 에너지를 읽고, 우물의 깊이·곡률·비대칭이 녹는점·탄성률(\(E\approx S_0/r_0\))·열팽창을 정하는 이유를 설명한다.
- FCC·BCC·HCP 단위정의 원자 수·배위수·원자 충진율을 유도하고, 원자 반지름과 몰 질량으로 격자 상수와 이론 밀도 \(\rho = nA/(V_\mathrm{C}N_\mathrm{A})\)를 계산하며, 밀도로 미지 금속의 구조를 판정한다.
- FCC·BCC의 팔면체·사면체 틈새 자리 크기를 구해 탄소가 γ-Fe에 더 잘 녹는 이유를 설명하고, 이온 결정에서 반지름 비로 배위수와 배위 다면체를 예측한다.
- NaCl·CsCl·섬아연석·형석·페로브스카이트 구조를 "골격 + 틈새 채우기"로 이해하고, 세라믹의 이론 밀도와 페로브스카이트 허용 인자를 계산한다.
- 다이아몬드·섬아연석·우르짜이트 구조의 사면체 결합과 충진율을 이해하고, 적층 순서로 SiC 다형(3C·4H·6H)을 구별하며, 주석·탄소·철·HfO₂의 동소체·다형 변태가 성질에 주는 영향을 설명한다.
- 단결정·다결정·비정질을 장·단범위 규칙성과 동경 분포 함수로 구별하고, 이방성 결정립의 평균과 집합 조직이 성질에 주는 효과를 설명한다.
- 입방정의 방향 [uvw]·면 (hkl)을 표기하고 FCC·BCC의 선밀도·면밀도·면 간격을 계산해 조밀면·조밀 방향과 웨이퍼 방위의 의미를 설명한다.
결합 에너지 곡선과 재료의 성질
원자 두 개를 멀리서 가까이 가져오면 처음에는 서로 끌어당긴다. 이온이면 쿨롱 인력, 공유 결정이면 전자쌍을 나눠 갖는 이득, 금속이면 이온 심을 감싼 자유 전자의 이득, 중성 분자면 순간 쌍극자 사이의 인력이다. 너무 가까워지면 채워진 전자 껍질이 겹치면서(파울리 배타 원리) 강한 척력이 생긴다. 둘을 더한 퍼텐셜 에너지가 결합 에너지 곡선(bonding energy curve) \(E(r)\)이다. 결합의 종류와 기본 화학은 일반화학(화학 결합)과 고체물리(결합과 탄성)에서 다뤘다. 여기서는 이 곡선의 모양을 재료의 성질과 직접 잇는다.
인력 항과 척력 항을 거듭제곱으로 쓰면 \(E_\mathrm{N}(r) = E_\mathrm{A} + E_\mathrm{R} = -A/r^m + B/r^n\)(척력 지수 \(n\approx 8\text{–}12\)가 인력 지수 \(m\)보다 크다)이다. 원자 사이 힘은 에너지의 기울기에 음의 부호를 붙인 것이다.
- 멀리 떨어진 두 원자 사이에는 에너지도 힘도 없다(기준 E = 0).
- 가까워지면 인력이 에너지를 낮춘다. 인력은 멀리까지 미친다.
- 전자 껍질이 겹치는 아주 가까운 거리에서 척력이 급격히 커진다.
- 둘을 더하면 바닥이 하나인 우물이 된다. 바닥의 위치가 r₀, 깊이가 결합 에너지 E₀다. 우물의 깊이·곡률·비대칭 세 가지가 이 장 첫 절의 주인공이다.
곡선의 세 가지 모양이 세 가지 거시 성질과 짝을 이룬다.
- 깊이 \(E_0\) → 녹는점·승화열. 녹는다는 것은 열운동이 결합을 끊을 만큼 커진다는 뜻이므로 우물이 깊을수록 녹는점 \(T_\mathrm{m}\)이 높다.
- 바닥의 곡률 \(S_0 = (d^2E/dr^2)_{r_0}\) → 탄성률. 원자 하나를 \(r_0\)에서 조금 당기면 되돌리는 힘은 \(F\approx -S_0(r-r_0)\)이다. 원자 하나가 차지하는 단면을 \(r_0^2\), 변형을 \((r-r_0)/r_0\)로 보면 응력/변형 비, 곧 영률이 \(E\approx S_0/r_0\)이다.
- 비대칭 → 열팽창. 진동 에너지가 커지면 원자는 우물 속에서 더 넓게 오간다. 왼쪽 벽이 가파르고 오른쪽 벽이 완만하므로 진동의 가운데(평균 위치)가 오른쪽으로 밀린다. 우물이 대칭(포물선)이면 아무리 떨어도 평균 거리는 그대로이고 열팽창은 0이다.
이 관계를 숫자로 확인하려면 다루기 쉬운 곡선 하나가 필요하다. 모스 퍼텐셜(Morse potential)은 깊이 \(D\), 평형 거리 \(r_0\), 폭을 정하는 \(a\) 세 매개변수로 곡선을 쓴다.
모스 곡선의 깊이 \(D\)만 두 배로 하고 폭(\(a\))과 \(r_0\)는 그대로 둔다. 상온 열팽창 계수는 어떻게 될까?
결합 에너지 곡선 빚기: 깊이·곡률·비대칭을 끌어 보라
깊이 \(D =\) 1.00, 폭 \(a =\) 1.40, 평형 거리 \(r_0 =\) 3.00인 결합은 바닥 곡률이 \(S_0 = 2Da^2 =\) 이고, 영률 어림은 \(S_0/r_0 =\) , 린데만 녹는점 어림은 이다.
텅스텐 원자 쌍의 모스 매개변수는 \(D = 0.9906\) eV, \(a = 1.4116\) Å⁻¹, \(r_0 = 3.032\) Å이다(지라팔코–바이저). 바닥 곡률 \(S_0\)과 영률 어림 \(S_0/r_0\), 린데만 녹는점 어림 \(T_\mathrm{m}\approx S_0(0.1r_0)^2/k_\mathrm{B}\)을 구하고 실제 값(411 GPa, 3695 K)과 비교하라.
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실제 재료 자료도 이 연결을 보여 준다. 아래는 1장의 재료 자료표(Mat.db)에서 녹는점이 있는 재료를 모은 것이다. 영률은 녹는점과 함께 커지고, 열팽창 계수는 녹는점에 거의 반비례한다(\(\alpha T_\mathrm{m}\approx 0.02\), 금속). 공유 결합 결정(Si·SiC·다이아몬드)은 같은 녹는점의 금속보다 열팽창이 훨씬 작다. 결합이 방향성을 갖고 단단히 묶여 비조화성이 작기 때문이다.
금속 결정: FCC·BCC·HCP와 이론 밀도
금속 결합은 방향성이 없다. 이온 심은 자유 전자 바다 속의 단단한 공처럼 행동하므로 가능한 한 많은 이웃을 두고 빽빽이 쌓인다. 그래서 금속 원소의 대부분은 세 가지 구조 가운데 하나를 갖는다. 정육면체의 꼭짓점과 면 중심에 원자가 있는 면심 입방(face-centered cubic, FCC)(Cu, Al, Ni, Ag, Au, Pt, Pb, γ-Fe), 꼭짓점과 몸 중심에 있는 체심 입방(body-centered cubic, BCC)(α-Fe, Cr, Mo, W, Ta, Nb), 육각기둥에 조밀 층을 ABAB로 쌓은 육방 조밀(hexagonal close-packed, HCP)(Ti, Mg, Zn, Co, Ru)이다. 브라베 격자와 결정계의 일반론은 고체물리(결정 구조)에 있다.
공(원자 반지름 \(R\))이 어디서 닿는지가 격자 상수를 정한다. FCC는 면 대각선(\(4R = \sqrt2a\)), BCC는 몸 대각선(\(4R = \sqrt3a\)), HCP는 바닥 육각형의 변(\(a = 2R\))에서 닿는다. 한 원자에 닿아 있는 이웃 수가 배위수(coordination number), 단위정 부피 가운데 공이 차지하는 비율이 원자 충진율(atomic packing factor, APF)이다.
원자 수와 단위정 부피를 알면 결정의 밀도를 X선 회절 없이도 계산할 수 있다. 이것이 이론 밀도(theoretical density)다.
금속 단위정 뷰어: 돌려 보고 이론 밀도 계산하기
- 조밀 층 A. 공 사이 오목한 자리가 두 종류 있다.
- 둘째 층은 B 자리에 놓인다(C여도 이름만 바뀐다).
- 셋째 층이 A 위로 돌아가면 ABAB… HCP.
- 셋째 층이 C 위에 놓이면 ABCABC… FCC. 두 구조의 충진율은 0.74로 같고 배위수도 12로 같다.
원자 반지름 0.128, 몰 질량 63.5인 금속의 이론 밀도는 FCC이면 , BCC이면 , SC이면 다.
구리는 FCC이고 원자 반지름 0.1278 nm, 몰 질량 63.55 g/mol이다. 격자 상수와 이론 밀도를 구하고 실측 8.96 g/cm³과 비교하라.
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(a) BCC의 원자 충진율을 유도하라. (b) 티타늄(HCP)의 격자 상수는 \(a = 0.2950\) nm, \(c = 0.4683\) nm, 몰 질량 47.87 g/mol이다. 단위정(육각기둥) 부피와 밀도를 구하라.
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밀도와 원자 반지름, 몰 질량을 알면 구조를 거꾸로 판정할 수 있다. 같은 \(R\)에서 FCC의 밀도는 BCC의 1.089배, SC의 1.414배이므로, 측정값이 수 % 안에서 맞는 후보가 하나만 남는다.
미지 금속의 구조 판정: 밀도로 FCC·BCC·SC를 가려라
틈새 자리와 이온 결정의 배위수
조밀 쌓기에서도 26%는 빈 공간이다. 이 빈 공간은 원자 사이 특정한 위치에 모여 있는데, 이웃 원자 6개가 팔면체로 둘러싼 팔면체 자리(octahedral site)와 4개가 사면체로 둘러싼 사면체 자리(tetrahedral site)가 대표적인 틈새 자리(interstitial site)다. 작은 원자(H, C, N, B, O)가 이 자리에 들어가면 틈새 고용체가 되고(3장), 이온 결정에서는 작은 양이온이 큰 음이온 골격의 틈새를 채운다(다음 절).
충진율만 보면 BCC(0.68)가 FCC(0.74)보다 빈 공간이 많다. 그렇다면 탄소 원자(반지름 약 0.071 nm)는 BCC α-Fe와 FCC γ-Fe 가운데 어디에 더 많이 녹을까?
모재 원자 반지름이 0.124이면 들어갈 수 있는 가장 큰 구는 FCC 팔면체 , FCC 사면체 , BCC 팔면체 , BCC 사면체 다. 탄소(0.071 nm)는 가장 큰 자리에 들어가도 반지름을 늘려야 한다.
γ-Fe(FCC, 912 °C에서 \(R\approx0.129\) nm)와 α-Fe(BCC, \(R = 0.1241\) nm)의 팔면체·사면체 자리 반지름을 구하고, 탄소(0.071 nm)를 넣을 때 필요한 확장을 비교하라.
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이온 결정에서는 반대로 생각한다. 큰 음이온(O²⁻ 140 pm, Cl⁻ 181 pm)이 골격을 이루고 작은 양이온이 틈새를 채운다. 양이온 주위에 음이온이 몇 개 모일 수 있는지는 크기 비가 정한다. 안정하려면 ① 양이온과 음이온이 서로 닿아 있어야 하고(양이온이 틈새에서 덜컹거리면 불안정), ② 음이온끼리는 겹치지 않아야 한다. 음이온끼리 막 닿고 양이온도 음이온에 막 닿는 경계가 각 배위수의 임계 반지름 비(critical radius ratio)다.
팔면체 배위(CN 6)에 들어 있는 양이온을 조금씩 작게 만든다. 반지름 비가 0.414 밑으로 내려가면 어떤 일이 생길까?
배위 다면체 안정성: 양이온 크기를 끌어 바꿔 보라
섀넌 이온 반지름(pm) Mg²⁺ 72, Cs⁺ 174, Zn²⁺ 74, Si⁴⁺ 40, Ca²⁺ 100, O²⁻ 140, Cl⁻ 181, S²⁻ 184, F⁻ 133을 써서 MgO, CsCl, ZnS, SiO₂, CaF₂의 양이온 배위수를 예측하라.
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세라믹 결정 구조
세라믹은 두 가지 이상의 원소가 이온 결합과 공유 결합을 섞어 가진 화합물이다. 구조를 정하는 규칙은 두 가지다. ① 결정 전체가 전기적으로 중성이어야 하므로 화학식(AX, AX₂, ABX₃)이 양이온과 음이온의 비를 정하고, ② 반지름 비가 배위수를 정한다. 이 두 규칙을 한 그림으로 보는 방법이 "음이온(또는 양이온) FCC 골격 + 틈새 채우기"다.
| 구조 | 화학식 | 배위수 (양 : 음) | 단위정 화학식 수 n′ | 예 |
|---|---|---|---|---|
| 암염(NaCl) | AX | 6 : 6 | 4 | NaCl, MgO, NiO, FeO, TiN |
| 염화 세슘 | AX | 8 : 8 | 1 | CsCl, CsBr |
| 섬아연석 | AX | 4 : 4 | 4 | ZnS, GaAs, InP, 3C-SiC |
| 형석 | AX₂ | 8 : 4 | 4 | CaF₂, 입방 ZrO₂·HfO₂, UO₂, CeO₂ |
| 페로브스카이트 | ABX₃ | A 12, B 6 | 1 | SrTiO₃, BaTiO₃, PZT |
| 커런덤 | A₂X₃ | 6 : 4 | 6(육방 셀) | Al₂O₃(사파이어), Cr₂O₃ |
커런덤(사파이어)은 O²⁻가 HCP 골격을 이루고 Al³⁺가 팔면체 자리의 2/3를 채운다. 중성 조건(2Al³⁺ : 3O²⁻)이 채울 비율을 정한 예다. 세라믹의 이론 밀도는 금속 식에서 원자 질량 대신 화학식 하나의 질량을 쓴다.
세라믹 구조 갤러리: 배위 다면체와 이론 밀도
Na⁺ 102 pm, Cl⁻ 181 pm, 몰 질량 Na 22.99, Cl 35.45 g/mol을 써서 NaCl의 격자 상수와 이론 밀도를 구하라(실측 2.16 g/cm³).
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암염 구조 산화물 MO에서 양이온 반지름이 72, 금속 M의 몰 질량이 24.5이면 반지름 비는 , 격자 상수 , 이론 밀도 다.
페로브스카이트 ABO₃는 큰 A 양이온(Ba²⁺, Sr²⁺, Pb²⁺)이 정육면체 꼭짓점에, 작은 B 양이온(Ti⁴⁺, Zr⁴⁺)이 몸 중심에, O²⁻가 면 중심에 있다. B는 산소 팔면체 속에 있고, A는 산소 12개에 둘러싸인다. 두 크기가 한 격자 상수 안에서 동시에 맞아야 하므로, 이 맞음새를 허용 인자(tolerance factor) \(t\)로 잰다.
FeRAM의 PZT(Pb(Zr,Ti)O₃)는 \(t>1\)인 페로브스카이트에서 Ti⁴⁺·Zr⁴⁺가 산소 팔면체 속에서 위아래로 비켜난 두 상태를 0과 1로 쓴다. PZT는 수백 nm 두께가 필요하고 수소·고온 공정에 약해 미세화가 어려웠다. 2011년 이후에는 형석 구조의 HfO₂에 Zr·Si 등을 섞은 수 nm 박막이 강유전성을 보인다는 것이 밝혀졌다. 평형 상은 단사정(m)이지만, 박막의 표면 에너지·응력·도핑이 준안정한 비중심 대칭 사방정상(o상, Pca2₁)을 붙잡아 둔다. 이미 게이트 절연막으로 쓰던 재료라 CMOS 공정과 맞고, FeFET·강유전 커패시터로 연구된다. 같은 화학식의 다형(5절) 가운데 어느 상이 남느냐가 소자를 정하는 예다. → MemoryBook · 차세대 메모리와 PIM·CIM
공유 결정, 다형과 동소체
탄소·실리콘·저마늄은 sp³ 혼성 오비탈로 이웃 네 개와 109.5°로 결합한다. 결합 방향이 정해져 있으므로 공을 빽빽이 쌓는 대신 사면체를 꼭짓점끼리 이은 그물을 만든다. 이 그물이 다이아몬드 구조(diamond cubic structure)다. FCC 격자의 각 점에 원자 두 개(0,0,0)와 (¼,¼,¼)를 놓은 것으로, 단위정에 원자 8개, 배위수 4, 최근접 거리 \(\sqrt3a/4\)이고 충진율은 \(\sqrt3\pi/16 = 0.34\)에 불과하다. 두 자리를 다른 원소가 차지하면 섬아연석 구조(zinc blende structure)(GaAs, InP, 3C-SiC)다. 같은 사면체 이중층을 FCC의 ABC 대신 HCP의 AB 순서로 쌓으면 육방정 우르짜이트 구조(wurtzite structure)(GaN, AlN, ZnO, 2H-SiC)가 된다.
(a) 실리콘의 격자 상수 0.5431 nm, 몰 질량 28.09 g/mol로 1 cm³ 속 원자 수, 밀도, 최근접 거리를 구하라. (b) 우르짜이트 GaN의 \(a = 0.3189\) nm, \(c = 0.5185\) nm이고 육방 단위정(바닥 마름모 \(\tfrac{\sqrt3}{2}a^2\))에 Ga 2개, N 2개가 있다. 이론 밀도를 구하라(Ga 69.72, N 14.01 g/mol).
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같은 원소나 같은 화학식이 두 가지 이상의 결정 구조를 갖는 것을 원소에서는 동소체(allotropy), 화합물에서는 다형(polymorphism)이라 한다. 탄소는 다이아몬드(sp³ 사면체)·흑연(sp² 층)·그래핀·탄소 나노튜브·풀러렌이 있고, 철은 912 °C 아래 BCC(α), 912–1394 °C FCC(γ), 그 위 BCC(δ)이며, 티타늄은 882 °C에서 HCP(α)에서 BCC(β)로 바뀐다. 다형 가운데 조밀 층의 적층 순서만 다른 것들을 따로 폴리타입(polytypism)이라 부른다. SiC는 200가지가 넘는 폴리타입이 알려져 있다. 각 Si–C 이중층은 A, B, C 세 자리 가운데 하나에 놓이고, 층 하나가 위아래 이웃과 같은 자리 사이(ABA)에 끼면 육방형(h), 서로 다른 자리 사이(ABC)에 끼면 입방형(c)이라 한다. 이 h 층의 비율이 육방성(hexagonality)이다.
| 폴리타입 | 적층 순서 | 육방성 | c 축 주기 | 띠틈(300 K) |
|---|---|---|---|---|
| 3C(β-SiC) | ABC | 0% | 3층(입방 a = 0.436 nm) | 2.36 eV |
| 6H | ABCACB | 33% | 1.512 nm | 3.02 eV |
| 4H | ABCB | 50% | 1.005 nm | 3.26 eV |
| 2H | AB | 100% | 0.505 nm | 3.33 eV |
화학식도 결합도 같은데 띠틈이 1 eV 가까이 다르다. 층 사이의 둘째 이웃 배치가 전자 띠를 바꾸기 때문이다. 4H-SiC는 띠틈이 크고 c축에 수직한 방향의 전자 이동도가 높아 전력 반도체의 표준이 되었다.
육방성이 커질수록 SiC의 띠틈은 대체로 어떻게 될까?
SiC 폴리타입 만들기: 이중층을 A·B·C 자리로 끌어라
주석의 동소체 변태는 결정 구조가 부피와 기계적 성질까지 바꾼다는 것을 극적으로 보여 준다. 13.2 °C 위에서 안정한 흰 주석(β-Sn)은 체심 정방정(원자 4개, \(a = 0.5832\), \(c = 0.3182\) nm)으로 연성이 좋은 금속이다. 그 아래에서 안정한 회색 주석(α-Sn)은 실리콘과 같은 다이아몬드 구조(\(a = 0.6489\) nm)의 취성 반금속이다.
추운 곳에 오래 둔 주석 덩어리가 β에서 α로 바뀌면 부피는 어떻게 될까?
청색·백색 LED와 마이크로LED의 GaN은 우르짜이트 구조라 같은 육방정인 사파이어(커런덤 Al₂O₃) c면 위에 키운다. 격자 불일치가 약 16%(30° 회전한 배열 기준)나 되어 저온 버퍼층을 깔아도 관통 전위가 10⁸–10⁹ cm⁻² 남는다(10장 에피택시). 우르짜이트는 c축 방향으로 중심 대칭이 없어 Ga 면과 N 면이 다르고, 자발·압전 분극이 계면에 전하를 만든다. GaN HEMT의 2차원 전자 기체가 바로 이 분극 전하다. 전력 소자용 4H-SiC는 c축에서 약 4° 기울여 자른 기판(off-cut)에 키운다. 표면 계단을 따라 옆으로 자라게 해(계단류 성장) 아래 기판의 적층 순서를 그대로 이어받고 3C가 끼어드는 것을 막기 위해서다. → DisplayBook · 마이크로LED와 차세대 발광
단결정·다결정·비정질
결정의 규칙이 시료 전체에 끊김 없이 이어지면 단결정(single crystal)이다. 실리콘 웨이퍼, 사파이어 기판, 터빈 날개가 그렇다. 대부분의 금속·세라믹은 방향이 제각각인 작은 결정(결정립) 수많은 개가 결정립계로 맞붙은 다결정(polycrystal)이다. 원자 배열에 긴 거리의 규칙이 아예 없으면 비정질(amorphous)이다. 열산화 SiO₂, 비정질 실리콘, 유리, 많은 고분자가 여기에 속한다.
둘을 숫자로 구별하는 도구가 동경 분포 함수(radial distribution function) \(g(r)\)이다. 아무 원자에서 거리 \(r\)만큼 떨어진 곳에 다른 원자가 있을 상대 확률로, 평균 밀도면 1이다. 결정은 이웃 껍질마다 날카로운 봉우리가 먼 거리까지 이어지고(장범위 규칙성(long-range order)), 비정질은 첫째·둘째 봉우리만 뚜렷하고 그 뒤는 1로 평평해진다(단범위 규칙성(short-range order)). X선 회절에서 결정은 날카로운 봉우리, 비정질은 넓은 언덕(halo)을 내는 것도 같은 이유다(18장).
단결정은 방향에 따라 성질이 다르다. 이것을 이방성(anisotropy)이라 한다. 실리콘의 영률은 [100]에서 130 GPa, [110]에서 169 GPa, [111]에서 188 GPa다(5장). 결정립 방향이 무작위인 다결정은 수많은 결정립이 평균을 내 어느 방향으로 재도 같은 값(등방)을 보인다. 그러나 결정립 방향이 한쪽으로 쏠리면 다결정도 이방성을 갖는다. 이 쏠림이 집합 조직(texture)이다. 압연한 금속판, (111)로 쏠린 구리 배선, 기둥 모양 결정립의 박막이 그렇다.
(001) 면이 모두 위를 향한 실리콘 결정립 수백 개가 면 안에서 무작위로 돌아가 있다(⟨001⟩ 섬유 집합 조직). 면 안의 어느 방향으로 잡아당겨도 영률이 같을까?
결정립 평균: 이방성 단결정에서 등방 다결정으로
이온 주입은 단결정 실리콘에 원자를 쏘아 넣으며 격자를 부순다. 손상이 쌓여 원자 간 거리의 장범위 규칙이 사라지면 주입층이 비정질이 된다(비소·저마늄 수 ×10¹⁴ cm⁻²). 이를 일부러 이용하기도 한다. 결정이 아니면 채널링(결정 통로를 따라 이온이 깊이 들어가는 현상)이 없어 접합이 얕고, 어닐하면 아래의 단결정을 씨앗 삼아 비정질층이 한 층씩 다시 단결정으로 자란다(고상 에피택시, 약 600 °C). 같은 실리콘이 단결정(채널)·다결정(옛 게이트 전극, 3D NAND 채널)·비정질(주입층, 박막 트랜지스터) 세 형태로 칩 안에 함께 있다. → DopingBook · 격자 손상과 비정질화
밀러 지수와 선밀도·면밀도
결정 속 방향과 면에 이름을 붙이는 방법이 밀러 지수(Miller indices)다. 기본은 고체물리(결정 구조)에서 다뤘으니 재료 계산에 필요한 규칙만 정리한다.
- 방향 [uvw]: 원점에서 출발한 벡터의 성분을 격자 상수 단위로 읽어 가장 작은 정수비로 줄인다. 음수는 윗줄(\([1\bar10]\)). 대칭으로 같은 방향의 묶음은 \(\langle uvw\rangle\).
- 면 (hkl): 세 축의 절편을 격자 상수 단위로 읽고, 역수를 취해, 가장 작은 정수로 맞춘다. 축에 평행하면 절편 ∞ → 0. 면이 원점을 지나면 원점을 옮긴다. 대칭으로 같은 면의 묶음은 \(\{hkl\}\). 입방정에서는 [hkl] 방향이 (hkl) 면에 수직이다.
- 육방정은 4지수 (hkil), \(i = -(h+k)\)를 쓴다. 바닥면 (0001), 프리즘면 \(\{10\bar10\}\) — GaN·SiC 기판의 c면·m면이다.
- 면이 세 축과 만나는 절편을 격자 상수 단위로 읽는다.
- 역수를 취한다. 평행한 축의 지수는 0이다.
- 분수가 남으면 가장 작은 정수비로 맞춘다.
- 소괄호로 묶어 (hkl)로 쓴다. 면 간격은 \(d_{hkl} = a/\sqrt{h^2+k^2+l^2}\)이다.
재료의 성질은 어느 방향·면에 원자가 얼마나 촘촘한지에 크게 좌우된다. 슬립은 가장 촘촘한 면에서 가장 촘촘한 방향으로 일어나고(6장), 산화·식각·에피택시 속도도 표면 원자 밀도와 결합 수에 따라 달라진다. 이를 재는 두 양이 선밀도(linear density)와 면밀도(planar density)다.
밀러 면 그리기: 세 절편을 끌어 면을 만들어라
원자 반지름 0.128인 FCC 금속에서 [110] 선밀도는 , [100]은 이고, (111) 면밀도는 , (100)은 다. 같은 반지름의 BCC라면 가장 촘촘한 (110) 면밀도가 로 FCC (111)의 배다.
구리(FCC, \(R = 0.1278\) nm)의 (100), (110), (111) 면밀도와 [110] 선밀도를 nm 단위로 구하라.
풀이 보기
실리콘(다이아몬드 구조, \(a = 0.5431\) nm)의 원자층 하나당 면밀도는 (100) \(6.78\times10^{14}\), (110) \(9.59\times10^{14}\), (111) \(7.83\times10^{14}\) cm⁻²다((111)은 이중층이라 한 단위가 두 층). 표면 원자 하나가 아래 실리콘에 묶인 결합 수는 (100) 2개, (111) 3개다. 그래서 (111)은 산화 초기의 선형 속도가 (100)보다 1.68배 빠르고, KOH 식각에는 수십 배 느리며, 벽개가 가장 쉬운 면이다. 로직·메모리가 (100)을 쓰는 가장 큰 이유는 Si/SiO₂ 계면 결함 밀도가 가장 낮기 때문이다. 웨이퍼의 노치는 ⟨110⟩을 가리켜, 다이 변과 트랜지스터 채널을 이 방향으로 맞춘다. → ProcessBook · 실리콘 웨이퍼와 세정
핵심 정리
- 결합 곡선 → 성질: \(F = -dE/dr\), 평형 \(r_0\), 깊이 \(E_0\). 깊이 → 녹는점, 바닥 곡률 \(S_0\) → 영률 \(E\approx S_0/r_0\)(모스 \(S_0 = 2Da^2\)), 비대칭 → 열팽창(\(\alpha\approx3k_\mathrm{B}/4Dar_0\)). 금속은 \(\alpha T_\mathrm{m}\approx0.02\), 공유 결정은 그보다 작다.
- 금속 구조: FCC(n 4, CN 12, APF 0.74, \(a = 2\sqrt2R\)), BCC(2, 8, 0.68, \(4R/\sqrt3\)), HCP(6, 12, 0.74, \(a = 2R\), \(c/a = 1.633\)), SC(1, 6, 0.52). FCC와 HCP는 조밀 층을 ABC·AB로 쌓은 차이다. 이론 밀도 \(\rho = nA/(V_\mathrm{C}N_\mathrm{A})\)로 구조를 판정한다(같은 \(R\)에서 FCC/BCC = 1.089).
- 틈새 자리: FCC 팔면체 0.414R·사면체 0.225R, BCC 팔면체 0.155R·사면체 0.291R. 탄소는 FCC γ-Fe에 100배 더 녹는다. BCC의 탄소는 찌그러진 팔면체에 들어가 한 방향 변형을 만든다.
- 이온 결정: 중성 조건이 화학식을, 반지름 비가 배위수를 정한다(임계 0.155·0.225·0.414·0.732). 암염(6:6), CsCl(8:8), 섬아연석(4:4), 형석(8:4), 페로브스카이트(A 12, B 6), 커런덤(HCP O + 팔면체 2/3). \(\rho = n'(\sum A_\mathrm{C}+\sum A_\mathrm{A})/(V_\mathrm{C}N_\mathrm{A})\). 허용 인자 \(t\) > 1이면 B 자리가 남아 강유전성, < 1이면 팔면체 기울어짐.
- 공유 결정과 다형: 다이아몬드(n 8, CN 4, APF 0.34), 섬아연석, 우르짜이트는 같은 사면체를 ABC·AB로 쌓은 것. Si 원자 밀도 \(5.0\times10^{22}\) cm⁻³. SiC 폴리타입 3C·6H·4H·2H는 육방성 0·33·50·100%, 띠틈 2.36–3.33 eV. 동소체 변태(Sn β→α 부피 +26%, Fe α↔γ, HfO₂ m·t·o상)는 부피·성질을 바꾼다.
- 결정성: 단결정은 이방성, 무작위 다결정은 평균으로 등방, 집합 조직이 있으면 다결정도 이방성. 비정질은 \(g(r)\)의 첫 봉우리(결합 길이)만 남은 단범위 규칙 고체다.
- 밀러 지수: 방향 [uvw]·⟨uvw⟩, 면 (hkl)·{hkl}(절편 → 역수 → 정수), \(d = a/\sqrt{h^2+k^2+l^2}\). 조밀면·방향: FCC {111}⟨110⟩, BCC {110}⟨111⟩. 면밀도가 슬립·산화·식각·벽개를 좌우한다. Si (100) 웨이퍼, 노치 ⟨110⟩.
연습문제
따로 말이 없으면 \(N_\mathrm{A} = 6.022\times10^{23}\) mol⁻¹, 1 nm = 10⁻⁷ cm를 쓴다. 이온 반지름(pm, 6배위): Na⁺ 102, Mg²⁺ 72, Fe²⁺ 78, Cs⁺ 174, Zr⁴⁺ 72, O²⁻ 140, Cl⁻ 181. 몰 질량(g/mol): Mg 24.31, O 16.00, Ga 69.72, N 14.01, Si 28.09. 답이 ±1–2% 이내면 정답이다.
결합 에너지 곡선의 우물이 깊고, 바닥이 뾰족하며(곡률이 크며), 대칭에 가까운 재료가 가질 성질로 가장 알맞은 것은?
깊이는 결합을 끊는 에너지(녹는점), 바닥 곡률은 되돌리는 힘의 기울기(영률 \(\approx S_0/r_0\)), 비대칭은 진동 중심의 이동(열팽창)을 정한다. W·다이아몬드·SiC가 이런 재료다.
알루미늄은 FCC이고 원자 반지름이 0.1431 nm다. 격자 상수를 구하라.
면 대각선에서 닿으므로 \(a = 2\sqrt2R = 2\times1.4142\times0.1431 = 0.405\) nm(실측 0.4049 nm).
몰리브데넘은 BCC이고 원자 반지름 0.1363 nm, 몰 질량 95.95 g/mol이다. 이론 밀도를 구하라.
\(a = 4R/\sqrt3 = 0.3148\) nm, \(a^3 = 3.119\times10^{-23}\) cm³. \(\rho = 2\times95.95/(3.119\times10^{-23}\times6.022\times10^{23}) = 191.9/18.78 = 10.2\) g/cm³(실측 10.22).
FeO(뷔스타이트)의 양이온 반지름 비와 반지름 비 규칙으로 예상되는 Fe²⁺의 배위수를 구하라.
\(78/140 = 0.557\). 0.414와 0.732 사이이므로 팔면체, CN 6. FeO는 실제로 암염 구조다(대개 Fe가 조금 모자란 Fe₁₋ₓO).
나이오븀의 원자 반지름은 0.143 nm, 몰 질량 92.91 g/mol, 실측 밀도 8.57 g/cm³이다. FCC·BCC·SC 가운데 어느 구조인가? (FCC, BCC, SC 가운데 하나로 답하라)
FCC: \(a = 0.4045\) nm, \(\rho = 4\times92.91/(6.618\times10^{-23}\times6.022\times10^{23}) = 9.33\). BCC: \(a = 0.3303\) nm, \(\rho = 2\times92.91/(3.603\times10^{-23}\times6.022\times10^{23}) = 8.57\). SC: \(a = 0.286\) nm, \(\rho = 6.60\). 실측과 맞는 것은 BCC다.
티타늄(HCP)의 격자 상수가 \(a = 0.2950\) nm, \(c = 0.4683\) nm, 몰 질량 47.87 g/mol이다. 육각기둥 단위정(원자 6개)의 부피와 이론 밀도를 구하라.
\(V_\mathrm{C} = \tfrac{3\sqrt3}{2}a^2c = 2.598\times0.08703\times0.4683 = 0.1059\) nm³. \(\rho = 6\times47.87/(1.059\times10^{-22}\times6.022\times10^{23}) = 287.2/63.77 = 4.50\) g/cm³.
α-Fe(BCC, \(R = 0.1241\) nm)의 사면체 자리와 γ-Fe(FCC, \(R = 0.129\) nm)의 팔면체 자리에 들어갈 수 있는 가장 큰 구의 반지름을 구하라.
BCC 사면체 \(r/R = \sqrt{5/3}-1 = 0.2910\) → 0.0361 nm. FCC 팔면체 \(\sqrt2-1 = 0.4142\) → 0.0534 nm. γ-Fe의 자리가 1.5배 크다.
MgO는 암염 구조다. 이온 반지름으로 격자 상수를 어림하고 이론 밀도를 구하라.
\(a = 2(0.072+0.140) = 0.424\) nm, \(a^3 = 7.622\times10^{-23}\) cm³. \(\rho = 4(24.31+16.00)/(7.622\times10^{-23}\times6.022\times10^{23}) = 161.2/45.90 = 3.51\) g/cm³(실측 3.58, 실측 a = 0.421 nm).
입방 ZrO₂는 형석 구조다. Zr⁴⁺와 O²⁻의 배위수, 단위정 속 ZrO₂ 화학식 수를 구하라.
Zr⁴⁺가 FCC 자리(4개), O²⁻가 사면체 자리 8곳을 모두 채운다. O²⁻ 하나는 Zr⁴⁺ 4개에 둘러싸이고(CN 4), 화학량 1 : 2를 맞추려면 Zr⁴⁺ 하나가 O²⁻ 8개에 둘러싸인다(CN 8). 화학식 수 \(n' = 4\). 반지름 비 \(72/140 = 0.51\)은 CN 6을 예측하지만 순수 ZrO₂는 상온에서 단사정이고, Y₂O₃를 넣어 입방(형석)을 안정화한다(YSZ, 12장).
12배위 Ba²⁺ 161 pm, 6배위 Ti⁴⁺ 60.5 pm, O²⁻ 140 pm으로 BaTiO₃의 허용 인자를 구하라. 이 값은 Ti⁴⁺에 대해 무엇을 말하는가?
\(t = (161+140)/(\sqrt2\times(60.5+140)) = 301/283.5 = 1.06\). \(t > 1\)이므로 격자 상수가 Ba–O 접촉으로 정해지고, Ti–O 팔면체는 Ti⁴⁺에 비해 조금 크다. Ti⁴⁺가 한쪽 산소로 비켜난 상태가 안정해져 120 °C 아래에서 정방정 강유전체가 된다.
실리콘(다이아몬드 구조, \(a = 0.5431\) nm)의 원자 수 밀도와 이론 밀도를 구하라.
단위정 원자 8개. \(N = 8/(5.431\times10^{-8})^3 = 8/1.602\times10^{-22} = 4.99\times10^{22}\) cm⁻³. \(\rho = 4.99\times10^{22}\times28.09/6.022\times10^{23} = 2.33\) g/cm³.
우르짜이트 GaN의 \(a = 0.3189\) nm, \(c = 0.5185\) nm다. 육방 단위정(바닥 넓이 \(\tfrac{\sqrt3}{2}a^2\))에 GaN 화학식 2개가 있다. 이론 밀도를 구하라.
\(V = 0.8660\times0.3189^2\times0.5185 = 0.04567\) nm³ \(= 4.567\times10^{-23}\) cm³. \(\rho = 2(69.72+14.01)/(4.567\times10^{-23}\times6.022\times10^{23}) = 167.5/27.50 = 6.09\) g/cm³. 핸드북 값은 6.09–6.15 g/cm³ 범위다.
남극 탐험대의 주석 용기가 부스러졌다는 이야기처럼, 흰 주석(β)이 회색 주석(α)으로 바뀔 때 일어나는 일로 옳은 것은?
α-Sn은 충진율 0.34의 다이아몬드 구조라 밀도가 7.29 → 5.77 g/cm³으로 줄어든다(부피 +26%). 13.2 °C 아래에서 열역학적으로 가능하지만 핵생성이 느려 −30 °C 근처에서 가장 빠르다. 취성 반도체상이라 부스러진다.
입방정에서 x축을 1, y축을 ½에서 자르고 z축에 평행한 면의 밀러 지수는?
절편 1, ½, ∞ → 역수 1, 2, 0 → (120).
니켈(FCC, \(R = 0.1246\) nm)의 (111) 면밀도를 원자/nm²로 구하라.
\(a = 2\sqrt2R = 0.3524\) nm. (111) 정삼각형(넓이 \(\tfrac{\sqrt3}{2}a^2 = 0.1076\) nm²)에 원자 2개 → \(2/0.1076 = 18.6\) nm⁻² \((= 1/(2\sqrt3R^2))\).
텅스텐(BCC, \(R = 0.1371\) nm)의 [111]과 [110] 선밀도를 구하라. 어느 방향이 슬립 방향이 되겠는가?
\(a = 4R/\sqrt3 = 0.3166\) nm. [111]: 몸 대각선 \(\sqrt3a = 0.5484\) nm 위에 원자 2개(양 끝 ½씩 + 몸 중심 1) → 3.65 nm⁻¹ \((= 1/2R)\). [110]: 면 대각선 \(\sqrt2a = 0.4478\) nm 위에 1개 → 2.23 nm⁻¹. 원자가 서로 닿는 [111]이 슬립 방향이다(BCC의 ⟨111⟩).
개념 확인 퀴즈
금속 원소가 대부분 FCC·BCC·HCP처럼 배위수가 큰 구조를 갖는 가장 근본적인 이유는?
FCC와 HCP는 충진율(0.74)과 배위수(12)가 같다. 둘의 차이로 옳은 것은?
양이온이 너무 작아 반지름 비가 팔면체의 임계값 0.414보다 작다. 무엇이 일어나는가?
무작위 방위의 다결정 구리 막대는 방향과 상관없이 영률이 같다. 그런데 압연한 구리판은 방향에 따라 영률이 다르다. 왜인가?
3C-SiC와 4H-SiC에 대해 옳은 것은?